技术特征：
1.一种实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：在薄膜探针头的刚性作用面与上设探针的薄膜之间垫设一弹性体层；该弹性体层在探针的轴向平面上，以穿过探针的任一轴向线为界线，其一侧的厚度与另一侧的厚度具有一差值，以此使测试时探针能够发生偏转从而产生测量滑移。2.根据权利要求1所述实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：在所述刚性作用面上开设凹槽，且将凹槽壁对准所述界线，并以弹性体层布满整个刚性作用面以及填充凹槽，使所述弹性体层以穿过探针的任一轴向线为界线，使其一侧的厚度与另一侧的厚度具有差值。3.根据权利要求1所述实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：将所述刚性作用面设计为在探针的轴向平面上倾斜的斜面，所述弹性体层的一侧面与该斜面相贴合。4.根据权利要求1所述实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：在所述刚性作用面上设置一个或多个在探针的轴向平面上内凹的曲面，以所述弹性体层一侧表面与所述曲面相贴合。5.根据权利要求1所述实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：所述弹性体层在探针的轴向平面上，靠所述刚性作用面中心侧的厚度大于其外侧的厚度。6.根据权利要求1所述实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：所述界线与探针的轴心线相重合。
技术总结
本发明涉及一种实现薄膜探针测量滑移的方法，其特征在于：在薄膜探针中的刚性作用面与上设探针的薄膜之间垫设一弹性体层；该弹性体层在探针的轴向平面上，以穿过探针的任一轴向线为界线，其一侧的厚度与另一侧的厚度具有一差值，以此使测试时探针能够发生偏转从而产生测量滑移，以穿透或推开被测芯片表层氧化物，实现更稳定地接触。实现更稳定地接触。实现更稳定地接触。
技术研发人员：赵梁玉 于海超 王艾琳
受保护的技术使用者：强一半导体（苏州）有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/3/15