多轨进料的旋转式晶粒检测设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备，特别涉及一种适用于检测半导体晶粒的检测设备。
【背景技术】
[0002]半导体晶粒在制造过程中通常会经过两次检测，一次是半成品检测，另一次是成品检测。其中，半成品检测通常针对完成基本半导体制程后的晶粒，其主要目的在于先行筛检过滤瑕疵晶粒，以免瑕疵晶粒流入后续包括黏晶(die mount)、打线(wire bond)、封胶(mold)、以及印字(mark)等制程，造成成本上无谓的耗费，并且影响良品率。
[0003]公知的晶粒检测设备可参考中国台湾公告第M439261号专利。S卩，如图1所示，其公开一种V型旋臂90，每一个旋臂各装设有取放装置91、92。当其中一个取放装置91在进给装置93吸取晶粒后，便移到进给装置93 —侧的探针座94上进行测试。此时，另一个取放装置91则回到进给装置93上吸取下一个晶粒，据此V型旋臂90不断地往复摆转进给及测试。此外，当取放装置91上的晶粒测试完成后，便直接使完成测试的晶粒掉落于下方的分料装置(图中未示出)，以对该完成测试的晶粒进行分类。
[0004]据此，公知晶粒检测设备以上述循环摆转的方式来进行测试，尽管其测试的准确率或测试效率都已经达到相当稳定的程度。但是，当面临更高测试速度的需求之下，公知晶粒检测设备已面临瓶颈，且无法再明显提升。
[0005]有鉴于此，一种可大幅提高检测速度，又具备弹性扩充功能的晶粒检测设备，实为目前产业上的一种迫切需要。
【发明内容】
[0006]本发明的主要目的在于提供一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其能多轨晶粒同时进料、同时移载晶粒、同时测试晶粒以及同时分类晶粒，且每一旋转移载的角度相同，可显著地缩短移载时间，相较于公知的晶粒检测设备，能以数倍的方式大幅提升检测速度，且更为弹性，可视实际需求任意扩充或变更各种测试功能。
[0007]为实现上述目的，本发明的多轨进料的旋转式晶粒检测设备主要包括转动架、多个晶粒取放装置、多个进料装置、多个检测站以及多个分类站。其中，转动架包括中心轴，而转动架沿着中心轴旋转；多个晶粒取放装置等距地环设于转动架上；多个进料装置等距地环设于该转动架的径向延伸方向上，且每一进料装置邻近转动架的一侧包括一晶粒拾取区；多个检测站与多个分类站也等距地环设于转动架的径向延伸方向上。其中，多个晶粒取放装置分别到多个进料装置的晶粒拾取区上取得一个晶粒后，转动架旋转，而多个晶粒取放装置移载晶粒至多个检测站进行测试，接着转动架又旋转，而多个晶粒取放装置移载晶粒至多个分类站放置晶粒，由多个分类站对晶粒进行分类。
[0008]据此，本发明所提供的多轨进料的旋转式晶粒检测设备可利用转动架以不断地旋转进给移载的方式，逐一地将晶粒由进料装置搬运至检测站进行测试，当测试完毕又将晶粒搬运至分类站进行分类，实为一高效率的连续检测和分类技术。此外，本发明又以同时多轨进料的方式，大幅提高了测试产能。
[0009]较优选的是，本发明的多个进料装置包括第一进料装置和第二进料装置，其遥遥相对地设置于转动架的两侧。换言之，本发明可以采取双轨进料的方式，而所述两个进料装置之间的夹角可为180度，据此相较于公知的单轨进给测试的方式，本发明可提高两倍以上的测试产能，且体积上也不致增加太多。不过，本发明不受双轨进料方式所限，也可为三轨进料、四轨进料或其它的多轨进料，其中三轨进料方式时两个相邻的进料装置之间的夹角可为120°，四轨进料方式时两个相邻的进料装置之间的夹角可为90°。
[0010]再者，本发明的每一进料装置可包括震动喂料盘、进料轨道以及回料轨道，而震动喂料盘可包括喂料口，其与进料轨道连通，且晶粒拾取区可位于进料轨道上与震动喂料盘遥遥相对的一侧，另外回料轨道可设置于进料轨道的下方，并用以承接自进料轨道掉落的晶粒。
[0011]此外，本发明的每一检测站可包括探针座以及至少一个探针，而所述至少一个探针的一侧可固定于探针座，另一侧可自探针座的侧端凸伸露出；其中，多个晶粒取放装置移载晶粒至所述至少一个探针的上方并与所述至少一个探针电性接触。另外，本发明的每一晶粒取放装置可包括吸嘴以及升降机构，而升降机构可组装于转动架上并驱使吸嘴上升或下降。
[0012]再者，本发明的每一分类站可包括旋转分料管以及多个容仓，旋转分料管可包括入料口和出料口，而入料口可与旋转分料管的出料口连通，且旋转分料管可旋转并使出料口对准多个容仓中的一个；其中多个晶粒取放装置旋转移载晶粒至入料口并放置晶粒。另夕卜，本发明的每一分类站还可包括转动驱动器，其连接并驱动旋转分料管旋转。
[0013]又，本发明的多个检测站可包括多个第一检测站以及多个第二检测站，而所述多个进料装置、多个第一检测站、多个第二检测站以及多个分类站可分别依序地布设于转动架的径向延伸的环周方向上。而且，本发明的转动架可沿着中心轴朝同一旋转方向步进式地旋转。
【附图说明】
[0014]图1为公知的晶粒检测设备。
[0015]图2为本发明第一实施例的俯视示意图。
[0016]图3为本发明第一实施例的俯视局部放大图。
[0017]图4为本发明第一实施例的进料装置的晶粒拾取区的侧视图。
[0018]图5为本发明第一实施例的检测站的侧视图。
[0019]图6为本发明第一实施例的分类站的侧视图。
[0020]图7为本发明第二实施例的俯视示意图。
[0021]图8为本发明第三实施例的俯视示意图。
【具体实施方式】
[0022]本发明的多轨进料的旋转式晶粒检测设备在本实施例中被详细描述之前，要特别注意的是，在以下的说明中，类似的组件将以相同的组件符号来表示。
[0023]以下对本发明的第一实施例以双轨进料方式进行说明，请同时参考图2?图3，图2为本发明第一实施例的俯视图，图3为本发明第一实施例的俯视局部放大图。
[0024]图中显示有转动架2，其包括中心轴21，且转动架2沿着中心轴21旋转。在本实施例中，转动架2是受致动器(图中未示)驱动而沿着中心轴21朝同一旋转方向步进式地旋转。再者，两组晶粒取放装置3包括第一进料装置41以及第二进料装置42，其等距地环设于转动架2的径向延伸方向上，即，以180°夹角的方式遥遥相对地设置于转动架2外的相对应的两侧。
[0025]在本实施例中，每一进料装置4包括震动喂料盘43、进料轨道44以及回料轨道45，而震动喂料盘43包括喂料口 431，其与进料轨道44连通。而且，进料轨道44邻近转动架2的一侧包括晶粒拾取区40，即晶粒拾取区40位于进料轨道44上与震动喂料盘43遥遥相对的一侧。至于回料轨道45，其设置于进料轨道44的下方，用以承接自进料轨道44掉落的晶粒C。
[0026]请再一并参考图4，图4为本发明第一实施例的进料装置4的晶粒拾取区40的侧视图。其中，在转动架2上等距地环设有八组晶粒取放装置3。如图4所示，在本实施例中，每一晶粒取放装置3包括吸嘴31以及升降机构32，而升降机构32组装于转动架2上并可驱使吸嘴31上升或下降。
[0027]请再一并参考图5，图5为本发明第一实施例的检测站5的侧视图。如图2中所示，本实施例的检测站5包括两个第一检测站53和两个第二检测站54，而这些检测站分别依序地布设于转动架2的径向延伸的环周方向上，且位于进料轨道44的一侧。其中，第一检测站53以及第二检测站54分别对晶粒C进行两种不同的测试。不过，本发明并不以此为限，也可为单一检测站或其它多个检测站的形式。此外，在本实施例中，每一检测站5包