激光光源模块及激光光源装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及激光光源模块及激光光源装置，特别涉及搭载多个激光光源模块并将多道激光会聚后输出的激光光源装置。
【背景技术】
[0002]近年来，普及了以半导体激光为光源的投影仪等影像显示装置和激光加工机，需要更小型且高输出的激光光源。因此，提出了搭载呈阵列状排列有半导体激光元件的半导体激光器阵列的激光光源模块。并且，提出了搭载多个该激光光源模块并将来自多个激光光源模块的激光会聚后输出的激光光源装置(例如，参照专利文献I和专利文献2)。
[0003]在专利文献I中，示出了接合有半导体激光器阵列的激光光源模块，该半导体激光器阵列是借助立起设置有多个供电用引脚的底座、安装在底座上的散热装置和辅助安装基板、以及引导框架，呈阵列状排列多个半导体激光元件而构成的。在本激光光源模块中构成为，通过对从成为激光光源模块的安装面和冷却面的底座底面伸出的引脚供给电流，来从半导体激光器阵列沿相对于底座底面垂直的方向射出发散光。
[0004]并且，在专利文献2中示出了如下激光光源装置:呈阶梯状配置多个半导体激光器阵列，对于来自各半导体激光器阵列的激光校准快速轴及慢速轴，使用聚光透镜只对快速轴集中进行聚光，并对与从聚光透镜照射出的多条光束相等数量且相等间距地排列光纤而成的光纤阵列进行光结合。
[0005]专利文献1:国际公开第2009/081470号
[0006]专利文献2:日本特开2011-243717号公报
[0007]然而，根据专利文献I的技术，沿相对于成为激光光源模块的安装面和冷却面的底座底面垂直的方向射出发散光。因此，在构成搭载多个该激光光源模块并使从这些激光光源模块射出的激光会聚的激光光源装置(所谓的空间结合型的激光光源装置)时，即使相邻配置底座也难以减小激光射出部的间隔。因此，需要用于使这些激光会聚的大型的聚光透镜，从而存在激光光源装置大型化的课题。
[0008]并且，为了使从多个激光光源模块射出的激光集中会聚，需要准直透镜，该准直透镜用于将从各激光光源模块射出的发散光精度良好地形成为平行光束，而且需要使各平行光束彼此高精度地平行，因此，在配置各激光光源模块时，需要对激光光源模块和准直透镜进行调整后进行配置，存在组装、调整变复杂的课题。
[0009]并且，根据上述专利文献2的技术，需要与多条光束相等数量且相等间距的昂贵的光纤阵列，并且为了使光纤阵列会聚，需要高精度地调整并固定各半导体激光器阵列、准直透镜的位置，从而存在组装、调整作业变复杂的课题。而且，无法沿激光器阵列的排列方向排列配置半导体激光器阵列，妨碍了小型化、低廉化。
【发明内容】
[0010]本发明是为了解决以上课题而完成的，其目的在于提供能够被高密度地配置的激光光源模块。并且，其目的在于提供高密度地搭载多个该激光光源模块的激光光源装置。
[0011]本发明的激光光源模块的特征在于，其具备:板状的底座；供电用引脚，其是半导体激光器阵列的电力供给线，上端在底座的作为一个主面的上表面突出，下端贯通底座的作为另一个主面的下表面侧而延伸；块，其被固定在底座的上表面；辅助安装基板，其被固定在块的与底座的上表面平行的面上，用于安装半导体激光器阵列；半导体激光器阵列，其以光射出方向与底座的上表面平行的方式配置在辅助安装基板上；以及准直透镜阵列，其配置在半导体激光器阵列的前表面，使半导体激光器阵列的输出光成为平行光束，准直透镜阵列被固定在块的与底座的上表面垂直的面上。
[0012]在本发明的激光光源模块中，以光射出方向与底座上表面平行的方式配置有半导体激光器阵列。因此，在呈阶梯状配置激光光源模块的情况下，能够沿垂直方向(阶梯的高度方向)高密度地配置激光光源模块。即，能够沿水平方向和垂直方向高密度地配置准直光束。
【附图说明】
[0013]图1是实施方式I的激光光源模块的立体图。
[0014]图2是实施方式I的激光光源模块的俯视图。
[0015]图3是实施方式I的激光光源模块的主视图。
[0016]图4是实施方式I的激光光源模块的侧视图。
[0017]图5是实施方式I的激光光源模块的分解立体图。
[0018]图6是实施方式2的激光光源装置的固定台的立体图。
[0019]图7是实施方式2的激光光源装置的立体图。
[0020]图8是实施方式2的激光光源装置的俯视图。
[0021]图9是实施方式2的激光光源装置的侧视图。
[0022]标号说明
[0023]1:底座；1A:定位用切口 ；1B:固定用切口 ；2A、2B供电用引脚；3:块；4:辅助安装基板；5:半导体激光器阵列；6:准直透镜阵列；7:线；8A、8B:供电用带；9:区域；10:固定台；10A:定位用突起；10B:螺纹孔；10C:引脚通孔；11:螺钉；12:聚光透镜；13:导光部；100:激光光源模块。
【具体实施方式】
[0024]<实施方式1>
[0025]图1是本实施方式的激光光源模块100的立体图。图2、图3、图4分别是本实施方式的激光光源模块100的俯视图、主视图、侧视图。并且，图5是本实施方式的激光光源模块100的分解立体图。
[0026]如图1至图5所不,激光光源模块100具备板状的底座1、设于底座I上的多个供电用引脚2A、2B和固定在底座I的上表面上的块3。
[0027]由金属材料形成的底座I是板状。即，是具有相互平行的一个主面(即上表面)和另一个主面(即下表面)的形状。并且，底座I在俯视观察时，除了后述定位用切口 1A、固定用切口 IB等切口部分之外，是对边平行的四边形。
[0028]一对供电用引脚2A和一对供电用引脚2B通过玻璃密封被固定于底座I。供电用引脚2A、2B贯通底座I的主面。即，供电用引脚2A、2B的上端在底座I上表面突出，供电用引脚2A、2B的下端向底座I的下表面侧延伸。供电用引脚2A、2B向后述的半导体激光器阵列5供给电能。
[0029]块3由热传递性优秀的材料制作而成。块3例如通过焊接固定在底座I上表面。
[0030]激光光源模块100还具备固定于块3的上表面上的辅助安装基板4和配置在辅助安装基板4上的半导体激光器阵列5。块3的供辅助安装基板4固定的上表面与底座I的上表面平行。半导体激光器阵列5以光射出方向与底座I上表面平行的方式配置在辅助安装基板4上。这里，所谓光射出方向是图1、图2、图4中的箭头A所示的方向。并且，所谓半导体激光器阵列5的阵列排列方向是半导体激光器阵列5中所具备的多个激光元件的排列方向，是与光射出方向垂直的方向。
[0031]辅助安装基板4以绝缘性优秀的材料为基材，在辅助安装基板4表面形成有电极图案。半导体激光器阵列5通过焊接安装在辅助安装基板4上。
[0032]在底座I中，在底座I的光射出方向(箭头A方向)前方侧的侧面的两端部分上设有一对定位用切口 1A。并且，在底座I的光射出方向(箭头A方向)侧方侧的两侧面设有一对固定用切口 1B。固定用切口 IB在俯视观察时呈半圆状。在将激光光源模块100配置到实施方式2中所述的固定台10时，定位用切口 IA被用作定位的基准。为了将激光光源模块100通过螺钉固定于固定台10 (实施方式2)而使用固定用切口 1B。
[0033]激光光源模块100还具备使半导体激光器阵列5的输出光成为平行光束的准直透镜阵列6。准直透镜阵列6被配置在半导体激光器阵列5的前表面。准直透镜阵列6被固定在块3的与底座I上表面垂直的面上。
[0034]并且，在辅助安装基板4的表面形成有正极、负极的电极图案。并且，在半导体激光器阵列5上设有上表面电极、底面电极。例如，辅助安装基板4的正极的电极图案与半导体激光器阵列5的底面电极连接。并且，辅助安装基板4的负极的电极图案与半导体激光器阵列5的上表面电极连接。另外，半导体激光器阵列5的上表面电极和辅助安装基板4的电极图案通过多根导线7连接。
[0035]辅助安装基板4的电极图案和供电用引脚2A、2A、2B、2B的上端面通过供电用带8A、8B被超声波接合。
[0036]通过将激光光源模块100形成为以上结构，当对一对供电用引脚2A和一对供电用引脚2B之间通入规定的电流时，半导体激光器阵列5发光。从准直透镜阵列6，沿与底座I的上表面平行的方向射出与半导体激光器阵列5的发射极数量对应的平行光束。
[0037]