经过电容电感匹配后从输出端17输出到激光器。匹配线路部18是一根长99mm，宽8mm的微带传输线，起到匹配射频电流的作用。
[0020]参考图4，第一总微带合成传输部19详细布线图，所述传输部是一根宽4_，总长557mm的微带铜线，其中是由17根直线与14个半径为3.67mm半圆，2个半径为3.67mm的1/4圆组成。
[0021]参考图5，第二总微带合成传输部20详细布线图，所述传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由15根直线与13个半径为3.67mm半圆，1个半径为3.67mm的1/4圆组成。
[0022]参考图6，第三总微带合成传输部21详细布线图，所述传输部是一根宽4_，总长557mm的微带铜线，其中是由14根直线与11个半径为3.67mm半圆，2个半径为3.67mm的1/4圆组成。
[0023]参考图7，第四总微带合成传输部22详细布线图，所述传输部是一根宽4_，总长557mm的微带铜线，其中是由16根直线与13个半径为3.67mm半圆，2个半径为3.67mm的1/4圆组成。
[0024]参考图8，第五总微带合成传输部23详细布线图，所述传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由9根直线与5个半径为3.67mm半圆，8个半径为3.67mm的1/4圆组成。
[0025]参考图9，第六总微带合成传输部24详细布线图，所述传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由14根直线与6个半径为3.67mm半圆，9个半径为3.67mm的1/4圆组成。
【主权项】
1.一种用于激光器的射频电源，其特征在于:包括第一功率放大模块、输出匹配微带电路、第二功率放大模块、第三功率放大模块、第四功率放大模块、水冷散热板、输出匹配微带电路、功率合成微带电路；第一功率放大模块、输出匹配微带电路、第二功率放大模块、第三功率放大模块、第四功率放大模块、输出匹配微带电路安装在水冷散热板的正面，并且所述4个放大模块将射频功率电流通过电极穿过水冷散热板，焊接到功率合成微带电路的四个输入端，功率合成微带电路安装在水冷散热板的反面，作用是把上述4个功率模块的电流合成为1路输出，该输出是通过一根电极穿过水冷散热板输出到安装在正面的输出匹配微带电路，所述输出匹配微带电路将对信号进行匹配处理最终输出到激光器。2.—种功率合成微带电路，其特征在于:包括第一微带传输部和第二微带传输部；射频电流从功率合成微带电路的四个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；第一微带传输部是一根宽4臟，长度323.5mm的敷铜线路，其中由10根22mm长的直线与9个半径为3.67mm的半圆首尾相接而成。第二微带传输部是一根宽4_，长度333_的敷铜线路，其中由13根15_长的直线与12个半径为3.67_的半圆首尾相接而成。第三微带传输部15是一根宽4_，长度228.2mm的敷铜线路，其中由3根68.4mm长的直线与2个半径为3.67mm的半圆首尾相接而成。3.根据权利要求2所述的功率合成微带电路，其特征在于:整个功率合成微带电路是由六个总微带合成传输部组成，这六个部分都是一根宽4_，长557_的微带铜线。4.根据权利要求3所述的功率合成微带电路，其特征在于:，第一总微带合成传输部19和第二总微带合成传输部20的微带输出与第四总微带合成传输部22的微带输入端连接在一起，第三总微带合成传输部21和第五总微带合成传输部23的微带输出与第六总微带合成传输部24的微带输入端连接在一起，最后第四总微带合成传输部的输出端22与第六总微带合成传输部24的输出端连接在一起。5.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:第一总微带合成传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由17根直线与14个半径为3.67mm半圆，2个半径为3.67mm的1/4圆组成。6.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:第二总微带合成传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由15根直线与13个半径为3.67mm半圆，1个半径为3.67mm的1/4圆组成。7.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:第三总微带合成传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由14根直线与11个半径为3.67mm半圆，2个半径为3.67mm的1/4圆组成。8.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:第四总微带合成传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由16根直线与13个半径为3.67mm半圆，2个半径为3.67mm的1/4圆组成。9.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:第五总微带合成传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由9根直线与5个半径为3.67mm半圆，8个半径为3.67mm的1/4圆组成。10.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:第六总微带合成传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由14根直线与6个半径为3.67mm半圆，9个半 径为3.67mm的1/4圆组成。
【专利摘要】一种用于激光器的射频电源，包括第一功率放大模块、输出匹配微带电路、第二功率放大模块、第三功率放大模块、第四功率放大模块、水冷散热板、输出匹配微带电路、功率合成微带电路；第一功率放大模块、输出匹配微带电路、第二功率放大模块、第三功率放大模块、第四功率放大模块、输出匹配微带电路安装在水冷散热板的正面，并且所述4个放大模块将射频功率电流通过电极穿过水冷散热板，焊接到功率合成微带电路的四个输入端，功率合成微带电路安装在水冷散热板的反面，作用是把上述4个功率模块的电流合成为1路输出，该输出是通过一根电极穿过水冷散热板输出到安装在正面的输出匹配微带电路，所述输出匹配微带电路2将对信号进行匹配处理最终输出到激光器。
【IPC分类】H01S3/09
【公开号】CN105390914
【申请号】CN201510923984
【发明人】徐海军
【申请人】北京热刺激光技术有限责任公司
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年12月14日