[0055]已经描述了本发明的若干实施例。然而，将理解的是在不背离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种修改。因此，其它实施例落在所附权利要求的范围内。
【主权项】
1.一种用于定位和接合圆形晶片的周界上的缺口的设备，包括: 缺口定位部件，被配置为沿着第一轴线线性移动并且包括前细长部件，所述前细长部件沿着与所述第一轴线垂直的第二轴线延伸并且包括前表面、与所述前表面相对的后表面以及从所述细长部件的所述前表面延伸的第一突起，并且其中所述第一突起包括与形成在圆形晶片的周界上的缺口的形状互补的形状； 第一板，被布置在所述前细长部件的第一侧处； 其中在沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界驱动所述缺口定位部件时，所述细长部件的所述后表面与所述第一板的前表面之间的距离被测量，并且所测得的距离的值被用来确定所述第一突起与所述缺口的接合。2.根据权利要求1所述的设备，还包括: 位置传感器； 浮动接头连接件，被配置为将所述位置传感器的前表面连接至所述前细长部件的所述后表面;并且 其中所述位置传感器被配置为在沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界驱动所述缺口定位部件时，测量所述细长部件的所述后表面与所述第一板的所述前表面之间的距离。3.根据权利要求1或2所述的设备，还包括: 第二板，被布置在所述前细长部件的与所述第一侧相对的第二侧处;并且 其中所述第一板和所述第二板分别支撑第一辊和第二辊，并且其中所述第一辊和所述第二辊被配置为在所述圆形晶片的周界周围滚动。4.根据权利要求1、2或3所述的设备，还包括第二突起和第三突起，所述第二突起和所述第三突起从所述前细长部件的所述前表面延伸并且分别被布置在所述第一突起的左边和右边，并且其中所述第二突起和所述第三突起包括与形成在所述圆形晶片的周界上的所述缺口的形状互补的形状。5.根据权利要求2或3所述的设备，其中所述位置传感器包括线性电位计。6.根据权利要求1至5中任一项所述的设备，其中经由活塞或电动机沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界向前驱动所述缺口定位部件。7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述缺口定位部件包括三角形部件，并且其中所述前细长部件部分地形成所述三角形部件的底边。8.—种用于定位和接合圆形晶片的周界上的平坦特征的设备，包括: 平坦特征定位部件，被配置为沿着第一轴线线性移动并且包括前细长部件，所述前细长部件沿着与所述第一轴线垂直的第二轴线延伸并且包括前表面、与所述前表面相对的后表面以及从所述细长部件的所述前表面延伸的第一突起，并且其中所述第一突起包括与形成在圆形晶片的周界上的所述平坦特征的形状互补的形状； 第一板，被布置在所述前细长部件的第一侧处； 其中在沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界驱动所述缺口定位部件时，所述细长部件的所述后表面与所述第一板的前表面之间的距离被测量，并且所测得的距离的值被用来确定所述第一突起与所述平坦特征的接合。9.根据权利要求8所述的设备，还包括第二突起和第三突起，所述第二突起和所述第三突起从所述前细长部件的所述前表面延伸并且分别被布置在所述第一突起的左边和右边，并且其中所述第二突起和所述第三突起包括与形成在所述圆形晶片的周界上的所述平坦特征的形状互补的形状，并且被定位在所述第一突起的前方。10.—种用于使圆形晶片居中的设备，包括: 支撑卡盘，用于在其顶表面上支撑待居中的圆形晶片； 第一可旋转移动的对准臂，能够绕着与所述支撑卡盘的所述顶表面垂直的轴线旋转并且包括第一机械爪，所述第一机械爪包括与所述圆形晶片的弯曲边缘一致的渐变弯曲边缘表面； 第二可旋转移动的对准臂，能够绕着与所述支撑卡盘的所述顶表面垂直的轴线旋转并且包括第二机械爪，所述第二机械爪包括与所述圆形晶片的弯曲边缘一致的渐变弯曲边缘表面； 第三线性移动对准臂，能够沿着第一轴线朝向所述支撑卡盘的中心线性移动，并且包括与所述圆形晶片的所述弯曲边缘一致的渐变弯曲内表面以及被配置为对形成在所述圆形晶片的周界上的缺口进行定位的缺口定位机构； 其中所述第一对准臂、所述第二对准臂和所述第三对准臂彼以此成120度的角度被布置在所述支撑卡盘周围；以及 其中所述圆形晶片被放置在所述支撑卡盘上，并且通过首先朝向所述支撑卡盘的中心旋转所述第一对准臂和所述第二对准臂以使得所述第一机械爪和所述第二机械爪的所述渐变弯曲边缘表面分别在第一周界区域和第二周界区域接触所述圆形晶片的外周界、以及随后通过朝向所述支撑卡盘的中心沿着所述第一轴线线性移动所述第三对准臂直至所述缺口定位机构定位并且接合形成在所述圆形晶片的周界上的缺口来进行居中和对准。11.根据权利要求10所述的设备，其中所述缺口定位部件被配置为朝向所述支撑卡盘的中心沿着所述第一轴线线性移动并且包括前细长部件，所述前细长部件沿着与所述支撑卡盘共面并且与所述第一轴线垂直的第二轴线延伸，并且其中所述前细长部件包括前表面、与所述前表面相对的后表面以及从所述细长部件的所述前表面延伸的第一突起，并且其中所述第一突起包括与形成在所述圆形晶片的周界上的所述缺口的形状互补的形状； 第一板，被布置在所述前细长部件的第一侧处； 其中在沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界驱动所述缺口定位部件时，所述细长部件的所述后表面与所述第一板的前表面之间的距离被测量，并且所测得的距离的值被用来确定所述第一突起与所述缺口的接合。12.根据权利要求11所述的设备，还包括: 位置传感器； 浮动接头连接件，被配置为将所述位置传感器的前表面连接至所述前细长部件的所述后表面;并且 其中所述位置传感器被配置为在沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界驱动所述缺口定位部件时，测量所述细长部件的所述后表面与所述第一板的所述前表面之间的距离。13.根据权利要求11或12所述的设备，还包括: 第二板，被布置在所述前细长部件的与所述第一侧相对的第二侧处;并且 其中所述第一板和所述第二板分别支撑第一辊和第二辊，并且其中所述第一辊和所述第二辊被配置为在所述圆形晶片的周界周围滚动。14.根据权利要求11、12或13所述的设备，还包括第二突起和第三突起，所述第二突起和所述第三突起从所述前细长部件的所述前表面延伸并且分别被布置在所述第一突起的左边和右边，并且其中所述第二突起和所述第三突起包括与形成在所述圆形晶片的周界上的所述缺口的形状互补的形状。15.根据权利要求12、13或14所述的设备，其中所述位置传感器包括线性电位计。16.根据权利要求11至15中任一项所述的设备，其中经由活塞或电动机沿着所述第一轴线朝向所述圆形晶片的周界驱动所述缺口定位部件。17.根据权利要求11至16中任一项所述的设备，其中所述缺口定位部件包括三角形部件，并且其中所述前细长部件部分地形成所述三角形部件的底边。
【专利摘要】一种用于定位和接合圆形晶片的周界上的缺口的设备，包括缺口定位部件和第一板。缺口定位部件被配置为沿着第一轴线线性移动并且包括前细长部件，前细长部件沿着与第一轴线垂直的第二轴线延伸并且具有前表面、与前表面相对的后表面以及从细长部件的前表面延伸的第一突起。第一突起具有与形成在圆形晶片的周界上的缺口的形状互补的形状。在沿着第一轴线朝向圆形晶片的周界驱动缺口定位部件时，细长部件的后表面与第一板的前表面之间的距离被测量，并且所测得的距离的值被用来确定第一突起与缺口的接合。
【IPC分类】H01L21/68, H01L21/67
【公开号】CN105518844
【申请号】CN201480040401
【发明人】H·约翰森, G·乔治, M·布瑞南
【申请人】聚斯微技术平版印刷有限公司
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2014年7月16日
【公告号】DE112014003314T5, US20140319786, WO2015007802A2, WO2015007802A3