由基，将能被分离成自由基的气体提供至源310。气体可以是或包括例如氢(H2)、碘化氢(HI)、溴(Br2)、氯(Cl2)、碘(12)、甲烷或水。附加气体(诸如氩和氧的混合物)可以在将混合物提供至源310之前被添加。将气体以质量流率或速度提供至源310，并且在源310处生成的自由基与气流一起从源310流动到导管350内。
[0086]开口352和导管350的输送自由基305或者以其他方式在自由基305的路径中的部分由具有低复合系数的材料制成。开口 352被联接至微波等离子体生成器的施加器，使得开口 352接收自由基305。微波等离子体生成器的施加器可以由蓝宝石制成，并且导管350和开口 352可以联接至蓝宝石施加器，使得自由基在从源310流动到导管350内时不会遇到任何金属表面。这样的布置可以有助于降低联接处的基团损失。
[0087]将导管350中的自由基305朝向开口 354a至3541引导(420)。自由基305可以通过在导管350中从源310流动的气体被朝向开口 354a至3541引导。另外地或备选地，在开口 354a至3541提供的通道所通向的容器330的内室323中的压力低于在源310处和在导管350中的压力。例如，容器330内的压力可以是300mtorr(40帕斯卡)。作为结果，自由基305被从导管350抽吸、通过开口 354a至3541并且进入内室332中。
[0088]如上面所讨论的，为了有助于促进基团的输送，导管350由具有与流动到导管350内的自由基的低复合率的材料制成。另外，在导管中承载基团的气体的质量流率或速度在使背压的影响最小化的状态下被尽可能多地增加。增加自由基305在导管350中移动的速度还降低了自由基305在导管350中的时间的量，减少了可能归于与导管350的内壁碰撞的基团损失的量。增加自由基305的速度还增加了元件的清洁的速率。在一些实施方式中，自由基305跨越导管350的纵向范围以恒定的ISLM至4SLM在导管350中行进。导管350的纵向范围可以是例如0.8m至2m。
[0089]使自由基305穿过354a至3541中的至少一个并且朝向元件320的表面322(430)。如上面所讨论的，容器330的内室332、源310与导管350的内部之间的压力差可以引起自由基305穿过开口 354a至3541，其中压力在容器330中最低。开口 354a至3541被朝向清洁区328定向并且将自由基305引导至清洁区328。基团305与清洁区328上的碎肩324结合并且去除碎肩324。基团可以通过例如腐蚀碎肩324、使其燃烧或与之起反应而与碎肩结合。基团305可以以5nm/min至125nm/min的速率去除碎肩。
[0090]在一些实施方式中，诸如图3B和图3C中所示，开口 354a至3541可以通过使导管350转动和/或平移而被朝向元件320定向，使得开口354a至3541被指向元件320的特定部分。
[0091]图5至图8分别示出其他示例性导管550至850。导管中的任何一个都可以被用在输送系统200或300中。
[0092]参见图5，示出了示例性导管550。导管550限定出纵轴559和两个端部、源端部560和容器端部561。导管550具有作为在平行于纵轴559的方向上的在源端部560与容器端部561之间的距离的纵向范围563。范围563可以是0.8m至2m。例如，范围563可以是0.8m、0.9m、
0.95m、0.975m或lm。导管550具有限定出外表面556、内表面565和边缘566的壁567。源端部的边缘566限定出具有直径564的开口 552。直径564可以是例如2.5cm。
[0093]壁567限定出开口 554a至554p，其中的每一个穿过壁567以形成允许流体和自由基从导管550的内部传递到导管550的外部的通道。开口 554a至554p的尺寸可以变化，其中尺寸沿着方向507增加。也就是，开口 554a是最小的开口，并且开口 554p是最大的开口。开口554a至554p可以在截面上是圆形的，并且可以具有范围在4.5mm至6.5mm之间的直径。开口可以在方向507上以20mm至40mm彼此间隔开。此外，导管550可以具有比图5中示出的示例更多或更少的开口。
[0094]边缘566和内表面565由具有低复合系数的材料制成和/或被涂覆有这样的材料。边缘566和内表面565可以是或者被涂覆有例如Pyrex、石英、玻璃、天然氧化物(诸如二氧化硅或二氧化钛)或者诸如阳极化铝等的阳极化金属。边缘566和内表面565可以是具有大约5X 10—3或更小的复合系数的任何材料。以该方式，边缘566和内表面565与相对少的自由基复合，转而将自由基输送通过导管并且将自由基传送至待清洁的元件。在其他情况中，具有IX 10—2或更高的复合系数的材料也可以以清洁速率上的相应的减小的状态使用。
[0095]在使用中，源端部560被联接至自由基的源并且在开口552处接收自由基。例如，源端部560可以被联接至微波等离子体生成器的施加器。微波等离子体生成器的施加器是将微波能量转换成等离子体的元件。微波等离子体生成器的施加器可以是由例如蓝宝石制成的管。将蓝宝石施加器管联接至开口 552允许由源生成的自由基在不会遇到与自由基复合的金属或其他元件的情况下流动到导管550内。作为结果，导管550的至源的联接导致如果有的话的很少的自由基的损失。自由基从源行进到导管550内并且通过孔554a至554p离开导管。
[0096]图6和图7分别示出其他示例性导管650和750。导管650和750可以被用在本文中所公开的输送系统中的任何一个、例如上面所讨论的系统200或300中。导管650和750与导管550类似，除了导管650和750具有通过被定位成穿过导管650、750的侧壁667、767上的不同点而以不同角度偏移的开口之外。定位引起从导管650和750发射出的基团跨越待清洁的元件的较大区域被发射出。换言之，当被投射到待清洁的元件上时，与具有均相对于待清洁的元件以相同角度被定向的开口的导管的开口相比，导管650和750的开口覆盖更大区域。这样的导管的示例是其中所有的开口被沿着平行于导管的纵轴的线对准的一个导管(诸如导管 550)。
[0097]参见图6，导管650具有源端部660和容器端部661。导管650具有限定出纵轴659、外表面656、内表面665和边缘666的壁667。源端部660的边缘666限定出具有直径664的开口652。直径664可以是例如2.5cm。壁还限定出开口 654a至654s。开口 654a至654s以螺旋布置被布置在壁657上。开口 654a至654s可以被布置在导管的仅一个半部上，如图6所不。在其他实施中，开口654a至654s可以被布置在整个导管650的表面上，使得基团被从导管650在所有方向上发射出。
[0098]导管650具有在平行于纵轴659的方向上的范围663。范围663可以是0.8m至2m。例如，范围663可以是0.8111、0.9111、0.95111、0.975111或1111。与导管550类似，导管650的内表面665和边缘666是具有低复合系数的材料。
[0099]参见图7，导管750具有源端部760和容器端部761。导管750具有限定出纵轴759、外表面756、内表面765和边缘766的壁767。源端部760的边缘766限定出具有764的直径的开口752。直径764可以是例如2.5cm。壁还限定出多个开口 754，其中的每一个提供了在导管750的内部与外部之间的通道用于基团和气体。开口 754被布置在平行于纵轴759延伸的列中。开口 754具有不同尺寸，其中尺寸在方向707上增加。图7中示出的示例导管750具有三个列的开口。然而，可以使用更多或更少列的开口。
[0100]导管750具有在平行于纵轴759的方向上的范围763。范围763可以是0.8m至2m。例如，范围763可以是0.8111、0.9111、0.95111、0.975111或1111。与导管550类似，导管750的内表面765和边缘766是具有低复合系数的材料。
[0101]参见图8A，示出了另一示例性导管850。导管850可以被用作本文中所公开的输送系统的任何一个中的导管。例如，并且还参见图SB，导管850可以代替输送系统300中的导管350使用。导管850与导管550类似，除了导管850具有曲率半径870之外。因为曲率半径，所以导管850具有限定出纵轴859的线性部分871，和远离线性部分871弯折并且沿着轴线873延伸的弯曲部分872 ο曲率半径870可以是使得纵轴859与轴线873之间的角度“A”大于0°并且不超过90°的任何曲率。
[0102]导管850包括源端部860和容器端部861。导管具有沿着平行于纵轴859的方向807的范围 874。范围 874可以是 0.8m、0.9m、0.95m、0.975mSlm。
[0103]导管850具有限定出纵轴859、外表面856、内表面865和边缘866的壁867。源端部860的边缘866限定出具有直径864的开口 852。直径864可以是例如2.5cm。壁还限定出多个开口 854，其中的每一个提供了在导管850的内部与外部之间的通道用于基团和气体。开口854具有不同尺寸，其中尺寸在方向807上增加。
[0104]与导管550类似，导管850的内表面865和边缘866是具有低复合系数的材料。
[0105]参见图9A和图9B，示出了另一示例性自由基输送系统900的框图。图9A示出输送系统900的侧视图。图9B示出输送系统900的沿着图9A的线9B-9B截取的截面图。
[0106]输送系统900包括包含多个导管950a至950g的歧管950(图9B)。多个导管950a至950g被连接至自由基905的源。在一些实施方式中，各导管950a至950g被连接至自由基的单独的源。源910产生分别在开口 952a至952g处进入导管950a至950g内并且在方向907上在导管950a至950g中流动的自由基905。
[0107]导管950a至950g中的每一个具有开口 954a至9541，其中的所有开