探针的测试信号:TESTlo
[0035]第十二连接线122用于传输测试电路切换组件103给第二个测试探针的测试信号:TEST2o
[0036]可以理解，第五线组中的连接线根据测试探针的数目可以不止两根。
[0037]第六线组由第十三连接线116和第十四连接线117组成。
[0038]第十三连接线116用于时序控制器101给标识机构的信号:INK1。可以理解，该第十三连接线116可以是多根。
[0039]第十四连接线117用于时序控制器101给标识机构的信号:INK2。可以理解，该十四连接线117可以为多根。
[0040]可以理解的是，上述连接线是指电气上的连线或逻辑连接。
[0041]以上就是本实用新型的多探针时序测试系统，使用时，上电自检后，等待点测机座100的开始信号，点测机座100机械移动完成后经第一连接线110通知时序控制器101开始测试，此时第I根测试探针开始对晶圆片上第一款芯片进行测试，时序控制器101先经过第八连接线118通知测试电路切换组件103接通第十一连接线121，然后时序控制器101经过第五连接线113通知测试仪表102开始测试，然后测试仪表102进行测试，此时，测试仪表102通过第十连接线120传输信号给测试电路切换组件103，测试电路切换组件103通过第十一连接线121传输信号给第一根测试探针，由测试探针对晶圆片上的第一颗芯片进行测试。测试完成后，测试仪表102经过第七连接线115通知时序控制器101测试结果，第六连接线114通知时序控制器101测试完成，时序控制器101将测试结果保存，并通过第八连接线118通知测试电路切换组件103断开第十一连接线121，第一根测试探针测试完成。然后进行第二根测试探针的测试，通过第九连接线119通知测试电路切换组件103接通第十二连接线122，然后时序控制器101经过第五连接线113通知测试仪表102开始测试，然后测试仪表102进行测试，此时，测试仪表102通过第十连接线120传输信号给测试电路切换组件103，测试电路切换组件103通过第十二连接线122控制第二根测试探针进行测试；测试完成后，测试仪表102经过第七连接线115通知时序控制器101测试结果，测试仪表102通过第六连接线114通知时序控制器101测试完成，时序控制器101将测试结果保存，并通过第八连接线118通知测试电路切换组件103断开第十二连接线122，第二根测试探针对晶圆片上的芯片测试完成，然后时序控制器101对测试结果处理后，经过第三连接线112反馈给点测机座100，然后经过第二连接线111通知点测机座100测试完成，此时点测机座100根据通过第四连接线123通知时序控制器101是否需要标识，如需要标识，时序控制器101通过第十三连接线116和连接线117驱动标识机构，对需标识芯片进行标识，如不需要标识，则继续等待点测机座100的开始测试信号(此标识动作可在全部测试探针测试完成后统一标识，也可在每根测试探针测试完成后由时序控制器101直接标识)。
[0042]本说明仅以2组测试探针和标识机构为例，但本专利不限定2组，可以是5组，7组甚至更多组。
[0043]由于本实用新型由于采用多组测试探针组件和标识机构，能够有效地提升设备的产能，减少设备测试移动的次数，延长设备的使用寿命，同时，本实用新型由于采用多组测试探针组件和标识机构是在目前原设备基础上外挂实现，不对设备内部进行改造动作，稳定性和便利性很高，充分满足了高效、延长设备使用寿命的目的，市场前景广阔。
[0044]但是，本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本实用新型，而并非用作为对本实用新型的限定，只要在本实用新型的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本实用新型的权利要求书范围内。
【主权项】
1.一种多探针时序测试系统，包括测试仪表和点测机，所述点测机包括点测机座和设于点测机座上的测试探针，其特征在于包括:所述点测机座上设有多个测试探针，还包括有时序控制器和测试电路切换装置，所述时序控制器分别通过第一线组、第二线组和第三线组与点测机座、测试仪表以及测试电路切换装置连接，所述测试电路切换装置还通过第四线组、第五线组分别连接测试仪表和各个测试探针。
2.根据权利要求1所述的多探针时序测试系统，其特征在于:还包括有标识机构，所述时序控制器通过第六线组连接所述标识机构。
3.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试系统，其特征在于:所述点测机座由Y轴组件、设于Y轴组件上的X轴组件、设于X轴组件上Z轴组件以及设于Z轴组件上的Θ轴组件构成。
4.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试系统，其特征在于:根据权利要求所述第一线组由第一连接线、第二连接线、第三连接线以及第四连接线组成。
5.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试系统，其特征在于:所述第二线组由第五连接线、第六连接线和第七连接线组成。
6.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试系统，其特征在于:所述第三线组由第八连接线和第九连接线组成。
7.根据权利要求1或2所述的多探针时序测试系统，其特征在于:所述第四线组仅包括第十连接线，所述第五线组由第十一连接和第十二连接线组成。
【专利摘要】本实用新型公开了一种多探针时序测试系统，包括测试仪表和点测机，所述点测机包括点测机座和设于点测机座上的测试探针；所述点测机座上设有多个测试探针，还包括有时序控制器和测试电路切换装置，所述时序控制器分别通过第一线组、第二线组和第三线组与点测机座、测试仪表以及测试电路切换装置连接，所述测试电路切换装置还通过第四线组、第五线组分别连接测试仪表和各个测试探针。
【IPC分类】H01L21-66
【公开号】CN204361055
【申请号】CN201520043109
【发明人】丁波, 李轶, 陈瀚, 侯金松
【申请人】上海微世半导体有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2015年1月21日