个第一标记41和两个第二标记42紧靠结合成一体，两个第一子标记411中的缺P 50斜对。
[0027]请参考图3，所述第一标记41还包括第二子标记412，较佳的，所述第一子标记411及第二子标记412呈90°折线状，且折线弯折处的两边相等，所述缺口 50即在第一子标记411的弯折处形成。优选的，所述缺口 50为正方形缺口，所述缺口 50的边长等于所述第一子标记411的宽度。所述第一子标记411及第二子标记412相对设置，第一子标记411开口向内(即朝向曝光单元30)，第二子标记412开口向外(即远离曝光单元30)，第二子标记412包容第一子标记411 (第一子标记411位于第二子标记412限定范围内)。
[0028]继续参考图3，所述第二标记42包括第三子标记421及第四子标记422，所述第三子标记421与第一子标记411区别在于所述第一子标记411具有缺口 50。除了缺口 50的差异外，所述第一标记41与第二标记42呈镜像对称。例如图3所示实施例中，顶角A处的第一标记41分别与顶角B和顶角C处的第二标记42呈镜像对称，且以曝光单元的中线呈镜像对称。
[0029]结合图1和图3可知，在本实用新型中，第二标记42的尺寸规格都可以按照现有技术进行设计。具体的，所述第三子标记421及第四子标记422相对设置，第三子标记421开口向内(即朝向曝光单元30)，第四子标记422开口向外(即远离曝光单元30)，第四子标记422包容第三子标记421 (即第三子标记421位于第四子标记422限定范围内)。所述曝光单元30则可以根据具体布局(layout)而定，例如可以是正方形、长方形。
[0030]通常，可以是位于顶角A处的第一标记41和顶角B处的第二标记42位于曝光单元的同一侧，而位于顶角C处的第二标记42和顶角D处的第一标记41位于曝光单元的另一侧，一般在进行曝光形成多个曝光单元30后，第一标记41及第二标记42结合成图4所示的用于测量时的CD测量标记。
[0031]请参考图4，在形成多个曝光单元30后，相邻曝光单元30顶角处便形成由第一标记和第二标记结合成用于测量时的CD测量标记。可以看出，在结合成的用于测量时的CD测量标记中，第二子标记412和第四子标记422组合呈方环形，第一子标记411和第三子标记421结合呈十字形。
[0032]由于缺口 50是位于折线的弯折处，因此在图4中，这两个缺口 50紧邻，而且由于所述缺口 50的边长等于所述第一子标记411的宽度。这样能够在虚线1-1区域形成较为显著的对比度，从而有利于程式(recipe)中已由图形3与CD测量标记的精确对准，避免了寻址失败。
[0033]当然，请继续参考图5和图6所示的第二实施例，其与第一实施例的区别在于，所述缺口 50为正方形缺口，所述缺口 50的边长也是小于所述第一子标记411的宽度。同样的，在结合成图6所示的用于测量时的CD测量标记时，也会在十字形中出现两个紧邻的缺口，则依据这两个紧邻的缺口所产生的对比度，也能够实现较好的精对准。
[0034]由此也可以引申出，缺口 50是其他形状，例如长方形，或者同一曝光单元20顶角处的两个第一标记41中的缺口 50大小形状不同，也是体现在实现本实用新型的思想中。当然，也可以采用曝光单元的四个顶角处都是具有缺口的第一标记，这样的结构在进行测量时对比度相比现有技术也会有着一定的提尚。
[0035]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种关键尺寸测量标记，其特征在于，包括两个第一标记和两个第二标记，所述第一标记和第二标记交替分布于一曝光单元的四个顶角处，所述第一标记包括第一子标记和第二子标记，所述第二标记包括第三子标记和第四子标记，所述第一子标记、第二子标记、第三子标记和第四子标记均呈直角折线状，并且，所述第一子标记的弯折处具有缺口。
2.如权利要求1所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，所述缺口为正方形缺口。
3.如权利要求2所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，所述缺口的边长等于所述第一子标记的宽度。
4.如权利要求2所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，所述缺口的边长小于所述第一子标记的宽度。
5.如权利要求1所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，所述曝光单元呈正方形。
6.如权利要求1所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，所述曝光单元呈长方形。
7.如权利要求5或6所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，四个曝光单元相邻顶角处的共两个第一子标记和两个第三子标记组合呈十字形，所述两个第一子标记中的缺口斜对且紧邻。
8.如权利要求5或6所述的关键尺寸测量标记，其特征在于，所述第二子标记和第四子标记呈镜像对称，四个曝光单元相邻顶角处的共两个第二子标记和两个第四子标记组合呈方环形。
【专利摘要】本实用新型揭示了一种关键尺寸测量标记。所述关键尺寸测量标记包括两个第一标记和两个第二标记，所述第一标记和第二标记交替分布于一曝光单元的四个顶角处，所述第一标记包括第一子标记和第二子标记，所述第二标记包括第三子标记和第四子标记，所述第一子标记、第二子标记、第三子标记和第四子标记均呈直角折线状，并且，所述第一子标记的弯折处具有缺口。由于缺口的存在，会产生对比度，那么与程式中已由图形的对齐就容易且精确，避免了寻址失败的情况。
【IPC分类】H01L23-544
【公开号】CN204391103
【申请号】CN201520033712
【发明人】邢滨, 张士健
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年1月17日