与传统的腔镜支架相比，大大提高了激光器的实用性，使激光器的结构更紧凑，避免了传统的腔镜支架因振动而造成的输出激光能量不稳定。
[0022]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
[0023]图2为本实用新型所采用的具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器的结构示意图。与图1所示的典型的准分子激光器的结构相比，本实用新型的激光器的腔体的两端的外侧分别具有波纹管式的腔镜调节装置8，其用于取代传统的腔镜支架7。两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜4和全反射镜6，并分别将所述两个布儒斯特窗5中的一个包裹在内。腔镜调节装置8与腔体I密封连接，以使输出耦合镜4与腔体I之间，以及全反射镜6与腔体I之间均形成密闭空间。该腔镜调节装置8可以通过波纹管的法兰与激光器的腔体I相连，把激光器的布儒斯特窗5置于该腔镜调节装置内可通过密封圈实现密封。从而使激光器的全反射镜6和输出耦合镜4与激光器腔体I相连构成一个一体化的激光器结构。因此实现了布儒斯特窗5以及全反射镜6和输出親合镜4的一个表面与空气的隔离。此外腔镜调节装置8可以配置一个进气阀门和一个出气阀门(图中未示出)，通过所述阀门可以将密封好的腔镜调节装置8抽成真空，以提供一个真空环境，或者冲入氮气以提供一个氮气环境。
[0024]图3为本实用新型的一个实施例的波纹管式腔镜调节装置的剖面图。该实施例中，腔镜调节装置8包括波纹管13、外壳14和调节螺母U。外壳14是一个两端开口的筒体，筒体的一个开口端与激光器的腔体I进行固定，另一个开口端可供波纹管13沿其轴向伸入，波纹管13并不全部伸入筒体，而是部分露出于筒体的外部。筒体的供波纹管13伸入的开口端与波纹管13连接，且该开口端与波纹管13的连接区域实现密封。所述输出耦合镜4固定在所述波纹管13的伸入外壳14 一端的底面上并与该底面实现密封连接。波纹管13露出于筒体外部的部分具有一个径向向外凸出的外缘10，该外缘10上具有通孔以供调节螺母11穿过。调节螺母11穿入所述外缘10上的通孔并顶抵所述外壳14的伸入波纹管一侧的开口端的底面的外壁。这样，当转动调节螺母时，能够改变波纹管13的形变量，使波纹管13相对于外壳14进行微小的倾斜，由此微调安装于波纹管13上的输出耦合镜4的方向。
[0025]如图3所示，在该实施例中，调节螺母11具有4个，它们且呈十字交叉分布。这样，通过任意一个调节螺母都可以改变波纹管13的形变量，这样就可以按照使用者的需要对输出耦合镜4的角度进行调节。并且，在该实施例中，通过固定螺母19将波纹管13和调节装置外壳14连接为一体并固定。
[0026]此外，为了实现外壳14与波纹管13之间的密封，以及实现波纹管13与输出耦合镜4之间的密封，分别在实外壳14与波纹管13之间、波纹管13与输出耦合镜4之间设置第一密封圈12和第二密封圈16。
[0027]如图3所示，该实施例的该腔镜调节装置8通过通孔15由螺丝与激光器的腔体I固定。
[0028]由此可知，本实用新型通过一体化设计，既能排除空气中的水蒸气对布儒斯特窗5以及全反射镜6和输出耦合镜4的潮解，又能避免空气中的粉尘粘附于布儒斯特窗5以及全反射镜6和输出耦合镜4的表面造成透过率下降及表面损伤。同时腔镜调节装置8内的氮气或者真空环境避免了腔内的空气吸收损耗，保证激光器的输出功率不会因此而衰减。
[0029]由于腔镜调节装置8跟激光器腔体I直接相连，就不存在传统腔镜支架的磁性底座无法吸附在铝材料上的问题。并且，如果激光器的相对位置或者相对高度发生改变，无需再对输出耦合镜和全反射镜的相对位置做出任何调整，大大提高了激光器的实用性。同时避免了传统的腔镜支架7因振动而造成的输出激光能量不稳定，此外也使得激光器的结构更为紧凑。
[0030]以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，包括作为放电腔的腔体(1)、位于放电腔的两端并作为放电腔激光输出窗口的两个布儒斯特窗(5)，以及位于放电腔两端的外侦U，用于接收从所述布儒斯特窗(5)出射的激光的输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，其特征在于， 所述气体激光器的腔体(I)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置(8)分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将所述两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；并且 所述腔镜调节装置(8)包括波纹管(13)，且通过该波纹管(13)与所述腔体(I)密封连接，输出耦合镜(4)固定于波纹管上，所述输出耦合镜(4)与腔体(I)之间，以及所述全反射镜(6)与腔体(I)之间均形成密闭空间。2.如权利要求1所述的具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，其特征在于，所述腔镜调节装置(8)还包括外壳(14)，其中， 所述外壳(14)是一个两端开口的筒体，该筒体的一个开口端与激光器的腔体(I)固定，另一个开口端可供所述波纹管(13)沿其轴向伸入； 所述波纹管(13)部分伸入所述外壳(14)的筒体； 所述输出耦合镜(4)固定在所述波纹管(13)的伸入外壳(14)的一端的底面上并与该底面实现密封连接。3.如权利要求2所述的具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，其特征在于，所述腔镜调节装置(8)还包括调节螺母(11)，所述波纹管(13)露出于筒体外部的部分具有一个径向向外凸出的外缘(10)，该外缘(10)上具有通孔以供所述调节螺母(11)穿过； 所述调节螺母(11)穿入所述外缘(10)上的通孔并顶抵所述外壳(14)的伸入波纹管一侧的开口端的底面的外壁。4.如权利要求3所述的具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，其特征在于，所述调节螺母(11)具有4个，它们且呈十字交叉分布。5.如权利要求1所述的具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，其特征在于，所述密闭空间中抽成真空。6.如权利要求1所述的具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，其特征在于，所述密闭空间中充入非氧化性气体。
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有波纹管式腔镜调节装置的气体激光器，气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；腔镜调节装置(8)与腔体(1)密封连接，以使输出耦合镜(4)与腔体(1)之间，以及全反射镜(6)与腔体(1)之间均形成密闭空间。本实用新型能排除空气中的水蒸气对镜片材料的潮解，避免空气中的粉尘粘附于镜片表面，使激光器的结构更紧凑，输出激光能量的稳定性更高。
【IPC分类】H01S3/086, H01S3/036
【公开号】CN205212163
【申请号】CN201520615506
【发明人】沙鹏飞, 彭卓君, 单耀莹, 宋兴亮, 李慧, 蔡茜玮, 范元媛, 赵江山, 周翊
【申请人】中国科学院光电研究院
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年8月14日