专利名称：直线电动机电枢和直线电动机的制作方法
技术领域：
所公开的实施方式涉及直线电动机电枢和直线电动机。
背景技术：
已经提出了在工厂自动化(FA)设备中使用以例如驱动半导体曝光装置或液晶曝光装置的载物台(stage)或进给机床的工作台的直线电动机，其目的在于高速的进给和加工以及高精度的处理。已知采用所谓的“双重冷却机构”的直线电动机是这种直线电动机。相关的常规技术包括在日本专利No. 3459978中描述的技术。日本专利No. 3459978中描述的直线电动机包括磁体，其形成场磁极；线圈，其形成隔着磁隙而面对磁体设置的电枢；壳体，其以带有预定间隙的方式包含线圈并且通过使制冷剂经过间隙来冷却线圈；以及外壳，其以带有预定间隙的方式包含壳体，并且通过使制冷剂经过间隙来冷却壳体。利用这个构造，首先通过在线圈和壳体之间形成的第一外侧主通道沿线圈的纵向引入制冷剂(处于低温状态)，接着使制冷剂在通过第一外侧主通道之后通过在壳体和外壳之间形成的第二外侧主通道沿横向流动。然后，制冷剂通过第二外侧主通道被提供到壳体内部，并且制冷剂沿着线圈表面在横向上流动地从排出管排出到外部(处于最高温状态)。常规技术可以利用制冷剂冷在某种程度上抑制表面温度的升高。但是，当打算用相似的直线电动机尺寸来增大推力时，在向电枢施加电流以增加推力时难以避免由于从线圈产生的热导致的电枢的表面温度的增加，这造成了提高冷却效率的问题。
发明内容
实施方式的一个方面的目的是提供直线电动机电枢和直线电动机，在打算用相似的尺寸增加推力时，所述直线电动机电枢和直线电动机可以抑制电枢表面温度的增加并提高冷却效率。根据本实施方式的一个方面的直线电动机电枢包括电枢线圈和冷却套(jacket)。所述冷却套被设置为包围所述电枢线圈，并且向所述冷却套的内部空间提供制冷剂。所述冷却套形成为薄板状，其具有包括用于在其厚度方向上提供制冷剂的多个通道的结构。根据本实施方式的方面，可以提供一种直线电动机，当打算以相似的尺寸增加推力时，该直线电动机可以抑制电枢表面温度的增加并提高冷却效率。
由于在联系附图进行思考时参考以下的详细说明能够更好地理解本发明，因此可以容易地获得对本发明及其更多优点的更全面的理解，其中图1是在第一实施方式中使用的直线电动机的整体立体图；图2是根据第一实施方式的直线电动机电枢的分解立体图；图3是根据第一实施方式的直线电动机电枢的正面剖面图4是根据第一实施方式的变型例的直线电动机电枢的正面剖面图；图5A是根据第二实施方式的直线电动机电枢的正面剖面图；图5B是沿图5A中所示的线VB-VB截取的侧面剖面图；图5C是沿图5B中所示的线VC-VC截取的水平剖面图；图6是根据第二实施方式的变型例的直线电动机电枢的侧面剖面图；图7A是根据第三实施方式的直线电动机电枢的正面剖面图；图7B是沿图7A中所示的线VIIB-VIIB截取的侧面剖面图；以及图7C是沿图7B中所示的线VIIC-VIIC截取的水平剖面图。
具体实施例方式首先，将描述第一实施方式。图1是在第一实施方式中使用的直线电动机的整体立体图。如图1所示，经受制冷剂冷却的直线电动机1包括励磁系统2、磁轭3、励磁系统永磁体4、电枢5和底座6。图1中示出的直线电动机1具有以下结构包括有在由铁磁材料制成的磁轭3上沿纵向排布的励磁系统永磁体4的励磁系统2充当定子，并且隔着磁隙面对励磁系统2而设置的电枢5充当动子(mover)，使得动子相对于定子相对地移动。图2是根据第一实施方式的直线电动机电枢的分解立体图。在图2中，附图标记7表示电枢线圈，附图标记8表示冷却套，附图标记8a表示第一冷却套，附图标记8b表示第二冷却套，附图标记8c表示第三冷却套，附图标记8e表示第四冷却套，附图标记8f表示第五冷却套，附图标记9a表示制冷剂入口，附图标记9b表示制冷剂出口，并且附图标记10表示基板。如图2所示，电枢5包括冷却套8，冷却套8具有内部空间，制冷剂被提供到该内部空间中；平板状底座6，其设置在冷却套8的与电枢5的移动方向平行的四个表面中的顶面上，由此形成了所谓的“T形直线电动机电枢”。具体地，直线电动机1的电枢5包括固定在基板10上的电枢线圈7 ；盒状冷却套8，其以包围电枢线圈7的方式插入，并且盒状冷却套8是通过将与电枢5的移动方向平行的三个表面(冷却套8a、8b和8c)和与电枢5的移动方向垂直的两个表面(冷却套8e和8f)相互面对地连接成盒状而形成的；以及单平板状的底座6。图3是根据第一实施方式的直线电动机电枢的正面剖面图。如图3所示，电枢5还包括法兰11、螺钉12、内侧制冷剂通道13a和外侧制冷剂通道 13b0根据第一实施方式，在具有电枢线圈7、冷却套8(内部包含通道)以及底座6的电枢5中，通过利用如图3中所示的树脂注模14进行固定或者利用键合用粘合剂(未示出) 进行粘合以紧密地附接到冷却套8的内侧，电枢线圈7与冷却套8结为一体。如图3所示，在通过将与电枢5的移动方向垂直的两个表面(位于图3中的前面和后面的两个表面，冷却套8e和8f)和与电枢5的移动方向平行的三个表面(冷却套8a、 8b和8c)连接成盒状而形成的冷却套8中，通过将冷却套8的边缘部弯曲90度而形成的法兰11与碳纤维增强塑料(CFRP) —体地制成，并且利用螺钉12将冷却套8的法兰11固定到底座6。利用CFRP(碳纤维)一体地制成冷却套8能够增加强度。具体地，按照使碳纤维的方向垂直于与推力的方向一致的方向的方式将碳纤维布置在各个角部以增加刚性，使得即使将电枢5的姿态改变为水平方向也能够充分地支承电枢5的质量。利用这种构造，底座6可以向外传递由电枢线圈7产生的推力。另选地，作为将盒状冷却套8与单平板状的底座6连接起来的连接结构，可以以粘接的方式将法兰11与另一个部件固定在一起，并且利用螺钉12经由法兰11将冷却套8固定到底座6。另一个方法是简单地将冷却套8粘接到底座6并接着利用螺钉12来固定冷却套8，而不使用法兰11作为连接冷却套8和底座6的连接部。在上述任意一种情况下，底座 6可以以相似方式向外传递由电枢线圈7产生的推力。在第一实施方式中，冷却套8形成为薄板状并具有多个通道(具体地，包括如图3 所示的内侧制冷剂通道13a和外侧制冷剂通道13b的双层构造)，通过这些通道在厚度方向上(向表面传递热的方向)提供制冷剂。向包括图3中示出的内侧制冷剂通道13a和外侧制冷剂通道13b的冷却套8提供包括如图2所示的用于导入和排出制冷剂的制冷剂入口 9a和制冷剂出口 9b的底座6，其中，制冷剂入口 9a和制冷剂出口 9b中的每一个都与内侧制冷剂通道13a和外侧制冷剂通道1 连通。在工作时，从制冷剂入口 9a导入的制冷剂分岔并且流入内侧制冷剂通道13a和外侧制冷剂通道13b，并且从制冷剂出口 9b排出到外部。更具体地，流过电枢线圈7附近的内侧制冷剂通道13a的制冷剂用于以与常规技术相同的方式收集由电枢线圈7产生的热。流过直线电动机的表面附近的外侧制冷剂通道 13b的制冷剂可以收集未被流过内侧制冷剂通道13a的制冷剂收集的少量的热，并且同时， 流过靠近直线电动机的表面的外侧制冷剂通道1 的制冷剂可以实现将直线电动机1的表面温度保持在导入的制冷剂的温度的屏蔽效果，即所谓的表面温度抑制效果。如上所述，根据第一实施方式的电枢5通过在厚度方向上设置双层(多层)通道， 可以将冷却套8的通道分成热收集通道和表面温度抑制通道，其中，用于收集热的制冷剂流过热收集通道，并且用于抑制表面温度的制冷剂流过表面温度抑制通道，由此使得能够极大地抑制直线电动机1的表面温度的上升。结果，因为即使在打算以相似的直线电动机尺寸来增加推力时，也可以抑制电枢5的表面温度的上升，所以可以提高冷却效率并且抑制由于制冷剂压力而引起的变形。而且，这也使得能够获得可以容易且廉价制造的直线电动机电枢。此外，因为采用了具有包含双层通道的内置通道的套结构，双层通道彼此分开， 使得它们难以被内部压力影响，由此能够应对由增加的流速产生的高压规格。下面描述第一实施方式的变型例。图4是根据第一实施方式的变型例的直线电动机电枢的正面剖面图。根据该变型例的直线电动机电枢具有与图2和图3中所示的第一实施方式的构造基本相同的构造，但是不同点在于通道的剖面从常规的矩形变为梯形，而且没有在厚度方向上设置冷却套8中的双层通道。内侧制冷剂通道13a按以下方式形成靠近电枢线圈7的一边较长，而靠近直线电动机的表面的一边较短。因此，流过内侧制冷剂通道13a的制冷剂对于电枢线圈7具有更大的热收集效果，并且向直线电动机的表面传递较少的热。另一方面，外侧制冷剂通道1 按以下方式形成靠近电枢线圈7的一边较短，而靠近直线电动机的表面的一边较长。因此，流过外侧制冷剂通道13b的制冷剂受到来自电枢线圈7的热的影响较小，并且对表面温度的上升具有很大的抑制效果。这使得能够获得与在冷却套8中包含的通道在厚度方向上分为两层的情况等效的效果。如上所述，根据实施方式的变型例的电枢5通过将通道的剖面从常规的矩形改变为梯形，可以极大地抑制直线电动机1的表面温度的增加。下面描述第二实施方式。图5A是根据第二实施方式的直线电动机电枢的正面剖面图。图5B是沿图5A中所示的线VB-VB截取的侧面剖面图。图5C是沿图5B中所述的线VC-VC截取的水平剖面图。除了电枢105(下面说明)以外，根据第二实施方式的直线电动机100(未示出) 的构造与根据第一实施方式的直线电动机1的构造相同。如图5A所示，电枢105包括法兰111、螺钉112、内侧制冷剂通道113a和外侧制冷剂通道11北。与根据第一实施方式的电枢5相同，电枢105还包括电枢线圈107、内部含有通道的冷却套108和底座106。通过利用树脂注模114进行固定或者利用粘合剂(未示出) 进行粘合以紧密附接到冷却套8的内侧，电枢线圈107与冷却套108结合为一体。冷却套108形成为盒状，其中，两个表面(冷却套108e和108f)与电枢105的移动方向垂直，并且三个表面(冷却套108a、108b和108c)与电枢105的移动方向平行。而且，如图5A所示，利用CFRP (碳纤维)将通过使形成冷却套108的侧表面的冷却套108a、 108cU08e的上边缘部的表面弯曲90度而形成的法兰111 一体地制成，并且利用螺钉112 将法兰111固定到底座106。与根据第一实施方式的电枢5相同，冷却套108形成为薄板状，其具有沿厚度方向将提供制冷剂的通道分成多个通道的结构，即，如图5A和图5C所示，在该结构中，通道分成内侧制冷剂通道113a和外侧制冷剂通道11 的两层。内侧制冷剂通道113a和外侧制冷剂通道11 平行连接，使得制冷剂在通道中沿相同方向(由图5B和图5C中的箭头F指示)流动。具体地，如图5B和图5C所示，多个(图5A至图5C中所示的示例中为七个)外侧制冷剂通道113b在入口侧与第一入口侧通道115连通，并且在出口侧与第一出口侧通道 116连通。类似地，多个(图5A至图5C中所示示例中为八个)内侧制冷剂通道113a在入口侧与第二入口侧通道117连通，并且在出口侧与第二出口侧通道118连通。第一入口侧通道115和第二入口侧通道117在底座106中彼此连通，接着与设置在底座106的上表面上的制冷剂入口 109a连通。类似地，第一出口侧通道116和第二出口侧通道118在底座106 中彼此连通，接着与设置在底座106的上表面上的制冷剂出口 109b连通。利用上述构造，处于外侧制冷剂通道11 的出口侧的第一出口侧通道116和处于内侧制冷剂通道113a的出口侧的第二出口侧通道118在冷却套108中没有接合起来。在图5B中所示的示例中，尽管处于外侧制冷剂通道11 的入口侧的第一入口侧通道115和处于内侧制冷剂通道113a的入口侧的第二入口侧通道117在底座106中连接起来，但是入口侧的第一入口侧通道115和第二入口侧通道117可以另选地在冷却套108中连接起来。对上述第二实施方式的效果进行描述。与根据第一实施方式的电枢5相同，在电枢105中，冷却套108的通道包括内侧制冷剂通道113a和外侧制冷剂通道113b，因此在厚度方向上提供了双层构造。流过电枢线圈107附近的内侧制冷剂通道113a的制冷剂用于收集由电枢线圈107产生的热。流过直线电动机100的表面附近的外侧制冷剂通道11 的制冷剂收集没有被流过内侧制冷剂通道113a的制冷剂收集的少量的热，并且同时将直线电动机100的表面温度保持在导入的制冷剂的温度，由此抑制了表面温度的上升。在此情况下，因为与流过处于外侧制冷剂通道11 的出口侧的第一出口侧通道 116的制冷剂相比，流过处于内侧制冷剂通道113a的出口侧的第二出口侧通道118的制冷剂具有较大的热吸收量，所以其温度较高。因此，如果对结构进行调整以使第一出口侧通道 116和第二出口侧通道118在冷却套108中接合起来，则由于接合而增加了流过用于抑制直线电动机100的表面温度的外侧制冷剂通道113b(第一出口侧通道116)的制冷剂的温度。结果，与其他区域中的表面温度相比，可能增加制冷剂出口附近的直线电动机100的表面温度。如果出现了表面温度的这种增加，则担心直线电动机100周围的装置受到影响。为了解决这个问题，在第二实施方式中，如上所述，在冷却套108中不将第一出口侧通道116 和第二出口侧通道118接合到一起，这样，可以抑制制冷剂出口附近的直线电动机100的表面温度的增加，并且最终可以提高直线电动机100的可靠性。特别是在第二实施方式中，第一出口侧通道116和第二出口侧通道118在底座106 中接合到一起，由此确保获得不在冷却套108中接合通道116和118的结构，同时由于仅需要在底座106中设置单个制冷剂出口 109b而简化了结构。下面描述第二实施方式的变型例。图6是根据第二实施方式的变型例的直线电动机电枢的侧面剖面图，该剖面对应于沿图5A中所示的线VB-VB截取的剖面，并且仅部分地示出制冷剂出口侧。如图6所示，在根据第二实施方式的变型例的电枢105中，在底座106中设置两个制冷剂出口 109b和109b，制冷剂从这两个制冷剂出口流出。处于外侧制冷剂通道11 的出口侧的第一出口侧通道116和处于内侧制冷剂通道113a的出口侧的第二出口侧通道118 分别与这两个制冷剂出口 109b和109b连通。即，在第二实施方式的变型例中，第一出口侧通道116和第二出口侧通道118在冷却套108和底座106中都不接合到一起。根据具有上述构造的第二实施方式的变型例，因为可以获得不在底座106或冷却套108中将第一出口侧通道116与第二出口侧通道118接合在一起的结构，因此可以进一步抑制制冷剂出口附近的直线电动机100的表面温度的增加，并且最终可以进一步增强直线电动机100的可靠性。下面描述第三实施方式。图7A是根据第三实施方式的直线电动机电枢的正面剖面图。图7B是沿图7A中所示的线VIIB-VIIB截取的侧视剖面图。图7C是沿图7B中所示的线VIIC-VIIC截取的水平剖面图。除了电枢205(下面说明)以外，根据第三实施方式的直线电动机200(未示出) 的构造与根据第一实施方式的直线电动机1的构造相同。尽管第三实施方式的电枢205与第二实施方式的电枢105在制冷剂通道的构造上是不同的，但是由于电枢205除了制冷剂通道以外具有与电枢105相同的构造，因此将略去它的描述。与根据第二实施方式的电枢105相同，冷却套208形成为薄板状，其具有在厚度方向上将提供制冷剂的通道分成多个通道的结构，即，如图7A和图7C中所示，在该结构中，通道被分成内侧制冷剂通道213a和外侧制冷剂通道21 的双层结构。内侧制冷剂通道213a 和外侧制冷剂通道21 串联连接，使得由于在冷却套208的直线电动机200的移动方向上的第一端侧(图7B和图7C中的左端侧)使通道折返，这些通道中的制冷剂的流动方向(由图7B和图7C中的箭头F表示)变得彼此相反。外侧制冷剂通道21 布置在上游侧，而内侧制冷剂通道213a布置在下游侧。具体地，如图7B和图7C所示，连通孔220被提供给处于沿移动方向的第二端侧 (图7B和图7C中的右端侧)的多个(图7A至图7C中所示的示例中为七个)外侧制冷剂通道213b中的每一个，并且每一个连通孔220都与入口侧通道215连通。入口侧通道215 与设置在底座206的上表面上的制冷剂入口 209a连通。另一方面，连通孔221被提供给处于沿所述移动方向的第一端侧的每一个外侧制冷剂通道213b，并且各个连通孔221都与连接通道222连通。连接通道222是用于将外侧制冷剂通道21 和内侧制冷剂通道213a连接起来的通道。类似地，连通孔223被提供给处于沿所述移动方向的第一端侧的多个(图7A至图 7C中所示的示例中为八个)内侧制冷剂通道213a中的每一个，并且各个连通孔223都与连接通道222连通。另一方面，连通孔2M被提供给处于沿所述移动方向的第二端侧的每一个内侧制冷剂通道213a，并且各个连通孔2 都与出口侧通道218连通。出口侧通道218 与设置在底座206的上表面上的制冷剂出口 209b连通。外侧制冷剂通道21 和内侧制冷剂通道213a沿高度方向(图7A中的垂直方向) 交错地布置。因此，连接通道222例如按照下面的方式将外侧制冷剂通道21 和内侧制冷剂通道213a连接起来将从一个外侧制冷剂通道21 流入的制冷剂分配给位于高度方向的两侧的两个内侧制冷剂通道213a。如图7B所示，制冷剂入口 209a和制冷剂出口 209b设置在底座206的沿直线电动机200的移动方向的第二端侧(图7B和图7C中的右端侧)，其中，与制冷剂入口 209a相比，制冷剂出口 209b在冷却套208e的厚度方向上更靠内侧。在具有上述构造的电枢205中，通过设置在底座206中的制冷剂入口 209a而导入冷却套208中的制冷剂经由内侧通道215和连通孔220流过位于上游侧的外侧制冷剂通道 21北，接着经由连通孔221、连接通道222和连通孔223流过位于下游侧的内侧制冷剂通道 213a。此后，制冷剂流过连通孔2M和出口侧通道218，接着通过设置在底座206中的制冷剂出口 209b排出到外部。对上述第三实施方式的效果进行描述。在根据第三实施方式的电枢205中，使得由于在冷却套208的直线电动机200的移动方向上的第一端侧使冷却套208的通道折返，串联连接了外侧制冷剂通道21 和内侧制冷剂通道213a。外侧制冷剂通道21 布置在上游侧，而内侧制冷剂通道213a布置在下游侧。利用这个构造，制冷剂首先流过位于上游侧的外侧制冷剂通道21 以将直线电动机 200的表面温度保持在制冷剂的温度，并接着流过位于下游侧的内侧制冷剂通道213a以收集由电枢线圈217产生的热。这样，由于可以首先使被导入冷却套208中的制冷剂流过外侧制冷剂通道21北，因此可以抑制直线电动机200的表面温度的增加。而且，由于外侧制冷剂通道21 和内侧制冷剂通道213a串联连接，因此由于流过内侧制冷剂通道213a而温度增加的制冷剂从不在冷却套208中的外侧制冷剂通道21 中流动。因此，可以确实地抑制
8直线电动机200的表面温度的增加，由此使得能够提高直线电动机200的可靠性。特别是在第三实施方式中，在底座206的沿移动方向的第二端侧，与制冷剂入口 209a相比，制冷剂出口 209b在冷却套208e的厚度方向上布置得更靠内侧。利用这个结构， 如图7C所示，相比较与制冷剂入口 209a连通的入口侧通道215，与制冷剂出口 209b连通的出口侧通道218可以布置得更靠内侧。结果，由于因流过内侧制冷剂通道213a而温度增加的制冷剂从不在直线电动机200的表面附近流动，因此可以确实地抑制直线电动机200的表面温度的增加。实施方式并不限于第一至第三实施方式及它们的变型例，并且在不偏离本实施方式的精神和技术概念的情况下，可以做出各种其他变型。例如，在上述说明中，以直线电动机1作为示例进行说明，其中，励磁系统2被设置为定子而电枢5等被设置为动子。但是，上述实施方式还可以应用于以电枢5等作为定子而以励磁系统2作为动子的直线电动机。同样地，在该情况下，可以获得相同的效果。除了已经描述的方法以外，根据实施方式或变型例的方法可以适当地组合并使用。还公开了实施方式的以下方面。(1) 一种直线电动机电枢，该直线电动机电枢包括电枢线圈和冷却套，该冷却套被设置为包围电枢线圈并且具有内部空间，制冷剂被提供到该内部空间中，其中，冷却套形成为薄板状，该冷却套具有沿其厚度方向多重地设置有用于提供制冷剂的通道的结构。(2)根据(1)的直线电动机电枢，其中，冷却套的通道形成为包括内侧制冷剂通道和外侧制冷剂通道的双层。(3)根据⑴或⑵的直线电动机电枢，其中，冷却套的通道的横向剖面形状是梯形。(4)根据⑴或⑵的直线电动机电枢，其中，冷却套包括用于使制冷剂分别在沿直线电动机的移动方向的两端流动的制冷剂入口和制冷剂出口。(5)根据⑴或⑵的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括代替冷却套的平板状底座，该平板状底座设置在冷却套的与直线电动机的移动方向平行的四个面中的一个面上。(6)根据(5)的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括位于将底座和冷却套连接起来的连接部处的法兰。(7)根据(5)或(6)的直线电动机电枢，其中，利用螺钉固定底座与冷却套的连接部。(8)根据(6)的直线电动机电枢，其中，利用碳纤维将冷却套和法兰一体地形成。(9)根据⑵的直线电动机电枢，其中，内侧制冷剂通道和外侧制冷剂通道并联连接，使得制冷剂在这些通道中沿相同方向流动，并且冷却套被构造为使得处于外侧制冷剂通道的出口侧的第一出口侧通道和处于内侧制冷剂通道的出口侧的第二出口侧通道在冷却套中不接合到一起。(10)根据(9)的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括设置在冷却套的与直线电动机的移动方向平行的四个面中的一个面上以代替冷却套的平板状底座，其中，
第一出口侧通道和第二出口侧通道在底座中接合到一起。(11)根据(9)的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括设置在冷却套的与直线电动机的移动方向平行的四个面中的一个面上以代替冷却套的平板形底座，其中，该底座包括用于排出制冷剂的两个制冷剂出口，并且第一出口侧通道和第二出口侧通道分别与这两个制冷剂出口连通。(12)根据O)的直线电动机电枢，其中，外侧制冷剂通道和内侧制冷剂通道串联连接，使得由于在冷却套的直线电动机的移动方向上的第一端侧使这些通道折返，冷却套的通道中的制冷剂的流动方向变得彼此相反，并且外侧制冷剂通道设置在上游侧，而内侧制冷剂通道设置在下游侧。(13)根据(12)的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括设置在冷却套的与直线电动机的移动方向平行的四个面中的一个面上以代替冷却套的平板形底座，其中在冷却套的沿直线电动机的移动方向的第二端侧，该底座包括用于流入制冷剂的制冷剂入口和用于排出制冷剂的制冷剂出口，并且与制冷剂入口相比，制冷剂出口在冷却套的厚度方向上设置得更靠内侧。(14) 一种直线电动机，该直线电动机包括根据(1)至(13)中任一项的直线电动机电枢；以及励磁系统，该励磁系统被布置为隔着磁隙面对直线电动机电枢，并且该励磁系统是通过在由铁磁材料制成的磁轭上设置多个永磁体而形成的。
权利要求
1.一种直线电动机电枢，该直线电动机电枢包括电枢线圈；以及冷却套，所述冷却套被设置为包围所述电枢线圈，并且所述冷却套具有内部空间，制冷剂被提供到该内部空间中，其中，所述冷却套形成为薄板状并具有在其厚度方向上多重地设置有用于提供制冷剂的通道的结构。
2.根据权利要求1所述的直线电动机电枢，其中，所述冷却套的所述通道形成为包括内侧制冷剂通道和外侧制冷剂通道的两层。
3.根据权利要求1或2所述的直线电动机电枢，其中，所述冷却套的所述通道的横截面形状是梯形。
4.根据权利要求1或2所述的直线电动机电枢，其中，所述冷却套包括分别用于使所述制冷剂沿直线电动机的移动方向在两端流动的制冷剂入口和制冷剂出口。
5.根据权利要求1或2所述的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括设置在所述冷却套的与直线电动机的移动方向平行的四个面中的一个面上以代替所述冷却套的平板形底座。
6.根据权利要求5所述的直线电动机电枢，该直线电动机电枢还包括位于将所述底座与所述冷却套连接起来的连接部处的法兰。
7.根据权利要求5所述的直线电动机电枢，其中，连接所述底座与所述冷却套的所述连接部被以螺钉固定。
8.根据权利要求2所述的直线电动机电枢，其中，所述内侧制冷剂通道和所述外侧制冷剂通道并联连接，使得所述制冷剂在所述通道中沿相同方向流动，并且所述冷却套被构造成，处于所述外侧制冷剂通道的出口侧的第一出口侧通道和处于所述内侧制冷剂通道的出口侧的第二出口侧通道在所述冷却套中不接合到一起。
9.根据权利要求2所述的直线电动机电枢，其中，所述外侧制冷剂通道和所述内侧制冷剂通道串联连接，使得由于在所述冷却套的直线电动机的移动方向上的第一端侧使所述冷却套的所述通道折返，所述通道中的所述制冷剂的流动方向变得彼此相反，并且所述外侧制冷剂通道设置在上游侧，而所述内侧制冷剂通道设置在下游侧。
10.一种直线电动机，该直线电动机包括根据权利要求1所述的直线电动机电枢；以及励磁系统，所述励磁系统被布置为隔着磁隙面对所述直线电动机电枢，并且所述励磁系统是通过在由铁磁材料制成的磁轭上设置多个永磁体而形成的。
全文摘要
本发明涉及直线电动机电枢和直线电动机。根据一实施方式的直线电动机电枢包括电枢线圈和冷却套。该冷却套被设置为包围电枢线圈，并且该冷却套具有内部空间，制冷剂被提供到该内部空间中。冷却套形成为薄板状，并且具有在其厚度方向上多重地设置有用于提供制冷剂的通道的结构。
文档编号H02K41/02GK102386746SQ20111024915
公开日2012年3月21日 申请日期2011年8月26日 优先权日2010年8月27日
发明者吉田秀作, 塩野和行, 新田裕治, 白石克彦 申请人:株式会社安川电机