专利名称：四线式静电驱动器和固定件的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用四相信号进行驱动的四线(四相)式静电驱动器(静電7，午工工一夕)。
背景技术：
以往，存在着具有设有电极的固定件、设有膜等电阻器的移动件(移動子)的静电驱动器。在这样的静电驱动器中，采用以多相信号来驱动的方式。此处，在这样的静电驱动器中，存在如下问题在使移动件在固定件上直线运动的情况下，由于摩擦阻力的面内偏差、异物，移动件蜿蜒移动，向左右偏向地移动。
对于这样的问题，在以往的静电驱动器中，存在如下技术为了防止该移动件的蜿蜒移动、向左右偏向而设置引导件。但是，由于引导件与移动件之间的摩擦阻力阻碍移动件的动作，另外由于引导件与移动件的摩擦，会产生不需要的带电。并且，仅限制在引导件的位置，没有使移动件返回中央的力作用。因此，在以往的静电驱动器中，存在着电压供给线沿着移动件的移动方向设在电极的两侧的器件(例如JP03 — 65081)。由此，与移动件的行进方向垂直的力矩分量，由电极两侧的两条电压供给线的静电力固定。因此，抑制了移动件的转动力矩的产生，防止移动件的蜿蜒移动。但是，在上述以往的静电驱动器中，存在着如下问题由于电压供给线的静电力，移动件被该电压供给线吸引，移动件的摩擦阻力会变大。另外，由于电压供给线的静电力不包含使移动件返回固定件的中央侧的方向的力矩分量，因此没有使移动件返回固定件的中央侧的力作用，移动件继续向从固定件的中央偏离的方向移动。
发明内容
本发明提供一种能以更低的摩擦阻力来校正移动件的动作的四线式静电驱动器。本发明的一个方式所涉及的四线式静电驱动器的特征在于，具备
固定件，具有具有一个面和另一个面的基板，和在所述基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的至少四条用于主动作的线状电极；以及移动件，配置在所述固定件上，
四条用于主动作的线状电极中，向第一用于主动作的线状电极和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向第二用于主动作的线状电极和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向相邻的两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度，
在所述四条用于主动作的线状电极的一侧，设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条一侧用于辅助动作的线状电极，
向所述多条一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号。另外，在上述四线式静电驱动器中，
也可以是在所述四条用于主动 作的线状电极的另一侧，设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条另一侧用于辅助动作的线状电极，
向所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号。另外，在上述四线式静电驱动器中，
也可以是所述多条一侧用于辅助动作的线状电极和所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极在所述四条用于主动作的线状电极的两侧以所述四条用于主动作的线状电极为中心对称配置。另外，在上述四线式静电驱动器中，
也可以是所述多条一侧用于辅助动作的线状电极中，向第一一侧用于辅助动作的线状电极和第三一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向第二一侧用于辅助动作的线状电极和第四一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向相邻的两个一侧用于辅助动作的线状电极输入的两个信号错开四分之一周期并具
有同一强度。另外，在上述四线式静电驱动器中，
也可以是所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极中，向第一另一侧用于辅助动作的线状电极和第三另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向第二另一侧用于辅助动作的线状电极和第四另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向相邻的两个另一侧用于辅助动作的线状电极输入的两个信号错开四分之一周期并
具有同一强度。另外，在上述四线式静电驱动器中，
也可以是所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极比所述多条一侧用于辅助动作的线状电极设置的条数多。另外，在上述四线式静电驱动器中，
也可以是使与所述多条一侧用于辅助动作的线状电极接近的所述移动件向所述四条用于主动作的线状电极侧移动。本发明的一个方式所涉及的固定件的特征在于，所述固定件具有具有一个面和另一个面的基板；和在所述基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的至少四条用于主动作的线状电极，并且移动件配置于所述固定件，
四条用于主动作的线状电极中，向第一用于主动作的线状电极和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，
向第二用于主动作的线状电极和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向相邻的两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度，
在所述四条用于主动作的线状电极的一侧设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条一侧用于辅助动作的线状电极，
向所述多条一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦
波信号。另外，在上述固定件中，
也可以是使与所述多条一侧用于辅助动作的线状电极接近的所述移动件向所述四条用于主动作的线状电极侧移动。在本发明所涉及的四线式静电驱动器中，在四条用于主动作的线状电极的一侧设有在与四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条一侧用于辅助动作的线状电极。而且，向该多条一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波·信号，使与多条一侧用于辅助动作的线状电极接近的移动件向四条用于主动作的线状电极侧移动。因此，能以更低摩擦阻力来校正移动件的动作。
图I是示出本发明所涉及的四线式静电驱动器100的结构的一个例子的立体图。图2是示意性示出图I所示的四线式静电驱动器100的俯视图。图3是示出沿着图2的A — A线的四线式静电驱动器100的截面的截面图。图4是示出沿着图2的B — B线的四线式静电驱动器100的截面的截面图。图5是示出施加在用于主动作的线状电极Ia Id的信号a d的波形的一个例子的波形图。图6是示出施加在用于辅助动作的线状电极Is Iv的信号s V的波形的一个例子的波形图。
具体实施例方式下面，基于附图，对本发明所涉及的四线式静电驱动器的实施方式进行说明。图I是示出本发明所涉及的四线式静电驱动器100的结构的一个例子的立体图。另外，图2是示意性示出图I所示的四线式静电驱动器100的俯视图。另外，图3是示出沿着图2的A — A线的四线式静电驱动器100的截面的截面图。另外，图4是示出沿着图2的B — B线的四线式静电驱动器100的截面的截面图。此外，为了简化，在图2中省略了覆盖膜103、滑动构造膜104。如图I和图2所示，四线式静电驱动器100具备固定件I和自由移动地配置在该固定件I上的移动件2，该固定件I具有具有一个面102a和另一个面102b的基板102 ;在基板102的一个面102a分别独立设置、互相平行以等间隔配置的至少四条用于主动作的线状电极Ia Id ;在基板102的一个面102a分别独立设置、互相平行以等间隔配置的多个用于辅助动作的线状电极Is lv。此外，在下面，有时将在用于主动作的线状电极Ia Id的一侧(图2的下侧)、在与用于主动作的线状电极Ia Id正交的方向延伸的用于辅助动作的线状电极Is Iv称作一侧用于辅助动作的线状电极；将在用于主动作的线状电极Ia Id的另一侧(图2的上侧)、在与用于主动作的线状电极Ia Id正交的方向延伸的用于辅助动作的线状电极Is Iv称作另一侧用于辅助动作的线状电极。下面，进一步详述固定件I。如上所述，固定件I具备基板102 ;设在基板102的一个面102a的具有导电性的至少四条用于主动作的线状电极Ia Id ;设在基板102的一个面102a的具有导电性的多个用于辅助动作的线状电极Is lv。此处，四条用于主动作的线状电极Ia Id中，向第一用于主动作的线状电极Ia和第三用于主动作的线状电极Ic输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向第二用于主动作的线状电极Ib和第四用于主动作的线状电极Id输入相位分别相反的矩形波 信号或者正弦波信号。另外，向相邻的两个电极、例如第一用于主动作的线状电极Ia和第二用于主动作的线状电极Ib输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度。并且，在四条用于主动作的线状电极Ia Id的一侧(图2的下侧)，在与四条用于主动作的线状电极Ia Id正交的方向延伸设置，并且与第一用于主动作的线状电极Ia和第二用于主动作的线状电极Ib分别连接的第一用于主动作的母线(bus line)101a和第二用于主动作的母线IOlb互相平行地设置。并且，在四条用于主动作的线状电极Ia Id的另一侧(图2的上侧)，在与四条用于主动作的线状电极Ia Id正交的方向延伸设置，并且与第三用于主动作的线状电极Ic和第四用于主动作的线状电极Id分别连接的第三用于主动作的母线Ic与第四用于主动作的母线Id互相平行地设置。另外，如上所述，在四条用于主动作的线状电极Ia Id的一侧(图2的下侧)，设有在与四条用于主动作的线状电极Ia Id正交的方向延伸的多条(此处以四条为单位的组有两组，共八条)一侧用于辅助动作的线状电极Is lv。并且如上所述，在四条用于主动作的线状电极Ia Id的另一侧(图2的上侧)，设有在与四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条(此处以四条为单位的组有两组，共八条)另一侧用于辅助动作的线状电极Is lv。而且，多条一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv与多条另一侧用于辅助动作的线状电极Is lv，在四条用于主动作的线状电极的两侧以四条用于主动作的线状电极Ia Id为中心对称配置(本实施例中，8条各以同一布线规则配置)。此外，多条一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv也可以比多条另一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv设置的条数多。由此，例如在将四线式静电驱动器100固定在壁面的情况下等，对移动件2施加从固定件I的中央离开的方向的力(重力)的情况下，在与该力的方向相反的方向(这种情况下为辅助动作方向Z)辅助力更能够作用。另外，通过将用于辅助动作的线状电极Is Iv设在用于主动作的线状电极Ia Id的两侧，不仅将用于辅助动作的线状电极Is Iv用于移动件2的位置校正目的，积极地利用与主动作方向X正交的辅助动作方向Y、Z，还能够使移动件2相对于主动作方向X进行锯齿状(zig-zag)运动。另外，四条一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv中，向第--侧用于辅助动作的
线状电极Is和第三一侧用于辅助动作的线状电极Iu输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向第二一侧用于辅助动作的线状电极It和第四一侧用于辅助动作的线状电极IV输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号。而且，向相邻的两个一侧用于辅助动作的线状电极、例如第--侧用于辅助动作
的线状电极Is和第二一侧用于辅助动作的线状电极It输入的两个信号错开四分之一周期
并具有同一强度。S卩，向多条一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号，使与多条一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv接近的移动件2向四条用于主动作的线状电极Ia Id侧(辅助动作方向Z)移动。另外，四条另一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv中，向第一另一侧用于辅助动 作的线状电极Is和第三另一侧用于辅助动作的线状电极Iu输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向第二另一侧用于辅助动作的线状电极It和第四另一侧用于辅助动作的线状电极Iv输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号。而且，向相邻的两个另一侧用于辅助动作的线状电极、例如第一另一侧用于辅助动作的线状电极Is和第二另一侧用于辅助动作的线状电极It输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度。S卩，向多条另一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号，使与多条另一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv接近的移动件2向四条用于主动作的线状电极Ia Id侧(辅助动作方向Y)移动。另外，如图2所示，与第一用于辅助动作的线状电极Is和第二用于辅助动作的线状电极It分别连接的第一用于辅助动作的母线IOlS和第二用于辅助动作的母线IOlt互相平行地设置。并且，与第三用于辅助动作的线状电极Iu和第四用于辅助动作的线状电极Iv分别连接的第三用于辅助动作的母线IOlu与第四用于辅助动作的母线IOlv互相平行地设置。另外，如图3、图4所示，设有覆盖设在基板102的一个面102a上的用于主动作的线状电极Ia Id和用于辅助动作的线状电极Is Iv的覆盖膜103，进一步设有覆盖着覆盖膜103的滑动构造膜104。另外，基板102例如具有25 μ m的厚度。作为该基板102所使用的原材料，例如能选择聚酰亚胺、玻璃环氧树脂、酚醛树脂、PET (聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PET-G (对苯二甲酸-环己烷二甲醇-乙烯乙二醇共聚物)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PP (聚丙烯)、PE (聚乙烯)、PC (聚碳酸酯)、PA (聚酰胺)、PPS (聚苯硫醚)、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、纤维素二乙酸酯、三醋酸纤维素、聚苯乙烯类、ABS、聚丙烯酸酯、聚乙烯、聚氨酯等。PEN有闻耐热性、闻强度，特别优选。另外，如上所述，用于主动作的线状电极Ia Id和用于辅助动作的线状电极Is Iv在基板102的一个面102a上分别独立设置，互相平行以等间隔呈梳齿状反复配置。而且，该用于主动作的线状电极Ia Id和用于辅助动作的线状电极Is lv，例如布线间距设定为O. 3mm以下，另外关于该用于主动作的线状电极Ia Id和用于辅助动作的线状电极Is lv，作为其厚度，例如在PET基板上作为电极材形成ITO (氧化铟锡)的情况下，具有1500A左右(参照图2至图4)。
另外，如图2所示，两条第一、第二用于主动作的母线101a、IOlb分别构成带状，如上所述设置在用于主动作的线状电极Ia Id的一侧(图2的下侧)。其中第一用于主动作的母线IOla设在基板102的一个面(上表面)102a，该第一用于主动作的母线IOla与第一用于主动作的线状电极Ia电连接。另外，第二用于主动作的母线IOlb设在基板102的另一个面(下表面)102b，与第二用于主动作的线状电极Ib电连接。另外，在基板102设有通孔布线lb2，该通孔布线lb2贯通基板102，与设在基板102的另一个面102b的第二用于主动作的母线IOlb连接。并且，在基板102的一个面102a设有将第二用于主动作的线状电极Ib的一侧与通孔布线lb2连接的焊盘(pad)电极Ibl。由此，第二用于主动作的母线IOlb与第二用于主动作的线状电极Ib电连接。另外，两条第三、第四用于主动作的母线IOlcUOld分别构成带状，如上所述，设 置在用于主动作的线状电极Ia Id的另一侧(图2的上侧)。另外，第三用于主动作的母线IOlc设在基板102的一个面(上表面)102a，与第三用于主动作的线状电极Ic电连接。另外，第四用于主动作的母线IOld设在基板102的另一个面(下表面)102b，与第四用于主动作的线状电极Id电连接。此处，在基板102设有通孔布线ld2，该通孔布线ld2贯通基板102，与设在基板102的另一个面102b的第四用于主动作的母线IOld连接。而且，在基板102的一个面(上表面)102a设有将第四用于主动作的线状电极Id的一侧与通孔布线ld2连接的焊盘电极Idl。由此，第四用于主动作的母线IOld与第四用于主动作的线状电极Id电连接。另外，如图2所示，两条第一、第二用于辅助动作的母线IOlsUOlt分别构成带状而设置。虽然未图示，但右下的IOlsUOlt分别与外部的连接端子IOOsUOOt连接。其中第一用于辅助动作的母线IOls设在基板102的一个面(上表面)102a，该第一用于辅助动作的母线IOls与第一用于辅助动作的线状电极Is电连接。另外，第二用于辅助动作的母线IOlt设在基板102的另一个面(下表面)102b，与第二用于辅助动作的线状电极It电连接。另外，在基板102设有通孔布线lt2，该通孔布线lt2贯通基板102，与设在基板102的另一个面102b的第二用于辅助动作的母线IOlt连接。并且，在基板102的一个面102a设有将第二用于辅助动作的线状电极It的一侧与通孔布线lt2连接的焊盘电极Itl。由此，第二用于辅助动作的母线IOlt与第二用于辅助动作的线状电极It电连接。另外，两条第三、第四用于辅助动作的母线101u、101v分别构成带状而设置。虽然未图示，但左下的101u、IOlv分别与外部的连接端子100u、100v连接。另外，第三用于辅助动作的母线IOlu设在基板102的一个面(上表面)102a，与第三用于辅助动作的线状电极Iu电连接。另外，第四用于辅助动作的母线IOlv设在基板102的另一个面(下表面)102b，与第四用于辅助动作的线状电极Iv电连接。此处，在基板102设有通孔布线1ν2，该通孔布线1ν2贯通基板102，与设在基板102的另一个面102b的第四用于辅助动作的母线IOlv连接。而且，在基板102的一个面(上表面)102a设有将第四用于辅助动作的线状电极Iv的一侧与通孔布线1ν2连接的焊盘电极lvl。
由此，第四用于辅助动作的母线IOlv与第四用于辅助动作的线状电极Iv电连接。此外，在图2中，第一用于辅助动作的母线IOls虽然存在着局部离开的区域，但该离开的区域间经由未图示的布线电连接。另外，对于其他用于辅助动作的母线IOlt IOlv
也一样。接下来，利用图3、图4，对于固定件I的覆盖膜103和滑动构造膜104进行详述。如图3、图4所示，覆盖膜103在基板102上以覆盖用于主动作的线状电极Ia Id、用于辅助动作的线状电极Is Iv的方式设置。该覆盖膜103例如具有12. 5μπι的厚度。作为该覆盖膜103所使用的原材料，例如能选择聚酰亚胺。另外，滑动构造膜104设在覆盖膜103上。该滑动构造膜104相对于移动件2的下表面(后述的基底膜2a的下表面)具有滑动性。该滑动构造膜104，例如具有数nm的厚度。作为该滑动构造膜104所使用的原材料，例如能选择硅。·此外，从用于主动作的线状电极Ia Id和用于辅助动作的线状电极Is Iv的上表面到电阻器膜2b的带电面(下表面)的距离D，例如设定为30 μ m以上、150 μ m以下。接下来，利用图I和图2对于移动件2进行详述。如图I和图2所示，移动件2配置在固定件I上。该移动件2如图3、图4所示，具有基底膜2a、电阻器膜2b。基底膜2a与固定件I对置接触地配置。该基底膜2a例如具有25 μ m左右的厚度。作为该基底膜2a所使用的原材料，例如能选择PET (聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PET-G (对苯二甲酸-环己烷二甲醇-乙烯乙二醇共聚物)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PP (聚丙烯)、PE (聚乙烯)、PC (聚碳酸酯)、PA (聚酰胺)、PPS (聚苯硫醚)、聚氯乙烯、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、纤维素二乙酸酯、三醋酸纤维素、聚苯乙烯类、ABS、聚丙烯酸酯、聚乙烯、聚氨酯等。PEN有高耐热性、高强度，特别优选。电阻器膜2b设在基底膜2a上。该电阻器膜2b例如具有I μ m左右的厚度。另外，电阻器膜2b例如具有IO11 IO13 Ω / □的范围的表面电阻率。接下来，对具有以上那样的结构的本实施方式的作用进行说明。首先，对移动件2位于用于主动作的线状电极Ia Id上并在主动作方向X动作的情况进行说明。首先，如图2所示，信号a d从未图示的驱动电路经由第一 第四用于主动作的输入端子IOOa IOOd输入至四线式静电驱动器100。此时，各信号a d经由用于主动作的母线IOla IOlcU通孔布线Ib2、ld2、以及焊盘电极lbl、ldl，分别施加在用于主动作的线状电极Ia Id。此处，图5是示出施加在用于主动作的线状电极Ia Id的信号a d的波形的一个例子的波形图。此外，在图5中，不出了信号a d是矩形波的情况,但在信号a d是正弦波的情况下也是同样的相位关系。如图5所示，向相邻的用于主动作的线状电极la、lb输入的两个信号a、b错开四分之一周期。同样，向相邻的用于主动作的线状电极lb、lc输入的两个信号b、c错开四分之一周期。同样，向相邻的用于主动作的线状电极lc、Id输入的两个信号c、d错开四分之
一周期。在这种情况下,各信号a d具有同一强度(振幅)。另外,各信号a d的振幅(电压)的绝对值例如设定为800V以下。
由此，向第一用于主动作的线状电极Ia和第三用于主动作的线状电极Ic输入相位分别相反(相位错开半周期)的信号(矩形波信号或者正弦波信号)a、C。另外，向第二用于主动作的线状电极Ib和第四用于主动作的线状电极Id输入相位分别相反(相位错开半周期)的信号(矩形波信号或者正弦波信号)b、d。在这种情况下，由于移动件2的电阻器膜2b，与施加在用于主动作的线状电极Ia Id的信号a d相应地带电。而且，例如如图5所示，通过信号a d的振幅变化，与积累在该移动件2的带电部和用于主动作的线状电极Ia Id的静电能量相应地，移动件2在固定件I上向与用于主动作的线状电极Ia Id垂直的方向(主动作方向X)移动(图2)。接下来，说明由于移动件2从主动作方向X脱离，移动件2位于一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv上，在辅助动作方向Z受力并进行动作的情况。此外，由于移动件2从主动作方向X脱离，移动件2位于另一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv上，在辅助动作方向Y受力并进行动作的情况也一样。此处，图6是示出施加在用于辅助动作的线状电极Is Iv的信号s V的波形 的一个例子的波形图。此外，在图6中，示出了信号s V是矩形波的情况，但在信号s V是正弦波的情况下也为同样的相位关系。如图6所示，向相邻的一侧用于辅助动作的线状电极ls、lt输入的两个信号S、t错开四分之一周期。同样，向相邻的一侧用于辅助动作的线状电极lt、lu输入的两个信号t、u错开四分之一周期。同样，向相邻的一侧用于辅助动作的线状电极lu、lv输入的两个信号U、V错开四分之一周期。在这种情况下,各信号s V具有同一强度(振幅)。另外,各信号s V的振幅(电压)的绝对值例如设定为800V以下。由此，向第一一侧用于辅助动作的线状电极Is和第三一侧用于辅助动作的线状电极Iu输入相位分别相反(相位错开半周期)的信号(矩形波信号或者正弦波信号)s、u。另夕卜，向第二一侧用于辅助动作的线状电极It和第四一侧用于辅助动作的线状电极Iv输入相位分别相反(相位错开半周期)的信号(矩形波信号或者正弦波信号)t、V。在这种情况下，由于移动件2的电阻器膜2b，与施加在一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv的信号s V相应地带电。而且,例如如图6所示,通过信号s V的振幅变化，与积累在该移动件2的带电部和一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv的静电能量相应地，移动件2在固定件I上在与一侧用于辅助动作的线状电极Is Iv垂直的方向(朝向用于主动作的线状电极的辅助动作方向Z)受力而移动(图2)。由此，在本实施例所涉及的四线式静电驱动器100中，即使移动件2从主动作方向X脱离，通过接近用于辅助动作的线状电极Is Iv上，也能在辅助动作方向Z受力。S卩，产生使移动件返回固定件的中央侧的方向的力矩分量，移动件的摩擦阻力不会增大，移动件2朝向用于主动作的线状电极进行动作。如上所述，根据本实施例所涉及的四线式静电驱动器，能以更低的摩擦阻力来校正移动件的动作。此外，在上述实施例中，设有至少四条用于辅助动作的线状电极，但如果在朝向用于主动作的线状电极的辅助动作方向Y、Z能够施加力，则用于辅助动作的线状电极也可以是3条以下。
权利要求
1.一种四线式静电驱动器，其特征在于，具备 固定件，具有具有一个面和另一个面的基板，和在所述基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的至少四条用于主动作的线状电极；以及移动件，配置在所述固定件上， 四条用于主动作的线状电极中，向第一用于主动作的线状电极和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向第二用于主动作的线状电极和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向相邻的两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度， 在所述四条用于主动作的线状电极的一侧，设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条一侧用于辅助动作的线状电极， 向所述多条一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号。
2.如权利要求I所述的四线式静电驱动器，其特征在于， 在所述四条用于主动作的线状电极的另一侧，设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条另一侧用于辅助动作的线状电极， 向所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号。
3.如权利要求2所述的四线式静电驱动器，其特征在于， 所述多条一侧用于辅助动作的线状电极与所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极在所述四条用于主动作的线状电极的两侧、以所述四条用于主动作的线状电极为中心对称配置。
4.如权利要求I至3的任一项所述的四线式静电驱动器，其特征在于， 所述多条一侧用于辅助动作的线状电极中，向第一一侧用于辅助动作的线状电极和第三一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向第二一侧用于辅助动作的线状电极和第四一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向相邻的两个一侧用于辅助动作的线状电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度。
5.如权利要求2或者3所述的四线式静电驱动器，其特征在于， 所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极中，向第一另一侧用于辅助动作的线状电极和第三另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向第二另一侧用于辅助动作的线状电极和第四另一侧用于辅助动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向相邻的两个另一侧用于辅助动作的线状电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度。
6.如权利要求2所述的四线式静电驱动器，其特征在于， 所述多条一侧用于辅助动作的线状电极比所述多条另一侧用于辅助动作的线状电极设置的条数多。
7.一种固定件，其特征在于，所述固定件具有具有一个面和另一个面的基板；和在所述基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的至少四条用于主动作的线状电极，并且移动件配置于所述固定件， 四条用于 主动作的线状电极中，向第一用于主动作的线状电极和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向第二用于主动作的线状电极和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号， 向相邻的两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度， 在所述四条用于主动作的线状电极的一侧设有在与所述四条用于主动作的线状电极正交的方向延伸的多条一侧用于辅助动作的线状电极， 向所述多条一侧用于辅助动作的线状电极输入相位互不相同的矩形波信号或者正弦波信号。
8.如权利要求I所述的四线式静电驱动器，其特征在于， 使与所述多条一侧用于辅助动作的线状电极接近的所述移动件向所述四条用于主动作的线状电极侧移动。
9.如权利要求7所述的固定件，其特征在于， 使与所述多条一侧用于辅助动作的线状电极接近的所述移动件向所述四条用于主动作的线状电极侧移动。
全文摘要
四线式静电驱动器(100)具备具有在基板的一个面分别独立设置、互相平行以等间隔配置的四条用于主动作的线状电极(1a～1d)的固定件(1)，和固定件(1)上配置的移动件(2)。四条用于主动作的线状电极(1a～1d)中，向第一和第三用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或正弦波信号，向第二和第四用于主动作的线状电极输入相位分别相反的矩形波信号或者正弦波信号，向相邻两个电极输入的两个信号错开四分之一周期并具有同一强度。在四条用于主动作的线状电极(1a～1d)的一侧设有与四条用于主动作的线状电极(1a～1d)正交的方向延伸的多条用于辅助动作的线状电极(1s～1v)，向多条用于辅助动作的线状电极(1s～1v)输入相位互不相同的矩形波信号或正弦波信号。
文档编号H02N1/00GK102906985SQ201180024799
公开日2013年1月30日 申请日期2011年4月28日 优先权日2010年5月19日
发明者高桥德男 申请人:大日本印刷株式会社