专利名称：摩擦驱动致动器的制作方法
技术领域：
本发明关于一种定位致动器，特别关于一种可防止压电组件损坏的摩擦驱动致动器。
背景技术：
传统的摩擦驱动致动器主要利用压电组件可变形的特性来驱动被驱动件，借以达到位移或定位的目的。如第I图所示，美国专利(us 7，196，454)即揭露了一种可应用于扫描探头或显微镜的摩擦驱动致动器100，其主要包括一底座110、一压电组件150、一摩擦组 件170以及一被驱动件190，前述被驱动件190活动的设置于底座110上，并可用以承载一物体199，压电组件150设置于底座110上且位于被驱动件190下方，摩擦组件170则设置于压电组件150上并且与被驱动件190相互抵接。应了解的是，当压电组件150受一电压讯号影响而伸长或缩短时，可带动被驱动件190以及被驱动件190上的物体199沿X轴或-X轴方向位移。然而，前述摩擦驱动致动器100存在一个致命缺点当被驱动件190所承受的物体199重量太重或压力过大时，下方的压电组件150极容易受损而失去效能。由于一般压电组件大多为脆弱的陶瓷材料所制成，因此当承受过大的压力或撞击时极可能导致其破碎断
ο有鉴于此，如何改善前述摩擦驱动致动器结构的缺点始成为一重要的课题。
发明内容
本发明可采用以下技术方案来实现的。本发明的一实施例提供一种摩擦驱动致动器，包括一壳体、一被驱动件、一压电组件以及一可挠性件。前述被驱动件可相对壳体位移，前述压电组件设置于壳体内并且位于被驱动件的外侧。前述可挠性件连接压电组件并且朝一第一方向延伸，其中当压电组件受一电压讯号驱动而朝第一方向变形时，前述可挠性件带动被驱动件相对壳体位移。于一实施例中，可挠性组件与被驱动件以摩擦方式接合。于其它实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，其中预压组件设置于壳体内并提供一预压力以增加可挠性组件与被驱动件之间的摩擦力。其它可提供预压力的方式亦可应用于此。于一实施例中，前述预压组件为一弹簧或磁铁。于一实施例中，前述弹簧位于可挠性件与壳体之间。于一实施例中，前述磁铁位于可挠性件与壳体之间，此时被驱动件为导磁或磁性材料。于一实施例中，前述磁铁位于可挠性件与被驱动件之间，此时被驱动件为导磁或磁性材料。于一实施例中，前述可挠性件直接与被驱动件接触。
于一实施例中，前述可挠性件一端固定一摩擦垫，其中摩擦垫与被驱动件接触。于一实施例中，前述可挠性件含有陶瓷、金属、碳纤维、木头或塑料材质。于一实施例中，前述弹簧为螺旋状的弹簧或弹片，其材质可为金属、碳纤维或塑料。于一实施例中，前述压电组件的一端固定可挠性件上。于一实施例中，前述压电组件的一端固定于被驱动件上，可挠性件固定于另一端。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一滑轨，其中滑轨固定于壳体上，且被驱动件可沿着滑轨滑动。 于一实施例中，前述滑轨提供被驱动件线性或旋转方式滑动。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，设置于壳体内并提供一预压力以增加可挠性件与被驱动件之间的摩擦力。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，设置于壳体内并提供一预压力以增加摩擦垫与被驱动件之间的摩擦力。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，设置于被驱动件上并提供一预压力以增加可挠性件与滑轨之间的摩擦力。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，设置于被驱动件上并提供一预压力以增加摩擦垫与滑轨之间的摩擦力。于一实施例中，前述电压讯号含有一三角波。于一实施例中，前述电压讯号含有一锯齿波。于一实施例中，前述电压讯号为一具有不同的工作周期的脉冲宽度调变讯号。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一位移感测组件以及一光学、磁性或电阻式编码器，前述编码器设置于壳体上，且位移感测组件设置于被驱动件上。于一实施例中，前述压电组件为积层式或剪力式压电组件。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器包括两个压电组件以及两个可挠性件，其中压电组件以及可挠性件分别位于被驱动件的相反侧。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一滑轨以及一摩擦垫，前述滑轨固定于壳体上，被驱动件可沿滑轨滑动，摩擦垫的一端固定于压电组件上，其中摩擦垫与滑轨接触，且压电组件一端连接可挠性件。可挠性件的另一端固定于壳体。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，设置于壳体内并提供一预压力以增加摩擦垫与被驱动件之间的摩擦力。本发明的一实施例还提供一种摩擦驱动致动器，包括一壳体、一旋转件、一压电组件以及一可挠性件。前述旋转件活动的设置于壳体内，前述压电组件连接壳体，前述可挠性件连接压电组件并且朝一第一方向延伸。其中，当压电组件受一电压讯号驱动而朝第一方向变形时，可挠性件带动旋转件绕旋转件的轴心旋转。于一实施例中，前述可挠性件直接与旋转件接触。于一实施例中，前述可挠性件包括一摩擦垫，其中摩擦垫与旋转件接触。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器包括两个压电组件以及两个可挠性件，其中压电组件以及可挠性件分别位于旋转件的相反侧。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一磁铁，设置于可挠性件上并与旋转件接触。于一实施例中，前述旋转件具有一圆弧面，且前述磁铁与旋转件的圆弧面接触。于一实施例中，前述旋转件具有一主平面，且前述磁铁与旋转件的主平面接触。于一实施例中，前述旋转件为无轴心环状结构。 于一实施例中，前述压电组件为剪 力式压电组件。于一实施例中，前述摩擦驱动致动器还包括一磁铁，前述磁铁与壳体接触，且旋转件具有一主平面，压电组件固定于主平面上，其中可挠性件连接磁铁与压电组件。于一实施例中，前述旋转件与磁铁分别位于压电组件的相反侧。于一实施例中，预压组件提供垂直于摩擦件与被驱动件接口的接触摩擦力。为使本发明的上述目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例并配合附图做详细说明。
第I图表示已知的摩擦驱动致动器的示意图；第2图表示本发明一实施例的摩擦驱动致动器示意图；第3图为第2图的驱动机制方块图；第4A、4B图为被驱动件因外界力量而位移的示意图；第5A、5B图摩擦驱动致动器使用磁铁的示意图；第6图为摩擦驱动动器使用位移感测组件及编码器的示意图；第7图表不一三角波电压讯号的不意图；第8图为积层式压电组件伸长缩短的示意图；第9图为剪力式压电组件形变的示意图；第10图表不一锯齿波电压讯号的不意图；第IlAUlB图为第2图摩擦驱动致动器由第10图电压讯号驱动的示意图；第12A 12C图表示不同工作周期的脉冲宽度调变电压讯号的示意图；第13A、13B图表示本发明其它实施例的摩擦驱动致动器示意图；第14A 14C图表示本发明其它实施例的摩擦驱动致动器示意图；第15A I 图表示本发明其它实施例的摩擦驱动致动器示意图；第16A、16B图表示本发明其它实施例的摩擦驱动致动器示意图；第17A 17D图表示本发明的旋转式摩擦驱动致动器实施例示意图；以及第18图表示本发明XY两轴运动的摩擦驱动致动器实施例示意图。
具体实施例方式■摩擦驱动致动器请参阅第2、3图，本发明一实施例的摩擦驱动致动器10主要包括一壳体11、一被驱动件12、一压电组件13、一可挠性件14以及一预压组件151，其中在壳体11内部具有一滑轨18，前述滑轨18大致朝X轴方向延伸，被驱动件12则活动的设置在滑轨18上，并可相对壳体11沿X轴方向(第一方向)滑动。如第2图所不,前述压电组件13的一端固定于壳体11上，可挠性件14则与压电组件13连接并且朝X轴方向延伸，其中可挠性件14可透过一摩擦垫16与被驱动件12的侧表面121相互接触，此外可挠性件14也可直接与被驱动件接触。在本实施例中，前述预压组件151例如为一螺旋状的弹簧或弹片，其材质可为金属、碳纤维、塑料或其它具有弹性的材料。应了解的是，预压组件151设置在可挠性件14和壳体11之间，借此可作用一弹力予可挠性件14，进而增加摩擦垫16与被驱动件12的侧表面121间的摩擦力，其中压电组件13、可挠性件14以及预压组件151的数量也可以是多数个，并不以一个为限。应了解的是，当压电组件13受到一上升的电压讯号影响而朝X轴方向变形伸长时，可透过可挠性件14带动被驱动件12沿X轴方向位移；相反的，当压电组件13受到一下降的电压讯号影响而朝-X轴方向变形收缩时，被驱动件12则会被可挠性件14带动而沿-X轴方向位移。由于本实施例中的压电组件13位在被驱动件12的外侧而未与被驱动件12接触，因此当被驱动件12受到外界压力或撞击时，可透过可挠性件14吸收来自不同方向的 力量；换言之，被驱动件12所承受的负载与应力不会直接作用在压电组件13上，借此可避免脆弱的压电组件13损坏，进而能延长摩擦驱动致动器10的使用寿命。请参阅第4A图，一外界冲击力或侧向扭矩造成被驱动件12倾斜(相对于滑轨18)使可挠性件14因吸收冲击力或扭矩而弯曲，因此可保护压电组件13不因外界冲击或侧向扭矩力而受损。请参阅第4B图，当外界力量(如样品重量)造成被驱动件12朝侧向位移，同样可通过可挠性件14的弯曲而吸收侧向力，以保护脆弱的压电组件13不受损害。在本实施例中，可挠性件14的材质可为金属、碳纤维、木头、塑料或其它具有弹性的材料。摩擦垫16的材质可为陶瓷、铜或铜合金、蓝宝石或其它适合与被驱动件12摩擦的材料。在一些实施例中，摩擦垫16可为磁铁、磁性材料或导磁材料所制成。请参阅第5A图，使用磁力替代机械弹性预压，此时被驱动件12为磁性或导磁材料。通过磁性预压元152与被驱动件12间的磁力使摩擦垫16与被驱动件表面121间增加摩擦力。请参阅第5B图，此时被驱动件13为磁性或导磁材料，此时磁铁154固定于挠性组件14的一端与被驱动件12接触。由压电组件13产生位移透过磁铁154与被驱动件12间因磁力产生的摩擦力带动被驱动件12。请参阅第6图，摩擦驱动致动器41包含一位移感测组件15固定于被驱动件12，一编码器17固定于壳体11。位移感测组件以光学、磁性、电阻或其它方式侦测编码器17而获得被驱动件12的位移量，可做为闭回路高精密度控制。■驱动讯号用于摩擦驱动致动器的压电组件可为积层式压电组件、剪力式压电组件或其它种类的压电组件。此压电组件可由数种不同的电压讯号所控制，如三角波、锯尺波或脉冲宽度调变讯号。施加适当频率、振幅与形状的电压于压电组件可使压电组件产生一位移量驱动被驱动件。适当选择频率、电压与形状的电压可驱动此致动器产生长距离(公分或公厘等级)位移与高解析扫描致动(奈米或次奈米等级)与定位。请参阅第7、8图，一积层式压电材料41受三角波电压驱动而产生形变，可做为单轴次奈米级高分辨率定位与扫描的功能。当电压讯号为O时，积层式压电材料41无变形(如第8A图)。当施加电压讯号Cll时，积层式压电材料41朝X方向伸长一距离ΛΧ,至位置+ΛΧ (如第8Β图)。当施加第二电压讯号C12时，积层式压电材料41朝X方向缩短，至位置-ΔΧ (如第8C图)。当施加第三电压讯号C13时,积层式压电材料41朝X方向伸长，至原位置(如第8Α图)。请参阅第7、9图，一剪力式压电材料42受三角波电压驱动而产生形变，可做为单轴次奈米级高分辨率定位与扫描的功能。当电压讯号为O时，剪力式压电材料42无变形(如第9Α图)。当施加电压讯号Cll时，剪力式压电材料42朝X方向变形造成一距离变化ΛΧ，至位置+ΛΧ (如第9Β图)。当施加第二电压讯号C12时，剪力式压电材料42朝-X方向变形造成一距离变化，至位置-ΛΧ (如第9C图)。当施加第三电压讯号C13时，剪力式压电材料42朝X方向变形，至原位置(如第9Α图)。接着请一并参阅第10与IlAUlB图，当第10图中的第一段电压讯号Cl施加于前述压电组件13时，压电组件13会随着电压值上升而朝X轴方向逐渐伸长，由于此时摩擦 垫16和被驱动件12之间的摩擦力带动被驱动件12位移，故被驱动件12会随着压电组件13的伸长而由第一位置Xl滑动一距离ΛΧ，进而到达如第IlA图所示第二位置Χ2。接着，当压电组件13受到第10图中的第二段电压讯号C2作用时，瞬间下降的电压值变化会导致压电组件13急速收缩，且可挠性件14和摩擦垫16会随着压电组件13的收缩而沿着-X轴方向位移，惟此时可挠性件与摩擦垫16瞬间加速度过快，因而造成和被驱动件12之间的滑动，故被驱动件12仍会保持在第二位置Χ2或略小于Λ X的距离，如第IlB图所示。根据上述滞滑(stick-slip)驱动原理可以推知，当摩擦驱动致动器10以连续正向或反向锯齿波(saw tooth wave)作为驱动电压讯号时,可控制被驱动件12沿X轴或-X轴运动，以达到长行程位移的目的。请参阅第2与第12A 12C图，在本发明中还可以用脉冲宽度调变(Pulse-WidthModulation, PWM)讯号来驱动摩擦驱动致动器内的压电组件13做为高速且公分等级的大范围位移。如第12A图所示，当以一特定频率的方波讯号作为驱动电压讯号时，若所述方波讯号的工作周期(duty cycle)为50%时，亦即t/T=0. 5，则致动器内的被驱动件位置会保持静止。然而，若所述方波讯号的工作周期低于50%时(如第12B图所示)，亦即t/T〈0.5，致动器内的被驱动件则会朝一方向移动。相反的，当所述方波讯号的工作周期大于50%时，亦即t/T>0. 5，则致动器内的被驱动件将会朝另外一方向移动。也就是说，本发明亦可利用脉冲宽度调变讯号来控制压电组件的变形量，且能进一步的利用滞滑(stick-slip)驱动原理来控制被驱动件沿X轴或-X轴运动。■多种实施构造请参阅第13A图，本发明另一实施例的摩擦驱动致动器20主要包括有一壳体21、一被驱动件22、一压电组件23以及一可挠性件24，其中在壳体21内部具有一朝X轴方向延伸的滑轨28，被驱动件22则设置在滑轨28上，并可相对壳体21沿X轴方向滑动。如第13A图所示，本实施例中的压电组件23的一端固定于被驱动件22上，可挠性件24则是透过一摩擦垫26而与滑轨28接触，此外另可透过弹簧(图未示)或其它预压组件对可挠性件24施加一预压力28，借以增加摩擦垫26和滑轨28表面之间的摩擦力。如此一来，当压电组件23受一电压讯号驱动而伸长或缩短时，压电组件23本身即可带动被驱动件22沿X轴或-X轴方向位移。请参阅第13B图，亦可以一磁铁25取代前述摩擦垫26，前述磁铁25可作为一预压组件以提供磁性预压力(例如磁铁25和滑轨28之间的吸引力，其中滑轨28可采用导磁材料)，借此能增加磁铁25与滑轨28之间的摩擦力，使得压电组件23可有效的带动被驱动件22沿X轴或-X轴方向位移。请参阅第14A 14C图，此为其它替代构造，一摩擦驱动致动器包含一可挠性件74一端连接于壳体71，另一端连接压电组件73。壳体71固定一滑轨78，当压电组件73伸长与缩短时，线性位移传递至被驱动件72，如第14A图所示。在一些实施例中，一机械或磁性预压力施加在摩擦垫76上以增加驱动被驱动件72时的摩擦力。在此构造中，可挠性件74可保护脆弱的压电组件73免于外界冲击力、侧向力、重力、扭矩造成的伤害(如第14B图)，亦可吸收样品质量造成被驱动件垂直于驱动方向的位移(如第14C图)保护压电组件73不受侧向力导致断裂。请参阅第15A MD图，在一些实施例中，并无滑轨的存在。如第IA 5C图所示，在摩擦驱动致动器60a与60c内分别有一积层式压电材料63a与剪力式压电材料63c固定于其壳体61。积层式压电材料63a与剪力式压电材料63c透过可挠性件64与摩擦垫66将 位移传递至被驱动件62。此时以一机械或磁性预压力增加摩擦垫66与被驱动件62间的摩擦力。请参阅第15B与图，在摩擦驱动致动器60b与60d内分别有一积层式压电材料63b与剪力式压电材料63d固定于其可挠性件64’。积层式压电材料63b与剪力式压电材料63d透过摩擦垫66’将位移传递至被驱动件62。此时以一机械或磁性预压力增加摩擦垫66’与被驱动件62间的摩擦力。请参阅第16A图，摩擦驱动致动器50主要包括两剪力式压电材料53a，53b的一端分别固定于壳体51，另一端分别固定两可挠性件54a，54b。在一些实施例中，可挠性件54a, 54b直接接触并驱动被驱动件52位移。预压组件551a，551b例如为螺旋状弹簧施加预压力增加摩擦垫56a, 56b与被驱动件52间的摩擦力量。一电压讯号施加于剪力式压电材料53a, 53b使其产生X方向的形变,透过两可挠性件54a, 54b末端固定的两个摩擦垫56a, 56b以摩擦力驱动被驱动件52沿着滑轨58朝X方向位移。请参阅第16B图，一摩擦驱动致动器50实施例中，一磁铁552固定于摩擦垫56与可挠性件54之间。此时被驱动件52为磁性或导磁材料。磁铁552与被驱动件52间的磁力增加磁铁552与被驱动件52间的摩擦力，剪力压电组件53可以此力量带动被驱动件52朝X方向运动。请参阅第17A图，一摩擦驱动旋转致动器30主要包含一环状被驱动件32相对环状滑轨38以同轴心旋转运动。一压电组件33的一端固定于壳体31 (图未示)另一端固定可挠性件34。可挠性件34上的摩擦垫36与被驱动件32以摩擦方式接合。当电压讯号施加于压电组件33使其朝X方向伸长或缩短，透过可挠性件34经摩擦垫36以摩擦力驱动被驱动件32，使被驱动件32相对于滑轨38作同轴心的旋转运动。请参阅第17B图，在一些实施例中，被驱动件32为磁性或导磁材料，一磁铁35取代摩擦垫36。磁铁35与被驱动件32间的磁力增加磁铁35与被驱动件32间的摩擦力，压电组件33可以此力量带动被驱动件32以其轴心作旋转运动。请参阅第17C图，在一些实施例中，被驱动件32为磁性或导磁材料，一磁铁35’取代摩擦垫36。磁铁35’与被驱动件32主平面321的磁力增加磁铁35’与主平面321间的摩擦力，压电组件33可以此力量带动被驱动件32以其轴心作旋转运动。请参阅第17D图，一摩擦驱动旋转致动器30’包含一旋转被驱动件32’。第一压电组件33a —端固定于壳体31a另一端固定可挠性件34a。可挠性件34a直接与被驱动件32’下弧面接触。一预压力Pa可增加可挠性件34a直接与被驱动件32’的摩擦力。第二压电组件33b —端固定于壳体31b另一端固定可挠性件34b。可挠性件34b直接与被驱动件32’上弧面接触。一预压力Pb可增加 可挠性件34b直接与被驱动件32’的摩擦力。透过两压电材料33a与33b可驱动被驱动件32’以其轴心作旋转运动。在一些实施例中(图未示)，摩擦垫固定于可挠性件上用于驱动被驱动件32’。请参阅第18图，一摩擦驱动致动器80的被驱动件82可作两轴线性位移。第一压电组件83a的一端固定于XY导引滑轨88，另一端固定挠性组件84a。挠性组件84a的另一端固定于一摩擦垫86。第二压电组件83b的一端固定于XY导引滑轨88，另一端固定挠性组件84b。挠性组件84b的另一端固定于摩擦垫86的另一面。摩擦垫86通过预压力P与被驱动件82下方平面摩擦接合。被驱动件82的X方向运动由第一压电组件83a所驱动，Y方向运动由第二压电组件83b所驱动。需特别说明的是，由于本发明中的压电组件以一可挠性件驱动被驱动件，故被驱动件所受到的外力或撞击不会直接作用在压电组件上，借此可避免压电组件受到外力影响而损坏。整体而言，本发明除了具有结构简单与稳定性高的优点外，其定位精度还可达到奈米等级，故可广泛的应用在高精度的定位机构、扫描装置或原子力显微镜(Atomic forcemicroscopy, AFM)等领域。以上所述仅是举例性，而非限制性。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包括在权利要求所限定的范围内。
权利要求
1.一种摩擦驱动致动器，其特征在于，包括 一壳体; 一压电组件，固定于所述壳体内； 一被驱动件，可相对所述壳体位移；以及 一可挠性件，连接所述压电组件并且朝一方向延伸，其中当所述压电组件受一电压讯号驱动而朝所述方向变形时，所述可挠性件带动所述被驱动件相对所述壳体位移。
2.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述可挠性件以摩擦方式接合被驱动件。
3.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，所述预压组件连接所述可挠性件，并提供一预压力以增加所述可挠性件与所述被驱动件之间的摩擦力。
4.根据权利要求3所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述预压组件包括一弹簧。
5.根据权利要求3所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述预压组件包括一磁铁。
6.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦驱动致动器包括一摩擦垫，所述摩擦垫与所述被驱动件以摩擦接合。
7.根据权利要求6所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦垫包括一磁铁。
8.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述预压组件产生一力量垂直于所述摩擦垫与所述被驱动件接触的平面。
9.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦驱动致动器包括一滑轨，用于导引所述被驱动件相对于所述壳体位移。
10.根据权利要求9所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述滑轨进一步限制导引方向外的运动。
11.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述被驱动件与所述压电组件不直接接触。
12.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述被驱动件相对于所述壳体作线性运动。
13.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述被驱动件相对于所述壳体作旋转运动。
14.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述被驱动件通过滞滑驱动原理相对于所述壳体作线性运动。
15.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦驱动致动器还包括 一编码器，设置于所述被驱动件；以及 一位移感测组件，用于侦测所述编码器的位置，且设置于所述壳体内。
16.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述压电组件可由三角波、锯齿波或脉冲宽度调变电压讯号驱动。
17.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述压电组件包括一积层式压电材料。
18.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述压电组件包括一剪力式压电材料。
19.根据权利要求I所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述被驱动件用于承载一样品O
20.一种摩擦驱动致动器，其特征在于，包括 一壳体； 一压电组件； 一可挠性件，连接所述压电组件；以及 一被驱动件，可受压电组件驱动而相对所述壳体位移。
21.根据权利要求20所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦驱动致动器包括一摩擦垫置于所述压电组件与所述被驱动件之间，用于传递所述压电组件的运动至所述被驱动件。
22.根据权利要求20所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦驱动致动器还包括一预压组件，其中所述预压组件产生一力量垂直于所述摩擦垫与所述被驱动件接触的平面。
23.根据权利要求21所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述摩擦垫包括一磁铁。
24.根据权利要求20所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述可挠性件连接所述壳体。
25.根据权利要求20所述的摩擦驱动致动器，其特征在于，所述压电组件连接所述被驱动件。
全文摘要
一种摩擦驱动致动器，包括一壳体、一被驱动件、一压电组件以及一可挠性件。前述被驱动件可相对壳体位移，前述压电组件设置于壳体内并且位于被驱动件的外侧，前述可挠性件连接压电组件并且朝一第一方向延伸，其中当压电组件受一电压讯号驱动而朝第一方向变形时，所述可挠性件带动所述被驱动件相对所述壳体位移。整体而言，本发明除了具有结构简单与稳定性高的优点外，其定位精度还可达到奈米等级，故可广泛的应用在高精度的定位机构、扫描装置或原子力显微镜等领域。
文档编号H02N2/04GK102882421SQ20121024176
公开日2013年1月16日 申请日期2012年7月12日 优先权日2011年7月13日
发明者胡恩德, 廖先顺, 黄英硕 申请人:中央研究院