，第二弹簧元件25在压电执行器1下方借助内部保持套筒17被支承并且被主保持套筒23包围并且固定在其上。第一和第二弹簧元件19、25在此设计为弹簧圈。备选地弹簧元件可以设计为膜片弹簧。中央壳套11将垂直压力借助设置在中央壳套11和第一弹簧元件19之间的、相对于垂直的主对称轴对称的弓架27传递至第一弹簧元件19。为了激活，这些压电执行器1可以被单独地和可任意组合地借助控制装置控制。支承板21备选地可以是卡盘板。第一弹簧元件19和第二弹簧元件25的弹簧圈在激活压电执行器时引起逆向于重力方向引导的偏移。弓架27能够实现在中央壳套11和第一弹簧元件19的弹簧圈之间的均衡的提升传动。被液体7填充的中央壳套11可以用作液压传动器。水平的管道和垂直管道13实现了液体7在压电执行器壳套5和中央壳套11之间的传输。压电执行器1可以分别被包封。保持套筒同样可以实施为保持圈。借助内部保持套筒17可以提供内部的弹簧元件支承。主保持套筒23可以用作第一弹簧元件19和第二弹簧元件25和支承板21的保持装置。图2示出例如用于卡盘板的垂直驱动装置。这例如可在制造电子元件和设备时使用。
[0031]图3示出按照本发明的方法的实施例。通过第一步骤S1激活多个沿方向延伸并且与此同时在作用侧面上产生压力的压电执行器。在第二步骤S2，借助通过液压传动装置将压电执行器的压力转化和传动为垂直压力0，实现对象逆向于重力方向的运动。为了提供受引导的偏移，液压传动装置的垂直压力作用在弹簧系统上。因此在垂直提升的压力大于弹簧系统的逆向作用的弹簧力之后可以实现快速地提升对象。在超过相应的阈值时，该对象以较大的速度被提升。
[0032]本发明涉及一种用于沿垂直方向移动对象的装置和方法，具有多个在激活时沿方向延伸并且与此同时在作用侧面上产生压力的压电执行器1，并且具有液压传动装置3，其将压电执行器的压力转换成用于使对象逆向于重力方向移动的垂直压力并且以一定传动比传动所述压力。在该垂直压力已经超过弹簧系统的逆向作用的弹簧力之后，实现对象的提升。
【主权项】
1.一种用于沿垂直方向移动对象的装置，该装置具有: -多个压电执行器(1)，它们在激活时沿一定方向延伸并且与此同时在作用侧面上产生压力； -液压传动装置(3)，其将所述压电执行器的压力转换成用于使对象逆向于重力方向移动的垂直压力，并且将所述压电执行器的压力以一定传动比传动成垂直压力。2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，在待移动的对象和液压传动装置之间，弹簧系统借助其弹簧力反作用于液压传动装置的垂直压力。3.按照权利要求1或2所述的装置，其特征在于，液压传动装置在各个压电执行器的作用侧面上分别具有可移动的压电执行器壳套(5)，所有压电执行器壳套包含共同的液体(7)，所述液体能够借助管道系统(9)传输到和传输进可垂直移动的并且提供所述垂直压力的中央壳套(11)中。4.按照权利要求3所述的装置，其特征在于，管道系统将从压电执行器壳套延伸出来的管道部段连接至共同的通向中央壳套的垂直管道(13)中。5.按照权利要求4所述的装置，其特征在于，压电执行器、压电执行器壳套、管道系统和中央壳套被构建成相对于共同的垂直管道的垂直主对称轴对称。6.按照权利要求5所述的装置，其特征在于，压电执行器基本上沿两个水平平面、上下等面积叠置地延伸，并且尤其设置四个压电执行器。7.按照权利要求5或6所述的装置，其特征在于，具有所属的压电执行器壳套的压电执行器被固定在外部保持套筒(15)和内部保持套筒(17)之间，所述外部保持套筒(15)和内部保持套筒(17)相对于所述垂直主对称轴旋转对称，其中从压电执行器壳套延伸出来的管道部段水平地并且穿过内部保持套筒延伸。8.按照权利要求7所述的装置，其特征在于，弹簧系统具有基本上水平延伸的第一弹簧元件(19)，该第一弹簧元件被支承在内部保持套筒的平的上端部上，其中内部保持套筒高于外部保持套筒。9.按照权利要求8所述的装置，其特征在于，待移动的对象被放置在相对于所述垂直主对称轴旋转对称的主保持套筒(23)的平的上端部上，该主保持套筒在待移动的对象下方包含第一弹簧元件并且固定在其上。10.按照权利要求9所述的装置，其特征在于，弹簧系统具有基本上水平延伸的第二弹簧元件(25)，该第二弹簧元件在压电执行器下方借助内部保持套筒被支承并且被主保持套筒包围并且固定在其上。11.按照权利要求8至10之一所述的装置，其特征在于，第一弹簧元件和/或第二弹簧元件是相对于所述垂直主对称轴旋转对称的，并且尤其是弹簧圈，特别地铬弹簧圈，或者是膜片弹簧。12.按照权利要求8或11所述的装置，其特征在于，中央壳套借助设置在中央壳套和第一弹簧元件之间的提升传动元件，尤其是相对于所述垂直主对称轴对称的弓架(27)，将所述垂直压力传递至第一弹簧元件。13.按照权利要求1至12之一所述的装置，其特征在于，待移动的对象是卡盘板或者支承板(21)。14.按照权利要求1至13之一所述的装置，其特征在于，为了所述激活，所述压电执行器能够被单独地和以组合的方式借助控制装置控制。15.一种用于借助按照前述权利要求之一所述的装置、沿垂直方向移动对象的方法，该方法具有以下步骤: -激活多个沿一定方向延伸并且与此同时在作用侧面上产生压力的压电执行器； -借助通过液压传动装置将压电执行器的压力转换和传动为垂直压力，使得对象逆向于重力方向运动。16.按照权利要求15所述的方法，其特征在于，在待移动的对象和液压传动装置之间，弹簧系统借助其弹簧力反作用于液压传动装置的垂直压力。17.按照权利要求15或16所述的方法，其特征在于，液压传动装置在各个压电执行器的作用侧面上分别具有可移动的压电执行器壳套，其中，所有压电执行器壳套包含共同的液体，所述液体借助管道系统传输到和传输进可垂直移动的并且提供所述垂直压力的中央壳套中。18.按照权利要求17所述的方法，其特征在于，中央壳套借助设置在中央壳套和第一弹簧元件之间的提升传动元件，尤其是相对于所述垂直主对称轴对称的弓架，将所述垂直压力传递至第一弹簧元件。19.按照权利要求15至18之一所述的方法，其特征在于，为了所述激活，将所述压电执行器单独地和以组合的方式借助控制装置控制。20.按照前述权利要求11至14之一所述的装置或者按照权利要求15至19之一所述的方法用于移动对象的应用，其中将质量为100克至1000克的对象沿逆向于重力方向的垂直方向在1至10毫秒内提升0.5至5毫米并且定位精度小于10 μπι。
【专利摘要】本发明涉及一种用于沿垂直方向移动对象的装置和方法，具有多个在激活时沿方向延伸并且与此同时在作用侧面上产生压力的压电执行器(1)，并且还具有液压传动装置(3)，其将压电执行器的压力转换成用于使对象逆向于重力方向移动的垂直压力并且以一定传动比传动所述压力。在该垂直压力已经超过弹簧系统的逆向作用的弹簧力之后，实现对象的提升。
【IPC分类】H02N2/04
【公开号】CN105284041
【申请号】CN201480034057
【发明人】D.格哈德, M.伦纳
【申请人】西门子公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2014年5月21日
【公告号】DE102013211289A1, EP2984747A1, US20160134203, WO2014202315A1