压电致动器以及机器人的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及压电致动器。
【背景技术】
[0002]压电致动器是具备振动体以及被驱动体(例如转子)的驱动装置，其中，振动体具有将高频的交流电压等驱动电压转换为机械式振动的压电元件，被驱动体与该振动体抵接，并由振动体的振动驱动(例如专利文献1)。专利文献1所记载的压电致动器的振动体具有朝向短边方向两外侧延伸配置的一对臂部(固定部)，经由插通于设置在该臂部的贯通孔的螺钉从而振动体被固定于保持部件。
[0003]专利文献1:日本特开2013 - 146152号公报
[0004]但是，在专利文献1所记载的振动体的固定构造中，存在给压电致动器的驱动特性带来负面影响的可能性。换句话说，存在振动体的振动传递到臂部，在臂部产生不希望的共振的情况。而且，存在该共振阻碍振动体的原本的振动从而扰乱与被驱动体的抵接位置处的振动体的动作的情况。由此，存在振动体与被驱动体抵接的强度、抵接范围等抵接状态发生变化的可能性。其结果是，振动体不能够向被驱动体传递适当的驱动力，驱动被驱动体的驱动效率、被驱动体的定位精度等压电致动器的驱动特性降低。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供一种能够使压电致动器的驱动特性稳定的固定振动体的技术。
[0006](应用例一)
[0007]本发明所涉及的压电致动器的特征在于，具备压电元件、具有设置有上述压电元件的主体部、固定部及连结上述主体部和上述固定部的连结部的振动板、以及固定上述振动板的第一部件，通过由上述第一部件和第二部件夹着上述固定部，来将上述固定部固定于上述第一部件。
[0008]根据该结构，通过由第一部件和第二部件夹着振动体具有的固定部，来将该固定部固定于该第一部件，所以能够抑制振动体的振动传递至固定部，在固定部产生不希望的共振，由此，能够使压电致动器的驱动特性稳定。
[0009](应用例二)
[0010]优选在本发明所涉及的压电致动器中，在上述振动板的厚度方向，上述第一部件和上述第二部件的厚度分别比上述固定部的厚度厚。
[0011]由此，能够通过第一部件和第二部件更加可靠地夹着固定部，能够使振动更加稳定。
[0012](应用例三)
[0013]优选在本发明所涉及的压电致动器中，在从上述振动板的厚度方向观察时，上述主体部具有相互对置的一对边，上述振动板在上述主体部的上述一对边中的一个边具有多个上述连结部。
[0014]由此，在振动板振动时，能够抑制振动板的摇晃、晃动。
[0015](应用例四)
[0016]优选在本发明所涉及的压电致动器中，上述固定部由一个部件构成，上述固定部通过上述多个连结部与上述主体部连结。
[0017]通过固定部由一个部件构成，能够抑制将固定部固定于第一部件以及第二部件时的固定部、连结部的变形、畸变。
[0018]另外，虽然若固定部由一个部件构成，并且该固定部通过多个连结部与主体部连结，则存在产生寄生振动的可能性，但由于固定部由第一部件和第二部件夹着，所以能够抑制该寄生振动，能够使振动稳定。
[0019](应用例五)
[0020]优选在本发明所涉及的压电致动器中，在从上述振动板的厚度方向观察时，上述主体部具有相互对置的一对边，上述振动板在上述主体部的上述一对边的每一个边分别具有多个上述连结部。
[0021 ] 由此，在振动板振动时，能够抑制振动板的摇晃、晃动。
[0022](应用例六)
[0023]优选在本发明所涉及的压电致动器中，具有一对上述固定部，上述一对固定部分别由一个部件构成，上述一对固定部中的一方通过设置于上述主体部的上述一对边中的一个边的上述多个连结部与上述主体部连结，上述一对固定部中的另一方通过设置于上述主体部的上述一对边中的另一个边的上述多个连结部与上述主体部连结。
[0024]通过固定部由一个部件构成，能够抑制将固定部固定于第一部件以及第二部件时的固定部、连结部的变形、畸变。
[0025]另外，虽然若固定部由一个部件构成，并且该固定部通过多个连结部与主体部连结，则存在产生寄生振动的可能性，但由于固定部由第一部件和第二部件夹着，所以能够抑制该寄生振动，能够使振动稳定。
[0026](应用例七)
[0027]优选在本发明所涉及的压电致动器中，在上述第一部件与上述固定部之间和上述第二部件与上述固定部之间中的至少一方具有绝缘部件。
[0028]由此，即使在对振动板施加电压来驱动压电致动器的情况下，也能够将压电致动器的第一部件和第二部件中的至少一方的电位设定为接地电位。
[0029](应用例八)
[0030]优选在本发明所涉及的压电致动器中，上述第一部件和上述第二部件中的至少一方具有绝缘性。
[0031]由此，即使在对振动板施加电压来驱动压电致动器的情况下，也能够将压电致动器的第一部件和第二部件中的至少一方的电位设定为接地电位。
[0032](应用例九)
[0033]优选在本发明所涉及的压电致动器中，在上述第一部件和上述第二部件中的至少一方设置有供与上述压电元件电连接的布线插通的孔。
[0034]由此，能够实现压电致动器的小型化。
[0035](应用例十)
[0036]优选在本发明所涉及的压电致动器中，在上述第一部件和上述第二部件中的至少一方的与上述压电元件对置的位置设置有开口。
[0037]由此，能够释放所产生的热量，另外能够实现轻量化，另外能够确认与压电元件电连接的布线是否正常，另外，例如在通过焊料等连接上述布线的情况下，能够防止焊料干扰第一部件、第二部件。
[0038](应用例^^一 )
[0039]优选在本发明所涉及的压电致动器中，上述第一部件和上述第二部件分别由一个部件构成。
[0040]由此，在振动板具有一对固定部的情况下，能够分别在上述第一部件以及上述第二部件，容易地使各固定部的位置、其附近位置的尺寸精度提高，另外，能够提高第一部件以及第二部件的刚性。
[0041](应用例十二)
[0042]优选在本发明所涉及的压电致动器中，具有被设置成能够位移的被驱动体，上述振动体具有与上述被驱动体抵接的接触部。
[0043]由此，能够提供不另行准备被驱动体而带有被驱动体的压电致动器，能够容易地进行包括被驱动体的压电致动器的组装作业。
【附图说明】
[0044]图1是表示本发明的压电致动器的第一实施方式的立体图。
[0045]图2是图1所示的压电致动器的振动部的分解立体图。
[0046]图3是从其他方向观察图1所示的压电致动器的振动部的立体图。
[0047]图4是从其他方向观察图1所示的压电致动器的振动部的立体图。
[0048]图5是图1所示的压电致动器的振动部的剖面图(A — A线处的剖面图)。
[0049]图6是用于对图1所示的压电致动器的动作进行说明的振动体的图。
[0050]图7是用于对图1所示的压电致动器的动作进行说明的振动体的图。
[0051]图8是用于对图1所示的压电致动器的动作进行说明的振动体的图。
[0052]图9是用于对图1所示的压电致动器的动作进行说明的振动体的图。
[0053]图10是用于对图1所示的压电致动器的动作进行说明的振动体的图。
[0054]图11是表示本发明的压电致动器的第二实施方式中的振动体的俯视图。
[0055]图12是表示本发明的压电致动器的第三实施方式中的振动体的俯视图。
【具体实施方式】
[0056]以下，基于附图所示的优选实施方式对本发明的压电致动器进行详细说明。
[0057](第一实施方式)
[0058]图1是表示本发明的压电致动器的第一实施方式的立体图。图2是图1所示的压电致动器的振动部的分解立体图。图3是从其他方向观察图1所示的压电致动器的振动部的立体图。图4是从其他方向观察图1所示的压电致动器的振动部的立体图。图5是图1所示的压电致动器的振动部的剖面图(A — A线处的剖面图)。图6?图10分别是对图1所示的压电致动器的动作进行说明的振动体的图。
[0059]此外，以下为了便于说明，将图1以及图5中的上侧称为“上”或者“上方”，将下侧称为“下”或者“下方”。
[0060]另外，在图1?图10中，作为相互正交的3个轴，图示有X轴、Y轴以及Z轴。将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。另外，将由X轴和Y轴规定的平面称为“XY平面”，将由Y轴和Z轴规定的平面称为“YZ平面”，将由Z轴和X轴规定的平面称为“XZ平面”。另外，在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向中，将箭头前端侧作为“+(正)侧”，将箭头基端侧作为“一(负)侧”。
[0061]另外，在图4中省略基台以及板簧的图示。另外，在图6?图10中，对于振动体，通过省略连结部的图示等来简化地图示。另外，在图6?图8中，对振动体的各电极中的通电的电极标注斜线。另外，在图9以及图10中，仅图示振动体的各电极中的通电的电极。
[0062](基本结构)
[0063]如图1所示，压电致动器1具有:振动部10，其具有通过电压的施加而振动的振动体2 ;圆盘状的转子(被驱动体)5，其能够旋转(能够位移)；以及未图示的支承体，其支承振动部10和转子5。此外，换言之，转子5是横剖面形状为圆形的被驱动体。
[0064]压电致动器1是通过振动体2振动来向转子5传递动力(驱动力)而使其旋转(驱动)的装置。以下，对压电致动器1具有的各部依次进行说明。
[0065](振动部10)
[0066]如图1?图5所示，振动部10具备振动体2、将振动体2 (振动板23)保持成能够振动的保持部(保持机构)3、基台4、连结保持部3和基台4并作为经由保持部3对振动体2的下述的凸部26朝向转子5施力的施力部的一对板簧(弹性体)71、72、以及一对绝缘板(绝缘部件)75、76。
[0067](振动体2)
[0068]振动体2呈长方形