检测值估计计算出操作量 估计值。作为其它实施方式，电动机的控制装置也可以是以下的结构。即，电动机的控制装 置将操作量设为电流值。电动机的控制装置具备操作量检测器和操作量估计部。操作量检 测器检测作为操作量的电流。操作量检测器将检测出的电流作为操作量检测值来输出。操 作量估计部根据操作量检测值来估计操作量估计值并输出。
[0094] 另外，在本实施方式中，将振动抑制控制器设为IIR型的低通滤波器。作为其它实 施方式，振动抑制控制器也可以是用于抑制机械共振的去除特定的频率成分的滤波器。
[0095] 具体地说，振动抑制控制器也可以是包括IIR型陷波滤波器的滤波器。或者，振动 抑制控制器也可以是包括多个IIR型陷波滤波器的滤波器，或者是包括IIR型低通滤波器 与多个IIR型陷波滤波器的滤波器。
[0096] 另外，振动抑制控制器也可以是包括FIR型陷波滤波器的滤波器。或者，振动抑制 控制器也可以是包括FIR型陷波滤波器、多个IIR型陷波滤波器以及FIR型陷波滤波器的 滤波器，或者是包括IIR型低通滤波器、多个IIR型陷波滤波器以及FIR型陷波滤波器的滤 波器。
[0097] 另外，在本实施方式中，设前置补偿器为IIR滤波器。在其它实施方式中，前置补 偿器也可以是FIR滤波器。
[0098]另外，在本实施方式中，前置补偿器将滤波阶数设为固定。在其它实施方式中，也 可以是如下结构：前置补偿器将滤波阶数设为可变，调整运算部根据学习规则变更滤波阶 数和滤波系数来决定最优的值。
[0099]另外，在本实施方式中，设调整运算部为始终调整前置补偿器的结构。在其它实施 方式中，也可以是以下的结构：在反馈操作量超过阈值的情况下，调整运算部调整前置补偿 器。
[0100] (实施方式2)
[0101] 接着，实施方式2示出作为电动机的控制装置的其它的具体例子。
[0102] 图2是表示本发明的实施方式2中的电动机的控制装置的结构图。图3是表示本 发明的实施方式2中的其它电动机的控制装置的结构图。
[0103] 如图2所示，本发明的实施方式2中的电动机的控制装置还具备例如能够用转矩 检测部110实现的施加操作量检测部。在图2中，用转矩检测部110表示的施加操作量检 测部检测操作量，将其作为施加操作量检测值来输出。以施加转矩检测值来表示施加操作 量检测值。
[0104] 在实施方式2中示出的电动机的控制装置与在上述实施方式1中示出的电动机的 控制装置在以下的方面不同。
[0105] S卩，例如能够用转矩估计部108实现的操作量估计部被输入表示为施加转矩检测 值的施加操作量检测值来代替表示为位置检测值的状态量检测值。作为操作量估计部的转 矩估计部108输出与被输入的施加操作量检测值相应的操作量估计值。以转矩估计值来表 示操作量估计值。
[0106] 或者，如图3所示，本发明的实施方式2中的电动机的控制装置具备例如能够用转 矩检测部110实现的施加操作量检测部来代替在图1中以转矩估计部108来表示的操作量 估计部。在图3中，以转矩检测部110来表示的施加操作量检测部被输入操作量。施加操作 量检测部输出操作量估计值。以转矩来表示操作量。以转矩估计值来表示操作量估计值。
[0107] 此外，除此以外，对与上述实施方式1所示的结构相同的结构标注相同的标记并 引用说明。
[0108] 根据上述结构，除了在实施方式1中说明的作用效果以外，还起到以下的作用效 果。即，根据本结构，能够减小操作量估计值与通过电动机产生的操作量之间的偏差。由 此，在前置补偿器102的调整过程中，本实施方式的电动机的控制装置能够实现高的跟踪 性能。
[0109] 产业h的可利用件
[0110] 本发明中的电动机的控制装置能够降低因由状态量检测部进行检测的分辨率的 粗细度而引起的振动、因机械系统的共振而引起的振动。另外，本发明中的电动机的控制装 置不降低反馈控制器的控制增益就能够进行前置补偿器的调整。由此，如果使用本发明中 的电动机的控制装置，则即使在前置补偿器的调整过程中，也能够实现高的跟踪性能。能够 将本发明中的电动机的控制装置用于在电子部件的安装机、半导体的制造装置中对驱动部 进行驱动的用途。
[0111] 附图标iP,说明
[0112] 101、102 :前馈控制器；102、202 :前置补偿器；103、203 :反馈控制器；104 :振动抑 制控制器；105 :转矩控制器（操作量控制器）；106、206 :控制对象；107 :位置检测器（状 态量检测部）；1〇8 :转矩估计部（操作量估计部）；109、209 :调整运算部；110 :转矩检测部 (施加操作量检测部）；205 :转矩控制器；207 :位置检测器。
【主权项】
1. 一种电动机的控制装置，具备： 状态量检测部，其检测电动机的动作来计算所述电动机的动作量，将计算出的所述动 作量作为状态量检测值来输出； 前馈控制器，其被输入用于指示所述动作的状态量指令值，输出与被输入的所述状态 量指令值相应的前馈操作量； 能够变更的前置补偿器，其被输入所述状态量指令值，输出对被输入的所述状态量指 令值进行校正所得到的状态量指令校正值； 反馈控制器，其被输入所述状态量指令校正值与所述状态量检测值之差，输出相应于 被输入的所述状态量指令校正值与所述状态量检测值之差的反馈操作量； 振动抑制控制器，其被输入作为将所述前馈操作量与所述反馈操作量相加所得到的值 的操作量指令值，输出与被输入的所述操作量指令值相应的实际操作量指令值； 操作量控制器，其控制通过所述电动机产生的操作量，使得所述操作量与所述实际操 作量指令值一致； 操作量估计部，其被输入所述状态量检测值，输出与被输入的所述状态量检测值相应 的操作量估计值；以及 调整运算部，其调整所述前置补偿器的传递特性， 其中，所述调整运算部对所述前置补偿器的传递特性进行调整，使得所述前置补偿器 的传递特性与从所述操作量指令值到所述操作量的传递特性相等。2. 根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于， 还具备施加操作量检测部，该施加操作量检测部检测所述操作量，将所述操作量作为 施加操作量检测值来输出， 所述操作量估计部被输入所述施加操作量检测值来代替所述状态量检测值，输出与被 输入的所述施加操作量检测值相应的操作量估计值。3.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于， 具备施加操作量检测部来代替所述操作量估计部，该施加操作量检测部被输入所述操 作量，输出与被输入的所述操作量相应的操作量估计值。4.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于， 所述前馈控制器和所述操作量估计部的计算算法是相同的结构。5.根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于， 所述振动抑制控制器包括至少一个以上的IIR滤波器、或者至少一个以上的FIR滤波 器、或者至少一个以上的IIR滤波器与至少一个以上的FIR滤波器的组合。6. 根据权利要求1所述的电动机的控制装置，其特征在于， 所述前置补偿器包括IIR滤波器或FIR滤波器。7. 根据权利要求6所述的电动机的控制装置，其特征在于， 所述调整运算部通过最小二乘法对所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波系 数进行修正。8. 根据权利要求6所述的电动机的控制装置，其特征在于， 所述调整运算部逐次地根据自适应律对所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤 波系数进行修正。9. 根据权利要求6所述的电动机的控制装置，其特征在于， 所述调整运算部对所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波阶数、以及所述IIR滤波器或所述FIR滤波器所具有的滤波系数进行变更，根据学习规则导出使所述操作量指 令值与所述操作量估计值之差最小的所述滤波阶数和所述滤波系数。10. 根据权利要求7至9中的任一项所述的电动机的控制装置，其特征在于， 还具有进行所述反馈操作量的判定的阈值， 在所述反馈操作量超过所述阈值的情况下，所述调整运算部变更所述前置补偿器的滤 波系数， 在所述反馈操作量没有超过所述阈值的情况下，所述调整运算部不变更所述前置补偿 器的滤波系数。
【专利摘要】本发明的电动机的控制装置具备位置检测器(107)、前馈控制器(101)、前置补偿器(102)、反馈控制器(103)、振动抑制控制器(104)、转矩控制器(105)、转矩估计部(108)以及调整运算部(109)。特别是，振动抑制控制器(104)被输入作为将前馈操作量与反馈操作量相加所得到的值的操作量指令值。振动抑制控制器(104)输出与被输入的操作量指令值相应的实际操作量指令值。转矩控制器(105)控制通过电动机产生的操作量，使得通过电动机产生的操作量与实际操作量指令值一致。调整运算部(109)对前置补偿器(102)的传递特性进行调整，使得前置补偿器(102)的传递特性与从操作量指令值到操作量的传递特性相等。
【IPC分类】G05B13/02, H02P29/00
【公开号】CN105359406
【申请号】CN201480039031
【发明人】藤原弘
【申请人】松下知识产权经营株式会社
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2014年7月3日
【公告号】WO2015004885A1