一种用于离子注入机的控制电路的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种控制电路，尤其涉及一种用于离子注入机的控制电路。
【背景技术】
[0002]在高能离子注入机晶圆传送的时候，真空机械手臂会起到重要的作用，但是在现有的机台设计当中，真空机械手臂的马达没有断电锁止功能，也就是说在马达供电突然中断的时候，控制真空机械手臂运动的马达转子不会锁死(除非马达再次通电并且清除掉错误信息)，会在压力差或者是自身重力的作用下移动，此时就可能会造成真空机械手臂撞击机台内壁的情况发生，当真空机械手臂正在传送晶圆的时候，晶圆就有掉落甚至是撞碎的危险。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有断电锁止功能的用于离职注入机的控制电路。
[0004]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种用于离子注入机的控制电路，包括互感器、采样模块、光电隔离器、交流电源和马达，所述马达包括马达转子和制动器线圈，所述交流电源的输出端对应连接所述马达转子的电源输入端，所述互感器的输入端与所述交流电源输出的一相耦合，所述互感器的输出端连接采样模块，所述采样模块的输出端连接所述光电隔离器的输入端，所述光电隔离器的一个输出端dl连接制动器线圈的一端a，所述制动器线圈的另一端b连接直流电源，所述光电隔离器的另一输出端d2接地。
[0005]本实用新型的有益效果是:较现有技术而言，本电路引入制动器，并将制动器线圈与光电隔离器的输出端dl、d2串联于24V+和地线之间，即由光电隔离器的输出端dl、d2的通断来控制所述制动器线圈是否得电。
[0006]当三相电源输出时，互感器采集到电源信号，并将其转换为低压信号发送至采样模块，采样模块输出，所述光电隔离器的输入端dl和d2之间产生电压，二者之间连接有二极管，所述光电隔离器的输出端dl和d2之间设有感光元件，当所述二极管发光时，输出端dl与d2之间导通。制动器线圈得电，制动器不对马达转子制动；反之，当三相电源无输出时，制动器线圈失电，制动器对马达转子制动。这种断电强制锁止功能保证晶圆传送时的稳定性，防止机台硬件损伤，减少机台报警造成的对机台生产时间的损耗，降低了晶圆报废的机率。
[0007]互感器采集高压电源信号，并将其转换为低压信号发送给所述采样模块，通过互感器采集电源信号的方式实现了信号由高压侧向低压侧的过渡。通过光电隔离器实现了“电-光-电”的传输，达到了电气隔离的目的，具有较强的抗干扰能力。
[0008]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0009]进一步，所述马达转子还包括信号接收端C，所述信号接收端c与所述制动器线圈的一端a连接，所述直流电源的电压为24V。
[0010]采用上述进一步方案的有益效果是，马达转子通过信号端接收制动器线圈是否通电的信号，从而可以判断是否该继续转动或停止转动，当制动器机械部分出现问题，即制动器线圈得电但制动器不制动时，马达转子可以主动制动，避免较大损失。当信号接收端接收到24V+信号时，说明制动器线圈不得电，此时马达转子主动停止转动，当信号接收端接收到OV信号时，说明制动器线圈得电，此时马达转子可继续转动。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型电路示意图；
[0012]图2为现有技术电路不意图。
[0013]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0014]1、互感器，2、采样模块，3、光电隔离器，4、交流电源，5、马达转子，6、制动器线圈，7、马达。
【具体实施方式】
[0015]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0016]如图1所示，一种用于离子注入机的控制电路，包括互感器1、采样模块2、光电隔离器3、交流电源4和马达7，所述马达7包括马达转子5和制动器线圈6，所述交流电源4的输出端对应连接所述马达转子5的电源输入端，所述互感器I的输入端与所述交流电源4输出的一相耦合，所述互感器I的输出端连接采样模块2，所述采样模块2的输出端连接所述光电隔离器3的输入端，所述光电隔离器3的一个输出端dl连接制动器线圈6的一端a，所述制动器线圈6的另一端b连接直流电源，所述光电隔离器3的另一输出端d2接地。
[0017]所述马达转子5还包括信号接收端C，所述信号接收端c与所述制动器线圈6的一端a连接。
[0018]所述直流电源的电压为24V。
[0019]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种用于离子注入机的控制电路，其特征在于，包括互感器(I)、采样模块(2)、光电隔离器(3)、交流电源⑷和马达(7)，所述马达(7)包括马达转子(5)和制动器线圈(6)，所述交流电源(4)的输出端对应连接所述马达转子(5)的电源输入端，所述互感器(I)的输入端与所述交流电源(4)输出的一相耦合，所述互感器(I)的输出端连接采样模块(2)，所述采样模块(2)的输出端连接所述光电隔离器(3)的输入端，所述光电隔离器(3)的一个输出端(dl)连接制动器线圈(6)的一端(a)，所述制动器线圈(6)的另一端(b)连接直流电源，所述光电隔离器(3)的另一输出端(d2)接地。2.根据权利要求1所述一种用于离子注入机的控制电路，其特征在于，所述马达转子(5)还包括信号接收端(C)，所述信号接收端(c)与所述制动器线圈￠)的一端(a)连接。3.根据权利要求1或2所述一种用于离子注入机的控制电路，其特征在于，所述直流电源的电压为24V。
【专利摘要】本实用新型涉及一种控制电路，尤其涉及一种用于离子注入机的控制电路，包括交流电源、马达转子和互感器，所述电源的输出端对应连接所述马达转子的电源输入端，所述互感器的输入端与所述电源输出的一相耦合，所述互感器的输出端连接采样模块，所述采样模块的输出端分别连接所述光电隔离器的输入端，所述光电隔离器的输出端d1连接制动器线圈的一端a，所述制动器线圈的另一端b连接24V+，所述光电隔离器的输出端d2接地。本实用新型控制电路具有断电强制锁止和自动制动功能，可以避免断电马达继续转动带来的危害。
【IPC分类】H02P3/04, H01J37/317
【公开号】CN204810183
【申请号】CN201520636399
【发明人】黄建勋
【申请人】武汉新芯集成电路制造有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年8月21日