专利名称：一种离子注入机绝缘套的拆卸装置的制作方法
技术领域：
本发明主要应用于半导体芯片生产制造领域离子注入机绝缘套拆卸的装置。
背景技术：
在半导体芯片生产领域中，有一道过程叫离子注入，即由离子注入机通 过高压将离子注入目标靶。离子注入机的重要部分是离子元，其腔中通过高 压对目标革巴进行离子注入。离子元的外部，用绝缘套隔离内外部电场，保护 内部离子不受外部电场影响。这个绝缘套需要定期维护， 一般维护每半月或 者一个月拆卸一次。现在的拆卸办法是人进入^li器内部进行手工拆卸。由于
绝缘套重量达到20-40公斤，又是悬空安置，空间狭小，造成拆卸困难，劳 动强度大，而且拆卸人员安全无法保证。更重要的是由于是手工作业，拆卸 精度无法控制，从而影响绝缘效果。
发明内容
针对以上问题，本发明提供了一种方便拆卸绝缘轴套的装置。 一种离子注入机绝缘套的拆卸装置，该拆卸装置包括底座、推动螺母 丝杠和支撑托。底座上装有推动螺母，该推动螺母通过螺紋连接丝杠，丝杠
的顶端设有与绝缘套外表面相配合的支撑托。
作为本发明的一种优选方式，为使用推动螺母更加易于手工操作，所 述的推动螺母上有螺紋啮合转动齿轮，转动齿轮外接摇杆。
作为本发明的一种优选方式，所述的推动螺母上有螺紋啮合转动齿轮， 转动齿轮外接摇杆。
作为本发明的一种优选方式，所述的推动螺母和转动齿轮之间的螺紋啮 合是垂直啮合。
作为本发明的一种优选方式，所述的推动螺母和转动齿轮的外部可以包 围一个防护罩。
作为本发明的一种优选方式，所述支撑托为中空弧形体。
作为本发明的一种优选方式，所述的底座上装有三个或者三个以上立 柱，立柱顶端用环形圈相互连"^妻。
作为本发明的一种优选方式，所述的底座底部可以装有三个或者三个以 上转动轮。
有益效果使用丝杠原理，升降支撑托托住绝缘套，可以更好的定位， 从而精度大大上升，劳动强度减低，安全性能提高。
图1为本发明拆卸装置的结构示意图。
图2为本发明拆卸装置推动螺母部分的结构示意图。
具体实施例方式
图1中，本发明的拆卸装置由底座l,推动螺母2，丝杠3和支撑托4 组成。底座1上装有推动螺母2,螺母2通过螺紋啮合丝杠3，丝杠3的顶 端设有与绝缘套外表面相配合的支撑托4。
操作时候，转动推动螺母2，驱动丝杠3升降，丝杠3顶端的支撑托4 也跟着升降。由于支撑托4和绝缘套外表面相互配合，当支撑托4升到和绝 缘套紧密结合的时候，转动停止，绝缘套被本装置完全固定，从而可以完成 对绝缘套的拆卸。完成拆装后，反向转动推动螺母2，驱动丝杠3下降，丝 杠顶端的支撑托4也跟着降下，本装置使用结束，撤出工作区。
图2中，为使用本装置转动灵活并且更加易于操作，可在本装置中的推 动螺母2上有螺紋啮合转动齿轮6，转动齿轮6外接摇杆5。工作时转动摇 杆5，带动与其固定的转动齿轮6转动，转动齿轮6由于与推动螺母2表面 的螺紋啮合，从而推动螺母2转动，最终推动了丝杠3的升降。
图2中，本装置中推动螺母2和转动齿轮6之间的螺紋啮合是垂直啮合。
图2中，本装置中的推动螺母2和转动齿4仑6的外部可以包围一个防护 罩7,保护内部丝杠和螺紋啮合。
图1中，支撑托4为中空弧形体。
图1中，本装置可以在底座1上装有三个或者三个以上立柱8，立柱8 顶端用环形圏9相互连接。立柱8和其顶端的环形圈9是安全装置。万一推 动螺母2滑动，丝杠3也会滑落，支撑托4和其上的绝缘套也将掉落。届时， 这些立柱8和环形圈9将起到阻挡支撑托4和绝缘套的滑落作用，从而保护 工作人员安全。
图1中，本装置可以在底座1底部安装有三个或者三个以上转动4仑10, 从而使得装置移动更加容易。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用于限制本发明。凡在本 发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在 本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种离子注入机绝缘套的拆卸装置，其特征在于该拆卸装置包括底座(1)、推动螺母(2)、丝杠(3)和支撑托(4)；底座(1)上装有推动螺母(2)，该推动螺母(2)通过螺纹连接丝杠(3)，丝杠(3)的顶端设有与绝缘套外表面相配合的支撑托(4)。
2， 按照权利要求l所述的拆卸装置，其特征在于所述的推动螺母(2)上有螺紋啮合转动齿轮(6 )，转动齿轮(6 )外接摇杆(5 )。
3， 按照权利要求2所述的拆卸装置，其特征在于所述的推动螺母(2)和转动齿轮(6)之间的螺紋啮合是垂直啮合。
4， 按照权利要求2或者3所述的拆卸装置，其特征在于所述的推动螺母(2)和转动齿轮(6)的外部可以包围一个防护罩(7)。
5， 按照权利要求l， 2或者3所述的拆卸装置，其特征在于所述支撑托(4 )为中空弧形体。
6， 按照权利要求l， 2，或者3所述的拆卸装置，其特征在于所述的底座(1)上装有三个或者三个以上立柱(8)，立柱(8)顶端用环形圈 (9)相互连接。
7， 按照权利要求l， 2，或者3所述的拆卸装置，其特征在于所述的底 座(1)底部可以装有三个或者三个以上转动轮(10 )。
全文摘要
一种离子注入机绝缘套的拆卸装置，其特征在于该拆卸装置包括底座(1)、推动螺母(2)、丝杠(3)和支撑托(4)；底座(1)上装有推动螺母(2)，该推动螺母(2)通过螺纹连接丝杠(3)，丝杠(3)的顶端设有与绝缘套外表面相配合的支撑托(4)。
文档编号H01L21/02GK101369508SQ20071004485
公开日2009年2月18日 申请日期2007年8月14日 优先权日2007年8月14日
发明者张碧波, 鹖 许 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司