关功率管Vl和开关功率管V2短时直通；同步Buck电路为强迫电流连续工作模式，避免了电感LI和电感L2电流断续时造成变换器输出端出现尖峰脉冲电压，加速电源输出电压更加平稳，提高了加速电源的精度，提升电子束的加工精度。
[0058]优选的，如图4所示，所述逆变单元4包括A相逆变器、B相逆变器和第二驱动脉冲发生器4-1，所述A相逆变器和所述B相逆变器均与所述第二驱动脉冲发生器4-1连接。
[0059]所述A相逆变器包括开关功率管V3?V4和电容Cl?C2，所述开关功率管V3的集电极接至所述直流-直流变换单元3的正输出端，所述开关功率管V3的发射极与所述开关功率管V4的集电极相接，并作为第一输出端，所述开关功率管V4的发射极接至所述直流-直流变换单元3的负输出端，所述开关功率管V3和开关功率管V4的基极与所述第二驱动脉冲发生器4-1连接，所述电容Cl和电容C2串联连接，电容Cl和电容C2串联支路的Cl端与所述开关功率管V3的集电极相接，电容Cl和电容C2串联支路的C2端与所述开关功率管V4的发射极相接，电容Cl和电容C2串联支路的中间端作为第二输出端，第一输出端和第二输出端分别接至第一升压变压器5-1 —次绕组的两端。
[0060]所述B相逆变器包括开关功率管V5?V6和电容C3?C4，所述开关功率管V5的集电极接至所述直流-直流变换单元3的正输出端，所述开关功率管V5的发射极与所述开关功率管V6的集电极相接，并作为第一输出端，所述开关功率管V6的发射极接至所述直流-直流变换单元3的负输出端，所述开关功率管V5和开关功率管V6的基极与所述第二驱动脉冲发生器4-1连接，所述电容C3和电容C4串联连接，电容C3和电容C4串联支路的C3端与所述开关功率管V5的集电极相接，电容C3和电容C4串联支路的C4端与所述开关功率管V6的发射极相接，电容C3和电容C4串联支路的中间端作为第二输出端，第一输出端和第二输出端分别接至第二升压变压器5-2 —次绕组的两端。
[0061]所述A相逆变器与B相逆变器采用单相半桥逆变电路，且两相逆变器的电路结构与参数相同，电容Cl?C4的电容值相同，电容Cl和电容C2串联支路和电容C3和电容C4串联支路作为所述直流-直流变换单元3的输出滤波电容以及分别作为开关功率管V3、开关功率管V4和开关管功率管V5、开关功率管V6的缓冲电容，同时分别作为所述A相逆变器与B相逆变器的直流输入均压电容及交流输出隔直电容。A相逆变器与B相逆变器的驱动波形如图6所示，开关功率管V3、V4的驱动信号g3、g4为对称推挽互补关系，但转换过程设置2-3微秒的死区时间，避免开关功率管V3和开关功率管V4短时直通；开关功率管V5和开关功率管V6的驱动信号g5、g6为对称推挽互补关系，但转换过程设置2-3微秒的死区时间，避免开关功率管V5和开关功率管V6短时直通，所述A相逆变器与B相逆变器驱动波形的相序相差90°，即所述A相逆变器与B相逆变器的输出为两相对称矩形电压波形，对应的两相高压并联整流波形脉动频率为直流-直流变换单元3的PffM频率，且消除了凹陷，由于高压总整流波的脉动频率高，而脉动幅值低，选用较小的高压滤波电容值就能滤掉交流成分，满足纹波系数指标要求；高压滤波电容值小一方面系统惯性时间常数小，有利于提高控制系统调节速度，另一方面贮能小，高压放电产生的冲击自然小，有利于提高电源系统运行可靠性。
[0062]优选的，如图7所示，所述高压单元5包括第一升压变压器5-1、第二升压变压器5-2、第一高压整流桥5-3、第二高压整流桥5-4、高压滤波器5-5、高压放电扼流器5_6、高压分压器5-7和束流取样电阻5-8，所述第一升压变压器5-1的输出端与所述第一高压整流桥5-3的输入端连接，所述第二升压变压器5-2的输出端所述第二高压整流桥5-4的输入端连接所述第一高压整流桥5-3和第二高压整流桥5-4的输出端并联且与所述高压滤波器5-5的输入端连接，高压整流输出波形如图8所示，高压总整流输出电压波形的脉动频率为直流-直流变换单元3的PffM频率，所述高压滤波器5-5与所述高压放电扼流器5-6串接，所述高压放电扼流器5-6的高压输出端接至电子枪的阴极，所述高压放电扼流器5-6的低压输出端与束流取样电阻5-8的第一端连接，所述束流取样电阻5-8的第二端接地，所述高压分压器5-7并接在所述高压放电扼流器5-6的高压输出端与大地之间；
[0063]所述第一升压变压器5-1和第二升压变压器5-2，均用于将中频矩形波交流电进行电能的传递、升压和高压绝缘，输出中频高压交流电；
[0064]所述第一高压整流桥5-3和第二高压整流桥5-4，均用于将中频高压交流电变换成脉动直流电；
[0065]所述高压滤波器5-5，用于将脉动直流电变换为平滑的高压直流电；
[0066]所述高压放电扼流器5-6，用于抑制高压直流电放电电流的上升速率，减缓高压放电所产生的电磁冲击强度，同时用于抑制第一和第二中频高压变压器一次与二次绕组间由寄生电容引起的干扰电流；
[0067]所述高压分压器5-7，用于测量输出高压的电压值，输出正比于加速高压的电压信号U，作为高压反馈信号；
[0068]所述束流取样电阻5-8，用于测量电子束流值，束流取样电阻5-8两端输出正比于电子束流大小的电压取样信号，作为电子束流反馈信号供给设备其它控制系统用。
[0069]实施例2:
[0070]实施例2的结构与实施例1的结构基本相同，区别在于逆变单元4。
[0071]如图5所示，所述逆变单元4包括电容C5、C相逆变器、D相逆变器和第三驱动脉冲发生器4-2，所述C相逆变器和所述D相逆变器均与所述第三驱动脉冲发生器4-2连接；
[0072]所述电容C5并接在所述直流-直流变换单元3的输出两端；
[0073]所述C相逆变器包括开关功率管V7?VlO，所述开关功率管V7的集电极接至所述直流-直流变换单元3的正输出端，所述开关功率管V7的发射极与所述开关功率管V9的集电极相接，并作为C相逆变器的第一输出端，所述开关功率管V9的发射极接至所述直流-直流变换单元3的负输出端，所述开关功率管V8的集电极接至所述直流-直流变换单元3的正输出端，所述开关功率管V8的发射极与所述开关功率管VlO的集电极相接，并作为C相逆变器的第二输出端，所述开关功率管VlO的发射极接至所述直流-直流变换单元3的负输出端，所述开关功率管V7至开关功率管VlO的基极与所述第三驱动脉冲发生器4-2连接，所述C相逆变器的第一输出端和第二输出端分别接至第一升压变压器5-1 —次绕组的两端。
[0074]所述D相逆变器包括开关功率管Vll?V14，所述开关功率管VlI的集电极接至所述直流-直流变换单元3的正输出端，所述开关功率管Vll的发射极与所述开关功率管V13的集电极相接，并作为D相逆变器的第一输出端，所述开关功率管V13的发射极接至所述直流-直流变换单元3的负输出端，所述开关功率管V12的集电极接至所述直流-直流变换单元3的正输出端，所述开关功率管V12的发射极与所述开关功率管V14的集电极相接，并作为D相逆变器的第二输出端，所述开关功率管V14的发射极接至所述直流-直流变换单元3的负输出端，所述开关功率管Vll至开关功率管V14的基极与所述第三驱动脉冲发生器4-2连接，所述D相逆变器的第一输出端和第二输出端分别接至第二升压变压器5-2 —次绕组的两端。
[0075]所述C相逆变器与D相逆变器采用单相全桥逆变电路，所述电容C5作为所述直流-直流变换单元3的输出滤波电容以及作为所述C相逆变器与D相逆变器开关功率管每桥臂开关管(V7与V9，V8与V10，Vll与V13，V12与V14)的缓冲电容，每桥臂开关管的驱动信号(g7与g9，g8与glO，gll与gl3，gl2与gl4)各为对称推挽互补关系，但转换过程设置2-3微秒的死区时间，避免各逆变桥臂上下两管短时直通，所述C相逆变器与D相逆变器驱动波形的相序相差90°，如图6所示，即所述C相逆变器与D相逆变器的输出为两相对称矩形电压波形，对应的两相高压并联整流波形脉动频率为直流-直流变换单元3的PffM频率，且消除了凹陷，由于高压总整流波的脉动频率高，而脉动幅值低，选用较小的高压滤波电容值就能滤掉交流成分，满足纹波系数指标要求；高压滤波电容值小一方面系统惯性时间常数小，有利于提高控制系统调节速度，另一方面贮能小，高压放电产生的冲击自然小，有利于提高电源系统运行可靠性。
[0076]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种电子束加工设备精密加速电源装置，包括进线滤波器(I)、低压整流滤波单元(2)、直流-直流变换单元(3)、逆变单元(4)、高压单元(5)和调节器￠)，所述进线滤波器(I)的输入端与外部电网连接，所述进线滤波器(I)的输出端、低压整流滤波单元(2)、直流-直流变换单元(3)、逆变单元(4)和高压单元(5)的输入端依次