一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于照射技术领域，涉及电子辐照加速器，尤其涉及工业电子辐照加速器抽真空装置。
【背景技术】
[0002]工业辐照电子加速器，从上世纪80年代开始逐步走入我国辐射加工市场，在热缩制品、电线电缆的辐照加工中创造了巨大的经济效益。近20年来，辐射加工已形成多领域跨行业的新兴产业，美国、日本非动力核技术应用已经达到千亿美元，超过了核电规模。目前工业辐照应用已经涉及工业领域(如电线电缆、热缩材料、橡胶硫化、涂层固化、辐射接枝等)、医疗领域(如辐射治疗、医疗用品和中药消毒灭菌等)、食品领域(如粮食、果蔬、海鲜等保鲜及灭菌处理)、环保领域(如污水处理、废弃物处理等)、农业领域(如引发种子变异、绿色存储)。
[0003]在辐射加工行业，各领域各行业都有合适的辐照剂量指标，辐照剂量由电子加速器的能量、束流指标和辐照速度来决定。目前用于工业辐照的电子加速器的束流强度基本都在0~60mA左右，使得生产效率低下从而不能满足个别行业生产需要(如轮胎行业要求0~150mA)o为了在保证目前所需要的辐照剂量，提辐照速度，也就是提高生产效率；我们只有从电子加速器的功率，也就是束流功率上挖掘潜力，提高加速器引出的束流强度，提高生产效率。但是在提高电子加速器束流强度后，由于扫描盒尺寸大或者内电子的散射和反射，导致真空室放气面积增加，放气率增大，对真空抽速要求高。但目前工业辐照电子加速器设备抽真空的机组均采用一台分子泵加一台机械泵使用；或者一到两台纯离子泵，建真空时采用移动的分子泵和机械泵设备。鉴于目前辐照用电子加速器设备都是离线式生产加工，对设备可靠性要求不高，现有的真空设备机构基本能满足使用。但是现在用于生产线的在线设备对加速器的可靠性，修复时间提出了更高要求，同时自屏蔽电子加速器对部分真空装置又增加屏蔽要求；所以目前的真空设备机构不能满足在线自屏蔽电子加速器要求。
[0004]总之，现有的工业辐照电子加速器的真空设备机构，无法满足在线大束流引出的工业辐照电子加速器真空装置要求。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的在于，解决现有技术中存在的不足，提供一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，能够解决缩短系统建立真空的时间，提高真空可靠性，维护用时短而方便，自屏蔽X射线，初后期设备安装和维护方便等技术问题。
[0006]基于上述目的，本实用新型提供了一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，包括一固定安装在工业辐照电子加速器上的由多个真空设备组成的真空机组。
[0007]本实用新型是以增加真空设备数量的方式，来对电子加速器抽真空装置的整体抽真空能力进行提高。原因在于:若以增加真空设备的抽真空能力为手段，必然会带来真空设备体积变大、成本变高、电子加速器改装程度大、安装困难、维修难度增加或采用更为先进复杂的技术等一系列问题。本实用新型的设计不仅避免了上述问题，同时还构成冗余结构，其优点在于不仅仅提高抽真空装置的整体抽真空能力，并且还分散了机组故障带来的风险，可以在不破坏抽真空动作连贯性的情况下，对抽真空装置的部分真空设备进行检修，从而确保了抽真空装置的整体可靠性。
[0008]同时由于本实用新型抽真空装置的真空机组为直接加载到工业辐照电子加速器上，因此可以完成在线抽真空动作，并达到相关技术要求。
[0009]因此本实用新型相对于现有技术的有益效果在于:
[0010]可在线进行抽真空动作，对原电子加速器的改装程度小，设备整体可靠程度高，维修简便快速，可自由改变真空设备的加载数量。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的电子束辐照电子加速器的抽真空装置的结构示意图。
[0012]其中1、离子泵
[0013]2、离子泵安装支架
[0014]3、真空检测装置
[0015]4、高真空闸板阀
[0016]5、真空放气阀
[0017]6、T型结构的真空管道
[0018]7、分子泵
[0019]8、加速器管支持连接口
[0020]9、四通真空管道道
[0021]10、扫描管道及真空室连接口。
【具体实施方式】
[0022]为了进一步对本实用新型进行描述，给出以下若干实施例。
[0023]实施例1
[0024]本实施例介绍了一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，包括一固定安装在工业辐照电子加速器上的真空机组，所述真空机组由多个真空设备组成。其中，所述各单一真空设备独自构成单一真空单元。
[0025]本实施例中各真空设备之间独立工作，相互之间不构成干扰，为抽真空装置提供了更高的灵活性。
[0026]设备工作时，当碰到某真空设备需要检修更换或抽真空装置整体仅需维持在较低抽真空能力等情况，可自由对其开启关闭状态进行简单切换，该操作不会对整体抽真空进程的连贯性造成影响。
[0027]实施例2
[0028]本实施例同样介绍了一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，所述各真空设备之间呈并联结构排布。较优选地，所述各真空设备相同。采用并联结构设计，更容易将真空设备加载到电子加速器上，同时选用的相同的真空设备，方便设备检测、维修和更换。
[0029]实施例3
[0030]在本实施例中介绍的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，所述真空设备包括真空管道，所述真空管道为包铅或罐铅结构。利用包铅或罐铅结构，达到使其具有自屏蔽X射线的目的。
[0031]实施例4
[0032]本实施例中，所述真空设备包括真空管道，所述工业辐照电子加速器包括漂移管，所述真空管道为多接口结构，分别连接所述漂移管和泵体。优选地，真空管道的每个结构均设置有独立闭口装置。
[0033]真空设备通过真空管道连接到漂移管上，从而与电子加速器相连，根据具体工艺需要，将真空管道设计成多接口结构，可以达到在一真空设备上同时加载多个泵体的目的，实现泵体快速检修、增减与更换。
[0034]实施例5
[0035]为了方便真空系统的维护，本实施例中，所述真空管道上开设有真空放气阀和放气嘴。
[0036]实施例6
[0037]为了满足工业设备系统维护的方便快捷要求，本实施例的抽真空装置，位于所述真空设备上设置有高真空闸板阀。
[0038]实施例7
[0039]基于与实施例6的相同设计目的，本实施例中所述的一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，还包括一真空检测装置，位于所述真空检测装置上设置有高真空闸板阀。
[0040]实施例8
[0041]如图1所示，本实施例中的电子束辐照电子加速器的抽真空装置具体结构主要包括:两套设置完全对称的真空设备、真空管道和与真空设备一一对应配套设置的两套真空检测装置。具体的，包括离子泵1、离子泵安装支架2、真空检测装置3、高真空闸板阀4、真空放气阀5、T型结构的真空管道6、分子泵8、加速器管支持连接口 9、四通真空管道道10、扫描管道及真空室连接口 11。其中，真空检测装置3用于对真空系统实时检测并显示，高真空闸板阀4负责开关气道，真空管道6用于连接四通真空管道道10和真空设备，加速器管支持连接口 9用于连接电子加速器支持管法兰，四通真空管道道10用于建立抽真空和电子束通道，扫描管道及真空室连接口 11用于连接扫描偏转管及下部扫描盒。
[0042]其中溅射离子泵的工作原理为:在正交的电场及磁场作用下，稀薄状态气体会产生放电，称为潘宁放电。应用这一原理，将阳极分割成若干筒型小室，阴极采用钛板制成。放电产生的气体阳离子在电场作用下加速飞向阴极，气体离子射入阴极与钛形成钛化合物而被固定抽除。
[0043]由此可见，上述泵体中选有离子泵的原因在于:离子泵在工作过程中，偶然暴露于大气也不会损坏，离子泵结构简单，操作维护容易，重要的是离子泵抽真空无油污染，无机械振动，极限真空高，而且高真空时耗电量少，能安装在容器的任何位置上，所以提高了系统真空的洁净度和可靠性。
【主权项】
1.一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，包括一固定安装在工业辐照电子加速器上的由多个真空设备组成的真空机组。
2.根据权利要求1所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，所述各单一真空设备独自构成单一真空单元。
3.根据权利要求1所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，所述各真空设备之间呈并联结构排布。
4.根据权利要求3所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，所述各真空设备相同。
5.根据权利要求1所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，所述真空设备包括真空管道，所述真空管道为包铅或罐铅结构。
6.根据权利要求1所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，所述真空设备包括真空管道，所述工业辐照电子加速器包括漂移管，所述真空管道为多接口结构，分别连接所述漂移管和泵体。
7.根据权利要求5或6所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，所述真空管道上开设有真空放气阀和放气嘴。
8.根据权利要求1所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，位于所述真空设备上设置有高真空闸板阀。
9.根据权利要求1所述的电子束辐照电子加速器的抽真空装置，其特征在于，还包括一真空检测装置，位于所述真空检测装置上设置有高真空闸板阀。
【专利摘要】本实用新型属于照射技术领域，介绍了一种电子束辐照电子加速器的抽真空装置，包括一固定安装在工业辐照电子加速器上的由多个真空设备组成的真空机组。本实用新型相对于现有技术的有益效果在于：可在线进行抽真空动作，对原电子加速器的改装程度小，设备整体可靠程度高，维修简便快速，可自由改变真空设备的加载数量。
【IPC分类】H05H7-00
【公开号】CN204408736
【申请号】CN201520147462
【发明人】冯敬涛, 贾朝伟
【申请人】武汉久瑞电气有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2015年3月16日