用于二次离子质谱仪的一次铯离子源的制作方法

文档序号:11290561阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种用于与二次离子质谱仪一起使用的一次离子源子组件,所述一次离子源子组件包括整体式石墨离子发生器管道和储器基部。一次离子源可以包括限定离子发生器孔径的毛细管插入件。离子发生器孔径可以布置在向外突出的圆锥形或者截头圆锥形表面的中心,并且可以与难熔金属涂层或者护套重叠。可以对包括离子发生器表面形状、离子发生器材料、离子发生器温度、以及射束挡板孔口几何结构的参数进行操纵以便消除鬼像。具有双重锥形表面的石墨管道垫圈可以促进源材料凹腔的密封。

技术研发人员:P·威廉姆斯;K·A·威廉姆斯;M·博塞;J·普林斯
受保护的技术使用者:亚利桑那州立大学董事会代表亚利桑那州立大学法人团体利益
技术研发日:2015.10.13
技术公布日:2017.09.26
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