一种产生大气压均匀等离子体刷的装置和方法与流程

文档序号:13226745阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种产生大气压均匀等离子体刷的装置,其特征是,包括有放电部分和供气部分:所述放电部分由介质板构件、放电电极对、增强电极对和交流电源构成;所述介质板构件由两块平行设置的介质板构成,且两块所述介质板的左右边缘之间密封;所述放电电极对由相对设置于两块介质板之间且靠近介质板前端左右两侧的第一针电极和第二针电极构成,所述第一针电极由放电针芯及包裹于放电针芯外部的介质管构成,所述第二针电极与所述第一针电极结构相同;所述增强电极对由左右横向设置于所述介质板构件中部上下表面的第一裸露电极和第二裸露电极构成;其中,所述第一针电极和所述第一裸露电极均与所述交流电源的高压输出端连接,所述第二针电极和所述第二裸露电极均与所述交流电源的接地端连接;所述供气部分连接于所述介质板构件后端端口处。2.根据权利要求1所述的产生大气压均匀等离子体刷的装置,其特征是,所述供气部分由储气罐和连接在储气罐上的气体管路构成,所述气体管路的另一端连接于所述介质板构件后端端口处。3.根据权利要求1或2所述的产生大气压均匀等离子体刷的装置,其特征是,所述介质板所形成的腔体的厚度为100μm~8mm,宽度为20mm~65mm;所示第一裸露电极与所述第二裸露电极间的距离为0.3mm~20mm;所述放电电极对与所述增强电极对间的距离为20mm~150mm。4.利用权利要求1所述装置产生大气压均匀等离子体刷的方法,其特征是,包括以下步骤:(1)启动供气部分,为介质板构件的腔体提供工作气体;(2)启动交流电源,增加交流电源电压,使增强电极对之间产生介质阻挡放电,然后继续增加交流电源电压,使放电电极对之间产生介质阻挡放电,然后在当前交流电源电压的基础上微调交流电源的电压和输出频率,使介质板构件前端端口处产生稳定的大气压均匀等离子体刷;其中,在所述介质板构件的腔体前端端口处,所述工作气体的流量在0.01L/min·mm2~20L/min·mm2之间。5.根据权利要求4所述装置产生大气压均匀等离子体刷的方法,其特征是,使放电电极对之间和增强电极对之间产生介质阻挡放电的交流电源的输出频率在50Hz~13.56MHz之间。
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