一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统的制作方法

文档序号:12193935阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:包括诊断箱体,分别位于诊断箱体内部、外部的等离子体射流装置和气体控制系统;所述等离子体射流发生装置包括中空体,中空体的内壁上设有外表面无棱角的金属块,金属块与中空体相接触的第一侧面连接有穿过中空体壁的第一金属棒,作为电源高压电极;金属块的与第一侧面同向的第二侧面设有穿过中空体前壁的第二金属棒,作为放电的高压电极;中空体外设有包裹第二金属棒的第一玻璃管,第一玻璃管的长度大于第二金属棒伸出中空体的部分;第一玻璃管外壁缠绕金属片,金属片位于玻璃管前端,作为接地极;所述中空体上还设有工作气体输入通道,诊断箱体对应位置处设有第一气动接头,工作气体输入通道通过第一气动接头与气体控制系统相连;所述诊断箱体的左右两侧分别设有第二气动接头和第三气动接头,用于配合气体控制系统实现环境气体的输入和气体的排出;所述诊断箱体上还设有用于与电源连接的贯通式的高压接线柱和地电极接线柱,高压接线柱和地电极接线柱还分别与等离子体射流装置中的电源高压电极和接地极相连。

2.根据权利要求1所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:还至少包括一层水平安装在诊断箱体内部的带孔插板,所述等离子体射流装置固定安装在带孔插板上。

3.根据权利要求2所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:所述插板上布局有一系列螺纹孔,用于固定和调整射流装置、温度传感器和光谱仪探头位置。

4.根据权利要求3所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:还包括滑块,所述滑块上设有贯通式的沉头槽和若干个螺纹孔,滑块利用沉头槽安装在插板上,各螺纹孔用于与待固定的装置上的螺纹孔相连,用于调整待固定装置的位置。

5.根据权利要求4所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:还包括至少一个垫片,各垫片上均设有螺纹孔,用于垫在待固定的装置下方,待固定的装置穿过其螺纹孔固定在滑块上,用于微调高度。

6.根据权利要求1所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:所述诊断箱体为绝缘材料制成的立方形箱体,箱体前后两面至少有一面可拆卸。

7.根据权利要求1所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:所述气体控制系统为气体流量计阵列,流量计数量根据实际需要设定,将工作气体和环境气体的气源分别连接至对应的流量计的进气口,各流量计的出气口分别连接到对应的工作气体合并接头或者环境气体合并接头,工作气体合并接头和环境气体合并接头分别与第一气动接头和第二气动接头相连。

8.根据权利要求1所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:还包括电源模块,所述电源模块为射频电源、交流高频电源或脉冲电源中的任一种;电源模块的高压电极接到诊断箱体高压接线柱,并与射流发生装置的第一金属棒相连;电源模块的地线接至诊断箱体的地电极接线柱,并与射流发生装置的第一玻璃管外缠绕的金属片相连。

9.根据权利要求8所述的一种工作气体和外部环境气体可控的等离子体射流发生与参数诊断系统,其特征在于:所述诊断箱体上设有用于供光纤温度传感器和光谱仪探头接入诊断箱体内部的接口;诊断箱体上还设有观察窗;所述诊断箱体上还设有固定阻值的无感电阻和固定容值的铁皮电容,无感电阻和铁皮电容通过单刀双掷开关分别串联在诊断箱体的地电极接线柱和电源模块的地线之间,分别用于配合示波器进行电流的测量和功率的测量。

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