技术总结
本发明公开了一种高频感应等离子发生器双水冷电感线圈，包括电感线圈、陶瓷固化套、内循环冷却水通道和外循环冷却水通道。通过在电感线圈外部浇筑陶瓷形成陶瓷固化套，螺旋线圈与陶瓷固化套同轴布置；线圈内循环冷却水通道通过电感线圈薄壁特征实现，外循环冷却水通道在陶瓷固化套内壁和石英管外壁间形成，以此实现对电感线圈内部和外部双水冷以及对高频感应等离子发生器外石英管进行冷却。一种双水冷电感线圈应用于高频感应等离子发生器，提高了电感线圈和石英管的安全性，提高了发生器的可靠性。
技术研发人员：陈海群;朱兴营;陈连忠;董永晖;刘祥;刘金涛;周法;林国胜
受保护的技术使用者：中国航天空气动力技术研究院
文档号码：201710104246
技术研发日：2017.02.24
技术公布日：2017.06.09