一种实用的大功率低温等离子电源的制作方法

本实用新型属于等离子技术领域，涉及一种电源，具体涉及一种低温等离子高压电源。

背景技术：

目前国内用于工业废气处理的中高频交流高压输出的大功率等离子体电源，大多使用前级功率模块调压后级IGBT模块作为功率开关的模式。IGBT的输出端通过谐振网络连接于高压变压器初级，次级的高压电极连接于等离子箱内离子体管的高压电极上，次级的低压电极连接于等离子箱箱体并接入大地。电源正常工作时，高压变压器次级高压使等离子体管管内气体电离，从而形成等离子体。由于高压变压器的次级高压高至几千伏甚至几万伏，且中高频高压变压器的设计和制造采样和隔离困难，所以一般使用开环控制电路。

上述技术的大功率低温等离子电源虽然原理简单，但在实际调试、生产、维修和维护时，却缺少一致性和直观性。一致性指两个判定为正常大功率低温电源等离子电源分别驱动同一个等离子箱，有可能一个表现正常(有辉光放电及紫外线)，而另一个表现不正常(没有辉光放电没有紫外线)，不正常的电源的电气参数需要重新调节；还有一种情况是同一电源驱动不同的等离子箱，有可能一个等离子箱正常(有辉光放电及紫外线)而另一个不正常，这时电源电气参数也需要重新调节。直观性指的是每次调试，通常需要打开等离子箱观察等离子管的电晕，辉光放电，紫外线等情况，如果观测不到此类现象，操作人员或调试者无从判断是电源问题还是等离子箱问题。因为等离子电源本身没有提供输出电压输出电流输出频率等决定性参数。

技术实现要素：

为了解决上述存在的问题，本实用新型公开一种能直观显示输出高压电压，输出高压电流及输出工作频率的低温等离子电源，其目的是就是增加调试的直观性，减少调试的工作量，提高生产及现场维护的时效。

本实用新型的技术方案：一种实用的大功率低温等离子电源，包括依次连接的市电输入电路、三相滤波组件、整流滤波电路、功率变换电路、LC谐振网络以及升压变压器，所述市电输入电路与辅助电源电路相连接并为辅助电路充电，市电输入电路输入的电流依次经过三相滤波组件、整流滤波电路、功率变换电路、LC谐振网络以及升压变压器变换后分别引出高压电极和低压电极，在所述升压变压器的输出端还并联连接有交流高压采样电路和交流电流采样电路，交流高压采样电路和交流电流采样电路将采集到的信号分别输送到报警电路、反馈控制电路以及显示电路，反馈控制电路连接功率调节电路，功率调节电路连接功率驱动电路，功率驱动电路连接到功率变换电路形成等离子电源的输出控制闭环，所述辅助电路为等离子电源提供直流电压。

所述三相滤波组件由辅助电路提供直流电压，三相滤波组件还包括浪涌抑制及延时启动电路。

所述升压变压器为中高频升压变压器，所述升压变压器的输出端还连接有温度采集电路，温度采集电路采集的温度信号输送到报警电路，所述温度采集电路由辅助电路提供直流电压。

所述显示电路包括电压显示电路、电流显示电路和频率显示电路。

所述报警电路为过压过流超温报警电路。

所述整流滤波电路由三相整流桥BR1以及电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电容C8、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4、电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8组成，电容C1和电阻R1并联后与电容C2和电阻R2组成的并联电路串联，电容C2和电阻R2组成的并联电路与电容C3和电阻R3组成的并联电路串联，电容C3和电阻R3组成的并联电路与电容C4和电阻R4组成的并联电路串联，电容C5和电阻R5并联后与电容C6和电阻R6组成的并联电路串联，电容C6和电阻R6组成的并联电路与电容C7和电阻R7组成的并联电路串联，电容C7和电阻R7组成的并联电路与电容C8和电阻R8组成的并联电路串联。

本实用新型的技术效果：实时进行交流高压采样和交流电流采样并设置显示电路，增加调试的直观性，减少调试的工作量，提高生产及现场维护的时效，LC谐振网络使得功率器件损耗小，发热量小，稳定性和可靠性得以提高；反馈控制电路能够根据采样电路的采样结果，实时对等离子电源进行闭环控制，保证输出功率稳定；整流滤波电路扩大了电容容量，降低了电容的额定耐压，最终降低了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图；

图2是本实用电路原理示意图。

图中标号分别表示：1-市电输入电路，2-辅助电源电路，3-三相滤波组件，4-整流滤波电路，5-功率变换电路，6-LC谐振网络，7-升压变压器，8-交流高压采样电路，9-交流电流采样电路，10-报警电路，11-反馈控制电路，12-显示电路，13-功率调节电路，14-功率驱动电路。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明：

如图1和图2所示，一种实用的大功率低温等离子电源，包括依次连接的市电输入电路1、三相滤波组件3、整流滤波电路4、功率变换电路5、LC谐振网络6以及升压变压器7，所述市电输入电路1与辅助电源电路2相连接并为辅助电路2充电，市电输入电路1输入的电流依次经过三相滤波组件3、整流滤波电路4、功率变换电路5、LC谐振网络6以及升压变压器7变换后分别引出高压电极和低压电极，在所述升压变压器7的输出端还并联连接有交流高压采样电路8和交流电流采样电路9，交流高压采样电路8和交流电流采样电路9将采集到的信号分别输送到报警电路10、反馈控制电路11以及显示电路12，反馈控制电路11连接功率调节电路13，功率调节电路13连接功率驱动电路14，功率驱动电路14连接到功率变换电路5形成等离子电源的输出控制闭环，所述辅助电路2为等离子电源提供直流电压。

三相滤波组件3由辅助电路2提供直流电压，三相滤波组件3还包括能够对市电输入进行浪涌抑制和延时启动操作的浪涌抑制及延时启动电路。

报警电路10为过压过流超温报警电路，能报警电路能够在电压超过限定值、电流超过限定值以及温度超过限定值时进行报警，升压变压器7为中高频升压变压器，所述升压变压器7的输出端还连接有温度采集电路，温度采集电路采集的温度信号输送到报警电路10，所述温度采集电路由辅助电路2提供直流电压。

显示电路12包括电压显示电路、电流显示电路和频率显示电路，能够分别直观的显示等离子电源输出的电压值、电流值以及频率值。

整流滤波电路4由三相整流桥BR1以及电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电容C8、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4、电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8组成，电容C1和电阻R1并联后与电容C2和电阻R2组成的并联电路串联，电容C2和电阻R2组成的并联电路与电容C3和电阻R3组成的并联电路串联，电容C3和电阻R3组成的并联电路与电容C4和电阻R4组成的并联电路串联，电容C5和电阻R5并联后与电容C6和电阻R6组成的并联电路串联，电容C6和电阻R6组成的并联电路与电容C7和电阻R7组成的并联电路串联，电容C7和电阻R7组成的并联电路与电容C8和电阻R8组成的并联电路串联，此种连接方式在起到整流滤波的效果的同时扩大了电容容量，降低了电容的额定耐压，最终降低了生产成本。

上述实施例仅仅是本实用新型的较佳实施例，并没有用来限定本实用新型的保护范围，在上述技术方案的基础上作出的等同替换或者替代，均属于本实用新型的保护范围。