1.一种覆晶薄膜COF的回收处理装置,其特征在于,包括:
吸附载台,被配置为以真空吸附固定待处理COF;
吹气结构,设置于所述吸附载台的上方,所述吸附载台被配置为从所述待处理COF的保护涂层与连接垫的连接位置处,朝所述连接垫的方向吹出气体。
2.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述吹气结构包括:
主臂,所述主臂的内部设置有第一气体通路,所述第一气体通路连通至一气体供给结构;
与所述主臂连接的至少两个支臂,每一所述支臂的内部分别设置有与所述第一气体通路连通的第二气体通路,且每一所述支臂远离所述主臂的端面上设置有出气口;
其中,所述端面设置于所述连接位置处,所述气体供给结构提供气体,所述出气口朝所述连接垫的方向吹出气体。
3.根据权利要求2所述的回收处理装置,其特征在于,每一所述支臂均通过转轴与所述主臂连接。
4.根据权利要求2所述的回收处理装置,其特征在于,至少两个所述支臂包括第一支臂和第二支臂,其中所述第一支臂上的出气口在所述待处理COF上具有第一正投影,所述第二支臂上的出气口在所述待处理COF上具有第二正投影,所述第一正投影与所述第二正投影关于所述待处理COF的预设中心线对称,所述预设中心线垂直于所述保护涂层到所述连接垫的方向。
5.根据权利要求2所述的回收处理装置,其特征在于,每一所述支臂还包括与所述端面连接的侧面,且所述端面与所述侧面相连接的边缘呈光滑直线;
其中,所述端面设置于所述连接位置处,所述端面与所述侧面相连接的边缘与所述连接位置相抵接,所述端面朝向所述连接垫。
6.根据权利要求5所述的回收处理装置,其特征在于,所述端面与所述侧面之间呈锐角。
7.根据权利要求2所述的回收处理装置,其特征在于,在所述端面上,所述出气口远离所述吸附载台的边缘部分设置有挡板。
8.根据权利要求4所述的回收处理装置,其特征在于,沿所述预设中心线的方向,所述第一支臂上的出气口和所述第二支臂上的出气口的宽度大于或等于M个所述待处理COF的宽度;其中M为大于或等于1的整数。
9.根据权利要求2所述的回收处理装置,其特征在于,所述气体供给结构包括高压干冰气体供给设备。
10.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述回收处理装置还包括:
可移动地设置于所述吸附载台上方的自动光学检测AOI相机。
11.根据权利要求10所述的回收处理装置,其特征在于,所述回收处理装置还包括:
安装于所述吸附载台上的支撑架;
与所述支撑架连接的滑动导轨,所述滑动导轨水平地设置于所述吸附载台的上方,所述AOI相机与所述滑动导轨配合连接。