覆晶薄膜COF的回收处理装置的制作方法

文档序号:18878707发布日期:2019-10-15 18:33阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种覆晶薄膜COF的回收处理装置,该装置包括:吸附载台,被配置为以真空吸附固定待处理COF;吹气结构,设置于所述吸附载台的上方,所述吸附载台被配置为从所述待处理COF的保护涂层与连接垫的连接位置处,朝所述连接垫的方向吹出气体。该装置通过吸附载台吸附固定待处理COF,并利用吹气结构朝待处理COF的连接垫吹出气体,以实现COF的连接垫上ACF的祛除,避免损坏待处理COF,提高COF的回收比率。

技术研发人员:黄腾辉;林仁旭;张正元;曲法新;高佳佳
受保护的技术使用者:合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2018.12.12
技术公布日:2019.10.15

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