弹性波滤波器装置及双工器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具有梯子型电路结构的弹性波滤波器装置，更具体的是涉及基板上搭载有弹性波滤波器芯片的弹性波滤波器装置。
【背景技术】
[0002]以往，作为移动电话机的双工器的发送滤波器，梯子型电路结构的弹性波滤波器被广泛应用。例如在下述的专利文献I中，公开了具有由梯子型电路结构的弹性波滤波器构成的发送滤波器、和由纵耦合谐振器型弹性波滤波器构成的接收滤波器的双工器。
[0003]在专利文献I所述的双工器的发送滤波器中，公开了在串联臂有多个串联臂谐振器。发送端子侧的串联臂谐振器并联地连接着桥接电感。再有，在将串联臂与接地电位连结的并联臂中，在并联臂谐振器与接地电位之间连接着并联臂电感的上述梯子型电路结构的弹性波滤波器芯片，实际上被搭载于基板上。在弹性波滤波器芯片中，多个串联臂谐振器及并联臂谐振器被连接成具有梯子型电路结构。
[0004]另外，上述桥接电感或并联臂电感构成在上述基板。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:JP 特开 2010-109694
【发明内容】
[0008]-发明要解决的技术问题-
[0009]在专利文献I所述的构成中，存在上述弹性波滤波器的通带附近的阻带中的、即发送频带附近的阻带中的衰减量不大的问题。再有，在上述双工器中，接收滤波器的通带、即接收频带中的隔离(isolat1n)并不充分。
[0010]本发明的目的在于，提供一种能够增大通带附近的频带外衰减量的弹性波滤波器
目.0
[0011]本发明的其他目的在于，提供一种发送滤波器的通带附近的频带外衰减量大、且能够改善接收频带中的隔离的双工器。
[0012]-用于解决技术问题的手段-
[0013]本发明涉及的弹性波滤波器装置具备基板和被搭载于基板上的弹性波元件芯片。
[0014]在本发明中，所述弹性波元件芯片构成梯子型滤波器，其具有:被配置于连结输入端与输出端的串联臂的多个串联臂谐振器；和被配置于连接在串联臂与接地电位之间的多个并联臂的每一个的并联臂谐振器。再有，在所述基板设置有:与至少I个所述串联臂谐振器并联地连接的第I电感器、被连接于至少I个所述并联臂谐振器与接地电位之间的第2电感器、以及被设置在所述第I电感器与所述第2电感器之间的屏蔽电极。
[0015]在本发明涉及的弹性波滤波器装置的某一特定方面中，在所述基板上设置有与接地电位连接的接地端子，所述屏蔽电极与所述接地端子电连接。该情况下，因为屏蔽电极被连接于接地电位，所以可以进一步增大频带外衰减量。
[0016]在本发明涉及的弹性波滤波器装置的其他特定方面中，所述屏蔽电极与所述并联臂谐振器的被连接于接地电位的端部电连接。该情况下，可以共用并联臂谐振器的与接地电位连接的端子和屏蔽电极的与接地电位连接的部分。因此，可以减少用于连接于接地电位的端子。
[0017]在本发明涉及的弹性波滤波器装置的另一特定方面中，所述第I电感器与所述第2电感器在所述基板内在横向上被间隔开，所述屏蔽电极被配置在横向上被间隔开的第I电感器与第2电感器之间。该情况下，第I电感器与第2电感器的电磁场耦合被屏蔽电极有效地抑制。
[0018]在本发明涉及的弹性波滤波器装置的其他特定方面中，所述第I电感器与所述第2电感器在所述基板内在所述基板的厚度方向上被间隔开，所述屏蔽电极被配置在厚度方向上被间隔开的所述第I电感器与所述第2电感器之间。该情况下，因为第I电感器与第2电感器在厚度方向上被间隔开，所以可以弹性波减小滤波器装置的平面形状。
[0019]在本发明涉及的弹性波滤波器装置的另一特定方面中，所述第I电感器被并联地连接于最靠近所述输入端及所述输出端中的一方的串联臂谐振器，所述第2电感器被连接于多个所述并联臂谐振器中靠近所述输入端及所述输出端的另一方的一侧的至少一个并联臂谐振器。该情况下，可以疏远第I电感器与第2电感器。因此，可以更有效地抑制电磁场親合。
[0020]在本发明涉及的弹性波滤波器装置的又一特定方面中，分别设置于至少2个并联臂的所述并联臂谐振器的与接地电位连接的端部彼此共用，所述第2电感器被连接在该共用的端部与接地电位之间。该情况下，可以减小与并联臂谐振器连接的第2电感器的电感值。因此，可以实现小型化。再有，可以疏远第I电感器与第2电感器。因此，可以更有效地抑制第I电感器与第2电感器的电磁场耦合。
[0021]本发明涉及的双工器具备:由本发明的弹性波滤波器装置构成的第I滤波器、和通带不同于第I滤波器的第2滤波器。在本发明的双工器中，在第I滤波器中能抑制第I电感器与第2电感器的电磁场耦合造成的影响。因此，可以扩大第I滤波器的通带附近的频带外衰减量，且可以改善第2滤波器的通带中的隔离特性。
[0022]-发明效果-
[0023]根据本发明涉及的弹性波滤波器装置，因为在第I电感器与第2电感器之间设置有屏蔽电极，所以可抑制第I电感器与第2电感器的电磁场耦合，因此可以扩大弹性波滤波器装置的通带附近的频带外衰减量。
【附图说明】
[0024]图1是具有本发明的一实施方式涉及的弹性波滤波器装置的双工器的电路图。
[0025]图2(a)及图2(b)是本发明的一实施方式涉及的弹性波滤波器装置的俯视图及示意性主视图。
[0026]图3(a)?图3(c)是表示被设置在本发明的一实施方式的弹性波滤波器装置所采用的基板的第I层、第2层及第3层上的电极构造的各示意性俯视图。
[0027]图4(a)是表示本发明的一实施方式的弹性波滤波器装置的基板的最下层的电极构造的示意性俯视图，图4(b)是表示被设置在该最下层的抗蚀剂图案的示意性俯视图。
[0028]图5是表示本发明的一实施方式的弹性波滤波器装置及比较例的弹性波滤波器装置的衰减量频率特性的图。
[0029]图6是表示本发明的一实施方式及比较例的双工器的隔离特性的图。
[0030]图7是表示本发明的一实施方式及一实施方式的第I变形例与第2变形例的弹性波滤波器装置的衰减量频率特性的图。
【具体实施方式】
[0031]以下通过参照附图来说明本发明的具体的实施方式，从而使得本发明明了。
[0032]图1是具有本发明的一实施方式涉及的弹性波滤波器装置的双工器的电路图。
[0033]在本实施方式的双工器I中，在天线端子5与发送端子6之间构成有发送滤波器3。在天线端子5与第1、第2接收端子7、8之间连接着接收滤波器4。
[0034]发送滤波器3包括具有梯子型电路结构的弹性波滤波器元件芯片3A。图1中，设为用单点划线包围在弹性波滤波器元件芯片3A内所构成的部分。即，在连结天线端子5与发送端子6的串联臂，多个串联臂谐振器SI?S5被相互串联地连接。多个并联臂被构成为在串联臂与接地电位之间延伸。即，构成分别具有并联臂谐振器P1、P2、P3或P4的并联臂。
[0035]并联臂谐振器Pl?P3的一端被连接于串联臂，另一端被共用。将该被共用的端子设为公共端子3a。公共端子3a与接地电位之间连接着第2电感器L2。连接有第2电感器L2的并联臂谐振器Pl?P3被配置在与发送端子6相反的一侧即天线端子5侦U。
[0036]另一方面，距发送端子6最近的串联臂谐振器S5连接着与串联臂谐振器并联地连接的电感、即桥接电感。该桥接电感为第I电感器LI。
[0037]在发送滤波器3中，输入端为发送端子6，输出端成为天线端子5侧的端部。因此，上述第I电感器LI被配置于输入端侧。再有，与并联臂谐振器Pl?P3连接的第2电感器L2被配置于输出端侧。
[0038]接收滤波器4为平衡型弹性波滤波器，具有作为非平衡端子的天线端子5和作为第1、第2平衡端子的第1、第2接收端子7、8。天线端子5与第I接收端子7之间连接着单端口型谐振器9及第I纵耦合谐振器型弹性波滤波器部10。第I纵耦合谐振器型弹性波滤波器部10与接地电位之间连接着谐振器11。同样，天线端子5与第2接