弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在压电基板上形成了IDT电极的单端口型的弹性波谐振器。此外，本发明涉及具有上述单端口型的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
【背景技术】
[0002]以往，在构成滤波器装置的谐振器等中，声表面波谐振器被广泛使用。在下述的非专利文献1中，公开了在单端口型声表面波谐振器中IDT电极被串联分割的结构。在此，第1IDT电极与第2IDT电极被串联连接。第1、第2IDT电极的面积被设得较大，以使得成为与不分割的情况相同的阻抗。由此，降低了第1、第2IDT电极内的能量密度，并降低了非线性信号所引起的失真。
[0003]另一方面，在下述的专利文献1中，公开了用于提高耐热冲击性的声表面波装置。在该声表面波装置中，在压电基板上构成有2个声表面波谐振器部分。2个声表面波谐振器部分被并联地电连接。即构成第1、第2声表面波谐振器部分的第1、第2IDT电极被并联地电连接。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:JP特开2004-320411号公报
[0007]非专利文献
[0008]非专利文献1:“A Triple-Beat-Free PCS SAW Dup 1 e x e r，”( I EEEUltrason.Symp.，pp.67-70，2012)
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]在非专利文献1所记载的声表面波装置中，能够减小非线性失真。但是，第1、第2IDT电极的面积变大。因此，小型化是很困难的。
[0011]另一方面，在专利文献1所记载的声表面波装置中，以提高耐热冲击性为目的而采用了并联连接结构。在该结构中，即使不增大IDT电极的面积，也能够抑制非线性失真。但是，在专利文献1所公开的并联连接结构中，用于连接第1、第2IDT电极的迂回布线占用较大的空间。因此，小型化同样是很困难的。
[0012]本发明的目的在于提供一种能够抑制非线性失真并且实现小型化的单端口型的弹性波谐振器。
[0013]本发明的另一目的在于提供一种具有能够抑制非线性失真并且实现小型化的弹性波谐振器的弹性波滤波器装置以及双工器。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]本发明所涉及的弹性波谐振器是具有第1端子和第2端子的单端口型的弹性波谐振器。本发明的弹性波谐振器具备:压电基板、形成在上述压电基板上的第1、第2IDT电极、和配置在设置有上述第1、第2IDT电极的部分的两侧的第1、第2反射器。上述第1、第2反射器被上述第1、第2IDT电极共用。
[0016]上述第1IDT电极具有第1汇流条、和与第1汇流条隔开配置的共用汇流条。上述第2IDT电极与第1IDT电极共用上述共用汇流条，并具有与该共用汇流条隔开的第2汇流条。
[0017]上述第1汇流条配置在隔着上述共用汇流条而与上述第2汇流条相反的一侧。
[0018]上述共用汇流条与上述第1反射器电连接，并且与上述第1端子连接。上述第2反射器与上述第1、第2汇流条连接，并且与上述第2端子连接。
[0019]上述第1、第2IDT电极在上述第1、第2端子之间并联地电连接。
[0020]在本发明所涉及的弹性波谐振器的某一特定的局面中，若将上述压电基板的极化方向投影于压电基板面的方向设为投影极化方向，则上述第1IDT电极中的上述第1汇流条与共用汇流条之间的电压施加方向是与上述投影极化方向相同的方向，第2IDT电极中的上述共用汇流条与上述第2汇流条之间的电压施加方向与上述投影极化方向设为反向。
[0021]在本发明所涉及的弹性波谐振器的另一特定的局面中，上述第1、第2反射器具备:多根电极指、连结该多根电极指的一方端部的第1端部汇流条、连结上述多根电极指的另一方端部彼此的第2端部汇流条、和连结上述多根电极指的中间部分的中间汇流条。
[0022]在本发明所涉及的弹性波谐振器的又一特定的局面中，上述第1汇流条与上述第2反射器的第1端部汇流条沿相同方向延伸并且相连而被一体化，上述第2汇流条与上述第2反射器的第2端部汇流条沿相同方向延伸并且相连而被一体化。
[0023]在本发明所涉及的弹性波谐振器的其他特定的局面中，上述共用汇流条与上述第1反射器的上述中间汇流条沿相同方向延伸并且相连。
[0024]本发明所涉及的弹性波滤波器装置具有多个弹性波谐振器，至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
[0025]在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的局面中，上述多个弹性波谐振器构成了梯型电路。
[0026]在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的局面中，上述梯型电路具有多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器，多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器由所述多个弹性波谐振器构成，上述串联臂谐振器以及并联臂谐振器之中的至少一个谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
[0027]本发明所涉及的双工器具有与天线端连接的第1带通滤波器、和与上述天线端连接且通频带与上述第1带通滤波器不同的第2带通滤波器。上述第1带通滤波器以及第2带通滤波器当中的至少一方具有按照本发明构成的弹性波谐振器。
[0028]在本发明所涉及的双工器的其他特定的局面中，第1以及第2带通滤波器当中的至少一方具有多个弹性波谐振器，该多个弹性波谐振器之中最接近上述天线端的一侧的至少一个弹性波谐振器由按照本发明构成的弹性波谐振器构成。
[0029]发明效果
[0030]根据本发明所涉及的弹性波谐振器，能够抑制非线性失真，并且能够实现小型化。
【附图说明】
[0031]图1(a)以及图1(b)是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图以及侧视图。
[0032]图2是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图。
[0033]图3是表示作为本发明的第3实施方式的双工器的电路图。
[0034]图4是表示作为本发明的第4实施方式的双工器的电路图。
[0035]图5是表示作为本发明的第5实施方式的双工器的电路图。
[0036]图6是表示作为本发明的第6实施方式的双工器的电路图。
[0037]图7是表示作为本发明的第7实施方式的双工器的电路图。
[0038]图8是表示对本发明的实施方式所涉及的弹性波谐振器、与第1、第2比较例的弹性波谐振器的二次谐波的响应进行表征的衰减量频率特性的图。
[0039]图9是表示声边界波装置的结构例的正面剖视图。
[0040]图10是第2比较例的弹性波谐振器的俯视图。
【具体实施方式】
[0041 ]以下，通过参照附图对本发明的【具体实施方式】进行说明，使得本发明明了。
[0042]图1(a)是表示本发明的第1实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图，图1(b)是其侧视图。
[0043]弹性波谐振器1是单端口型的弹性波谐振器。在本实施方式中，弹性波谐振器1是利用了声表面波的声表面波谐振器。
[0044]弹性波谐振器1具有压电基板2。在本实施方式中，压电基板2由LiTa03构成。但是，压电基板2也可以通过LiNb03等其他的压电单晶或压电陶瓷来构成。
[0045]压电基板2的极化方向是图1(b)所示的箭头P方向。图1 (a)的投影极化方向Px是将图1 (b)所示的极化方向P投影在压电基板2的主面的方向。
[0046]在压电基板2的上表面2a上，形成了电极结构3。在本实施方式中，该电极结构3由Ti与AlCu合金的层叠结构构成。但是，形成电极结构的金属材料并不限定于Ti/AlCu，能够使用？101^11)1、1^^8、？(1、1、10以及以它们为主体的适当的合金等。此外，电极结构3也可以通过层叠金属膜来形成。
[0047]上述电极结构3具有第1IDT电极4、第2IDT电极5和第1、第2反射器6、7。
[0048]第1IDT电极4具有多根第1电极指4a和多根第2电极指4b。多根第1电极指4a和多根第2电极指4b相互交错插入。
[0049]多根第1电极指4a以及多根第2电极指4b分别在与投影极化方向Px平行的方向上延伸。
[0050]多根第1电极指4a的一端与第1汇流条4c连接。此外，多根第2电极指4b的一端与共用汇流条8电连接。
[0051 ]第2IDT电极5具有多根第3电极指5a和多根第4电极指5b。多根第3电极指5a和多根第4电极指5b相互交错插入。多根第3、第4电极指5a、5b在与投影极化方向Px平行的方向上延伸。
[0052]多根第3电极指5a的一端与共用汇流条8连接。另一端朝向第2汇流条5c侧延伸。
[0053]多根第4电极指5b的一端与第2汇流条5c连接，另一端朝向共用汇流条8侧延伸。
[0054]在本实施方式中，第1汇流条4c、第2汇流条5c以及共用汇流条8在与上述投影极化方向Px正交的方向上延伸。此外，第1汇流条4c以及第2汇流条5c与共用汇流条8平行地延伸。
[0055]在上述电极结构3中，第1IDT电极4和第2IDT电极5隔着上述共用汇流条8而背对背地配置。即，在共用汇流条8的一侧构成了第1IDT电极4，在相反的一侧构成了第2IDT电极5。
[0056]在第1、第2IDT电极4