弹性波谐振器、弹性波滤波器装置以及双工器的制造方法_2

文档序号:9732364阅读:来源:国知局
、5中,共用汇流条8被共用,第1、第2IDT电极4、5背对背地配置。因此,能够实现形成了第1、第2IDT电极4、5的部分的小型化。
[0057]另一方面,第1、第2反射器6、7配置于设置有第1、第2IDT电极4、5的区域的声表面波传播方向两侧。第1、第2反射器6、7在由第1、第2IDT电极4、5分别构成的第1、第2谐振部分中被共用。即,第1、第2反射器6、7被配置为能够反射由第1IDT电极4激励的声表面波以及由第2IDT电极5激励的声表面波。
[0058]更具体来说,第1反射器6具有多根电极指6a和第1、第2端部汇流条6b、6c。多根电极指6a的一端通过第1端部汇流条6b而连结。多根电极指6a的另一端通过第2端部汇流条6c而连结。多根电极指6a位于上述第1、第2IDT电极4、5的侧方。更具体来说,为了如上所述对传播过来的声表面波进行反射,多根电极指6a位于第1、第2IDT电极4、5的电极指交叉部的侧方。
[0059]第2反射器7也与第1反射器6同样地,具有多根电极指7a和第1、第2端部汇流条7b、7c。第2反射器7也被设置为对由第1、第2IDT电极4、5激励的声表面波进行反射。
[0060]然而,本实施方式的弹性波谐振器1是具有第1端子9和第2端子10的单端口型的弹性波谐振器。上述共用汇流条8与第1反射器6电连接。即,在本实施方式中,共用汇流条8向第1反射器6侧延伸,与第1反射器6的电极指6a的中间部分连结。而且,第1端子9与该共用汇流条8以及第1反射器6电连接。
[0061]另一方面,在本实施方式中,第1汇流条4c与第2反射器7的第1端部汇流条7b相连而被一体化。同样地,第2汇流条5c也与第2端部汇流条7c相连而被一体化。在本实施方式中,第1汇流条4c与第1端部汇流条7b以相同宽度沿相同方向延伸,并且相连而被一体化。第2汇流条5c与第2端部汇流条7c也以相同宽度沿相同方向延伸,并相连而被一体化。而且,第2端子10与该第2反射器7以及第1、第2汇流条4c、5c连接。
[0062]因此,在第1端子9与第2端子10之间,第1IDT电极4与第2IDT电极5并联地电连接。并且,第1IDT电极4中的第1汇流条4c与共用汇流条8之间的电压施加方向VI和第2IDT电极5中的共用汇流条8与第2汇流条5c之间的电压施加方向V2如图所示设为反向。更具体来说,上述电压施加方向VI是与投影极化方向Px相同的方向,上述电压施加方向V2与投影极化方向Px设为反向。
[0063]在本实施方式的弹性波谐振器1中,由于如上述那样构成,因此能够抑制非线性失真,并且能够实现小型化。参照图8对此具体进行说明。
[0064]图8的实线是按以下规格对上述弹性波谐振器1进行了制作的情况下的表示产生非线性失真的二次谐波的响应的衰减量频率特性。
[0065]弹性波谐振器1的规格:
[0066]IDT电极4、5:电极材料〔Ti/AlCu膜,厚度30/380(nm)的层叠结构〕。电极指的对数=〔80对〕。电极指交叉宽度=〔50ym)。共用汇流条8的宽度方向尺寸=〔15μπι〕。第1、第2汇流条4c、5c的宽度方向尺寸=〔15μπι〕。第1、第2反射器6、7中的电极指6a、7a的根数=各15根。第1、第2端部汇流条6b、6c、7b、7c的宽度方向尺寸=〔15μπι)ο
[0067]为了进行比较,准备了以下的第1以及第2比较例。第1比较例:准备了不进行并联分割而在1个IDT电极的两侧配置了反射器的通常的单端口型弹性波谐振器。将IDT电极的电极指交叉宽度设为ΙΟΟμπι,未对IDT电极进行并联分割,未将两侧的反射器与IDT电极进行电连接,除了这些构成以外与上述实施方式相同。
[0068]第2比较例:制作了图10所示的电极结构的弹性波谐振器101。在图10所示的弹性波谐振器101中,与弹性波谐振器1同样地,IDT电极104、105在第1、第2端子109、110之间被并联连接。但是,通过迂回布线106来连接第11DT电极104以及第21DT电极105的各一方的汇流条,并与第1端子109连接。此外,通过迂回布线107来共同连接第1、第2IDT电极104、105的各另一方的汇流条,该迂回布线107被设置为包围设置了 IDT电极104、105的部分。将该迂回布线107与第2端子110连接。其他构成与上述实施方式相同。
[0069]图8的虚线表示上述第1比较例的结果。此外,单点划线表示上述第2比较例的结果Ο
[0070]从图8可知,与第1比较例相比,根据具有并联反转连接结构的第2比较例以及上述实施方式,能够有效地抑制二次谐波的响应。尤其可知,根据上述实施方式,即使与第2比较例相比,也能够抑制二次谐波的响应,即能够更有效地抑制二次非线性失真。相对于第2比较例而言非线性失真之所以得到了改善,可以认为是通过共用了汇流条,由此在2个IDT间产生波动的耦合从而结构的对称性得到了改善的缘故。
[0071]另一方面,对图10与图1(a)进行比较可知,在第2比较例中,必须设置会占据较大面积的迂回布线。此外,第1、第2IDT电极的汇流条未进行共同化,反射器也按照第1、第2IDT电极104、105单独地设置。因此可知,压电基板上的电极结构形成面积非常大。相对于此,在上述实施方式的弹性波谐振器1中,能够实现电极结构3的小型化。即,可知能够有效地抑制非线性失真,并且能够大幅实现弹性波谐振器的小型化。
[0072]图2是本发明的第2实施方式所涉及的弹性波谐振器的俯视图。在第2实施方式的弹性波谐振器中,第1、第2反射器6、7具有中间汇流条6d、7d。其他点与第1实施方式相同。因此,通过对同一部分标注相同的参照编号来省略其说明。在本实施方式中,中间汇流条6d、7d分别设置为连结多根电极指6a、7a的中间部分。因此,增加了经过第1、第2反射器6、7而到达第1、第2端子9、10的电流路径。因而,与第1实施方式相比,根据第2实施方式,能够降低电极指的电阻所引起的传输信号的损失。
[0073]另外,在第1、第2实施方式中,第1汇流条4c以及第2汇流条5c分别以与第1、第2端部汇流条7b、7c相同的宽度沿相同方向延伸。但是,在本发明中,第1汇流条4c以及第2汇流条5c无需是与第1、第2汇流条7b、7c相同的宽度。
[0074]此外,第1汇流条4c、第2汇流条5c也可以沿与第1、第2端部汇流条7b、7c不同的方向延伸。
[0075]但是,优选的是,如上所述,期望以相同宽度沿相同方向延伸,由此能够实现进一步的小型化。
[0076]共用汇流条8虽然与第1、第2汇流条4c、5c平行地延伸,但也可以是不平行的。
[0077]进而,期望形成了第1反射器6以及第2反射器7、和IDT电极4、5的区域,即形成了由它们构成的电极结构3的区域如图1(a)所示,形成矩形的区域。由此,能够进一步实现小型化。
[0078]接着,说明作为本发明的第3?第7实施方式的双工器。
[0079]图3是作为本发明的第3实施方式的双工器的电路图。在双工器31中,天线32连接了天线端子33。天线端子33连接了第1带通滤波器34与第2带通滤波器35的各一端。在本实施方式中,第1带通滤波器34构成了便携式电话机的发送滤波器,第2带通滤波器35构成了接收滤波器。即,第2带通滤波器35的通频带与第1带通滤波器34的通频带不同。
[0080]在第3实施方式中,第1带通滤波器34具有多个串联臂谐振器S1?S4以及多个并联臂谐振器P1、P2。即,构成了梯型电路。
[0081]多个串联臂谐振器S1?S4以及多个并联臂谐振器P1、P2由弹性波谐振器构成。在本实施方式中,这些弹性波谐振器之中最接近天线端子33的串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1由上述实施方式的弹性波谐振器1构成。因此,能够有效地抑制非线性失真,并且能够实现由弹性波滤波器装置构成的第1带通滤波器34的小型化,进而实现双工器31的小型化。
[0082]另外,在双工器31中,在第1带通滤波器34中,串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1由上述实施方式的弹性波谐振器1构成,但也可以仅串联臂谐振器S1由上述弹性波谐振器1构成。进而,也可以多个串联臂谐振器S1?S4以及并联臂谐振器P1、P2全都由上述弹性波谐振器1构成。即,只要多个弹性波谐振器之中的至少一个由本发明的弹性波谐振器构成即可。
[0083]但是,在双工器31的第1带通滤波器34中,期望在最接近合成端侧的弹性波谐振器中抑制非线性失真。因此,如上述实施方式那样,期望作为串联臂谐振器S1以及并联臂谐振器P1而使用上述实施方式的弹性波谐振器1。在该情况下,也可以仅对于最接近天线端子33的串联臂谐振器S1使用上述弹性波谐振器1。
[0084]在图4所示的作为第4实施方式的双工器41中,第1带通滤波器34与第3实施方式的双工器31同样地构成。在此,第2带通滤波器35具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42、和弹性波谐振器43、44。弹性波谐振器43被连接在纵耦合谐振器型弹性波滤波器42与天线端子33之间,弹性波谐振器44被连接在弹性波谐振器43和纵耦合谐振器型弹性波滤波器42间的连接点、与接地电位之间。
[0085]在这样的具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器42的第2带通滤波器35中,也期望通过上述弹性波谐振器1来构成上述弹性波谐振器43、44之中的至少一方。由此,能够抑制第2带通滤波器35中的非线性失真。在该情况下,也可以仅弹性波谐振器43由弹性波谐振器1构成。此外,也可以仅弹性波谐振器
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