积分时，受监控的第一特性仍会趋向于下降到固定或稳态保护限制以下，因为在点火时期期间增大的功率极为短暂。
[0079]替代地，可以使用可变保护限制，并且可变保护限制在点火时期期间可以暂时升高(例如，在功率传送的开始时)，如较早在图3B、4B、5B和6B中所述和所示的。无论如何，将经滤波的第一特性与保护限制相比较(决定1008)，并且如果经滤波的第一特性等于或大于保护限制，那么该方法就可以降低来自平衡放大器的功率(框1010)，以使得经滤波的/积分的第一特性下降到保护限制以下。如果经滤波的/积分的第一特性已经在保护限制以下，那么方法1000就循环回到监控(框1004)。尽管示出为无限循环，但直到除了与由决定1008所指定的之外需要功率的降低(例如，处理运行的结束或功率脉冲的结束)才持续方法1000。在一些实施例中，可以直到点火时期的结束时或直到指示等离子体已经点火或再点火才执行方法1000，并且随后可以实施与稳态保护限制的比较，或者可以使用持续积分/滤波方法。不管怎样，一旦点火或再点火了等离子体，就不必实施此方法1000。
[0080]尽管本公开内容大量使用其中保护限制是反射功率保护限制的示例，但本领域技术人员会认识到本文公开的系统、方法和装置可以同样应用于其它类型的保护限制。例如，晶体管结温度和耗散功率是可以使用的两个其它保护限制。本公开内容还集中在其中仅使用单一保护限制的示例上。但本领域技术人员也会认识到在不脱离本公开内容的范围的情况下可以使用多于一个的保护限制。
[0081]除了本文所述的特定物理设备以外，本文所述的系统和方法还可以在计算机系统中实施。图11示出了计算机系统1100的一个实施例的图解表示，在计算机系统1100内可以执行指令集，该指令集用于使得设备完成或执行本公开内容的方面和/或方法中的任意一个或多个。用于平衡放大器的控制器是计算机系统110的一个示例。图11中的部件仅是示例，而不限制实施本公开内容的特定实施例的任何硬件、软件、固件、嵌入式逻辑部件或者两个或多个这些部件的组合的使用或功能的范围。部分或全部的所示部件可以是计算机系统1100的部分。例如，仅举两个非限制性示例，计算机系统1100可以是通用计算机(例如，膝上型计算机)或嵌入式逻辑器件(例如，FPGA)。
[0082]计算机系统1100包括至少一个处理器1101，仅举两个非限制性示例，诸如中央处理单元(CPU)或FPGA。用于控制保护限制和平衡放大器的脉冲特性的控制器是处理器1101的一个实现方式。例如，处理器1101可以实施为测量和控制系统810或1210。计算机系统1100还可以包括存储器1103和储存器1108，二者经由总线1140彼此通信并与其它部件通信。例如，存储器1103可以存储用于功率调节部件804和/或平衡放大器806的保护限制、脉冲频率和功率设定点。总线1140还可以将显示器1132、一个或多个输入设备1133(其可以例如包括小键盘、键盘、鼠标、触针等)、一个或多个输出设备1134、一个或多个储存设备1135和多个非暂时性有形计算机可读储存介质1136彼此进行链接，并与处理器1101、存储器1103和储存器1108中的一个或多个进行链接。所有这些元件都可以直接或经由一个或多个接口或适配器连接到总线1140。例如，多个非暂时性有形计算机可读储存介质1136可以经由储存介质接口 1126与总线1140连接。计算机系统1100可以具有任意适合的物理形式，包括但不限于一个或多个集成电路(1C)、印刷电路板(PCB)、嵌入式控制系统、功率调节子系统、移动手持设备(诸如移动电话或PDA)、膝上型计算机或笔记本计算机、分布式计算机系统、计算网格或服务器。
[0083]处理器1101(或中央处理单元(CPU))可选地包含用于对指令、数据或计算机地址进行暂时本地储存的高速缓冲存储器单元1102。处理器1101可以被配置为辅助存储在至少一个非暂时性有形计算机可读储存介质上的计算机可读指令的执行。计算机系统1100可以作为处理器1101执行在一个或多个非暂时性有形计算机可读储存介质中实施的软件的结果而提供功能，一个或多个非暂时性有形计算机可读储存介质诸如是存储器1103、储存器1108、储存设备1135、和/或储存介质1136(例如，只读存储器(ROM))。例如，用以实现图3B、4B、5B和6B中所见到的功率与时间的关系的曲线图的方法可以在一个或多个非暂时性有形计算机可读储存介质中实施。非暂时性有形计算机可读储存介质可以存储实施特定实施例的软件，诸如用以实现图3B、4B、5B和6B中所示的功率与时间的关系的曲线图的方法可以执行软件。存储器1103可以通过诸如网络接口 1120的适合接口从一个和多个其它非暂时性有形计算机可读储存介质(诸如，大容量储存设备1135、1136)或从一个和多个其它源读取软件。软件可以使得处理器1101执行本文所述或所示的一个或多个过程或者一个或多个过程中的一个或多个步骤。执行这种过程或步骤可以包括定义存储在存储器1103中的数据结构，并且如软件所指示地修改数据结构。在一些实施例中，FPGA可以存储用于执行如本公开内容中所述的功能(例如，用以实现图3B、4B、5B和6B中所示的功率与时间的关系的曲线图的方法)的指令。在其它实施例中，固件包括用于执行如本公开内容中所述的功能(例如，用以实现图3B、4B、5B和6B中所示的功率与时间的关系的曲线图的方法)的指令。
[0084]存储器1103可以包括多个部件(例如，机器可读介质)，包括但不限于随机存取存储器部件(例如，RAM 1104)(例如，静态RAM “SRAM”、动态RAM “DRAM”等)、只读部件(例如，ROM 1105)及其任何组合。ROM 1105可以操作以向处理器1101单向传送数据和指令，并且RAM 1104可以操作以与处理器1101双向传送数据和指令。ROM 1105和RAM 1104可以包括下述的任何适合的非暂时性有形计算机可读储存介质。在一些实例中，ROM 1105和RAM 1104包括用于执行用以实现图3B、4B、5B和6B中所示的功率与时间的关系的曲线图的方法的非暂时性有形计算机可读储存介质。在一个示例中，在存储器1103中可以存储基本输入/输出系统1106 (B1S)，包括基本例程，其有助于诸如在启动期间在计算机系统1100内的元件之间传递信息。
[0085]固定储存器1108可选地通过储存控制单元1107双向连接到处理器1101。固定储存器1108提供额外的数据储存容量，并且还可以包括本文所述的任何适合的有形计算机可读储存介质。储存器1108可以用于存储操作系统1109、EXEC 1110 (可执行文件)、数据1111、API应用1112(应用程序)等。例如，储存器1108可以实施为储存用于执行用以实现图3B、4B、5B和6B中所示的功率与时间的关系的曲线图的方法的指令。通常，尽管未必总是，储存器1108是辅助储存介质(诸如，硬盘)，其比主储存器(例如，存储器1103)慢。存储器1108还可以包括光盘驱动器、固态存储设备(例如，基于闪存的系统)或任意上述的组合。储存器1108中的信息在适当的情况下可以作为虚拟存储器并入存储器1103中。
[0086]在一个示例中，储存设备1135可以经由储存设备接口 1125可移动地与计算机系统1100连接(例如，经由外部端口连接器(未示出))。具体而言，储存设备1135及相关机器可读介质可以为计算机系统1100提供机器可读指令、数据结构、程序模块和/或其它数据的非易失性和/或易失性储存。在一个示例中，软件可以完全或部分地驻留在储存设备1135上的机器可读介质内。在另一个示例中，软件可以完全或部分地驻留在处理器1101内。
[0087]总线1140连接各种子系统。在适当情况下，在此对于总线的提及可以包含为服务常用功能的一个或多个数字信号线。总线1140可以是几类总线结构的任意一个，包括但不限于使用各种总线架构的任意一个的存储器总线、存储器控制器、外围总线、局部总线及其任意组合。示例性地而非限制性地，这种架构包括工业标准架构(ISA)总线、增强ISA(EISA)总线、微通道架构(MCA)总线、视频电子标准协会局部总线(VLB)、外围部件互连(PCI)总线、PC1-Express (PC1-X)总线、加速图形端口(AGP)总线、超传输(HTX)总线、串行高级技术附件(SATA)总线及其任意组合。
[0088]计算机系统1100还可以包括输入设备1133。在一个示例中，计算机系统1100的用户可以经由输入设备1133将命令和/或其它信息输入到计算机系统1100中。输入设备1133的示例包括但不限于字母数字输入设备(例如，键盘)、定点设备(例如，鼠标或触摸板)、触摸板、操纵杆、游戏手柄、音频输入设备(例如，麦克风、语音响应系统等)、光学扫描器、视频或静止图像捕获设备(例如，相机)及其任意组合。输入设备1133可以经由各种输入接口 1123中的任意一种(例如，输入接口 1123)连接到总线1140，各种输入接口 1123包括但不限于串行、并行、游戏端口、USB、FIREWIRE、THUNDERBOLT或以上的任意组合。
[0089]在特定实施例中，当计算机系统1100连接到网络1130时，计算机系统1100可以与连接到网络1130的其它设备(诸如移动设备和企业系统)进行通信。往来于计算机系统110的通信可以通过网络接口 1120发送。例如，网络接口 1120可以从网络1130接收以一个或多个分组形式(例如网际协议(IP)包)的传入通信(诸如来自其它设备的请求或应答)，以及计算机系统1100可以在存储器1103中存储传入通信以便进行处理。计算机系统1100可以在存储器1103中以一个或多个分组的形式类似地存储传出通信(诸如，到其它设备的请求或应答)，并从网络接口 1120传送到网络1130。处理器1101可以访问存储在存储器1103中的这些通信分组以便进行处理。
[0090]网络接口 1120的示例包括但不限于网络接口卡、调制解调器及其任意组合。网络1130或网段1130的示例包括但不限于广域网(WAN)(例如，互联网、企业网)、局域网(LAN)(例如，与办公室、建筑、校园或其它相对小的地理空间相关的网络)、电话网络、在两个计算设备之间的直接连接及其任意组合。诸如网络1130的网络可以使用通信的有线和/或无线模式。通常可以使用任意网络拓扑结构。
[0091]可以通过显示器1132显示信息和数据。