一种高浓度等离子体放电装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种高浓度等离子体放电装置。
【背景技术】
[0002]现有技术中，普通等温高浓度等离子体放电装置采用的是尖端放点，因为只有在电极的尖端部分生成低温等离子体，而占绝大部分的非尖端部分却无法产生等离子体，所以产生的等离子体浓度较低，而且在电极的尖端部位由于电极的集中放电现象，在只有尖端的部分产生等离子体而其他部位难以产生等离子体，故产生的等离子体浓度较低。
[0003]由于传统的锯齿形电极或其他尖端电极的加工难度较大，制作成本也相应较高。
[0004]传统的电极因尖端放电的点较少，电流的特殊特性决定，当一个点作为电极产生等离子体时，如果距离控制不准确或电气参数调整时很容易形成局部电流过大产生电弧或火花，存在一定的安全隐患。
[0005]传统电极材质很容易发生钝化，寿命有限。
【发明内容】
[0006]本实用新型要解决的技术问题是提供一种低成本高浓度等离子体放电装置。
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:一种高浓度等离子体放电装置，包括放电模块、框架和电源；复数个放电模块以平铺形式排列在框架的内部，与放电模块相适配且连接的电源设置在框架上；放电模块包括边框、正电极、负电极和保护盖；边框由上边框、下边框、左边框、右边框构成一矩形框体；正电极为长条状金属体，且长条状金属体侧面沿其长度方向设有至少2条以锐角突起的直棱；复数根正电极按设定间距相互平行排列，每根正电极的两端分别与相对的左边框和右边框连接，其中正电极的一端通过绝缘体螺钉与左边框连接，正电极的另一端通过导电体螺钉与设在右边框上的正极连接板连接，正极连接板设有连接电源正极的接头；负电极为长条板状金属体，复数根负电极设在相邻两根正电极的间隙中且相互平行排列，每根负电极的两端分别与相对的左边框和右边框连接，其中负电极的一端通过绝缘体螺钉与右边框连接，负电极的另一端通过导电体螺钉与设在左边框上的负极连接板连接，负极连接板设有连接电源负极的接头；正极连接板与负极连接板分别设在相对的左右边框上；在左边框和右边框的外侧各固定一保护盖，保护盖内凹分别将正极连接板和负极连接板遮挡在保护盖内腔中。
[0008]作为优选，正电极的侧面设有4条直棱，并且正电极4条直棱均为其横截面上锐角的顶点。
[0009]作为优选，正电极采用钛合金材料制成。
[0010]作为优选，负电极采用不锈钢材料制成。
[0011]作为优选，边框用阻燃改性PET材料制成。
[0012]作为优选，绝缘体螺钉为PVDF材料制成的螺钉。
[0013]本实用新型的有益效果是:
[0014]电极设计是电极尖端形成一个面，和局部尖端放电相比较极大地增加了等离子体发生量；且电极的前后两个面均能均匀的产生等离子体，从而等离子体浓度极大提高。
[0015]正负电极平行设置，当气体经过该装置时，所有的气体均能被激发成等离子体，几乎没有遗漏；而普通的等离子体发生装置只能局部的产生等离子体，所以有很大部分气体被遗漏。
[0016]结构简单，加工难度小，故成本相对较低。
[0017]模块化设计，电极数量可根据实际情况增减单层的电极数量来调整等离子体发生的量，装配容易。
【附图说明】
[0018]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0019]图1是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的总体装配图。
[0020]图2是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的放电模块主视图。
[0021]图3是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的放电模块右视图。
[0022]图4是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的放电模块左视图。
[0023]图5是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的保护盖结构示意图。
[0024]图6是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的正电极结构示意图。
[0025]图7是本实用新型高浓度等离子体放电装置实施例的正电极横截面示意图。
[0026]图中标记:1-保护盖，2-PVDF螺钉，3_左边框，4_正电极，401-直棱，402-螺孔，5-负电极，6-上边框，7-金属螺钉，8-右边框，9-正极连接板，10-负极连接板，11-放电模±夬，12-框架，13-电源。
【具体实施方式】
[0027]图1是一种用于处理大流量有机废气的高浓度等离子体放电装置，由放电模块
11、框架12和电源13组成。复数个放电模块相邻并整齐排列在框架12的内部，与每个放电模块相适配且连接的电源13设置在框架的一侧。
[0028]如图2所示，放电模块由边框、正电极4、负电极5和保护盖I组成。其中边框由上边框6、下边框、左边框3、右边框8构成一个矩形的框体。
[0029]如图6所示，单个的正电极4是一根长条状金属体，长条状金属体为矩形，在矩形侧面沿长条状金属体长度方向设有4条突起的直棱401，从长条状金属体的横截面上看，4条突起直棱位于矩形的四角且均突出为锐角(图7)。在正电极4的两端端面设有两个用于安装的螺孔402。
[0030]装配成为放电模块11时，将多根正电极按设定间距相互平行排列，每根正电极的两端用螺钉分别与相对的左边框3和右边框8连接，其中正电极的左端通过PVDF螺钉2与左边框3连接，正电极的右端通过导电体螺钉与嵌在右边框8外侧的正极连接板9连接，正极连接板9设有连接电源正极的接头。在图3中，并排设有两根正电极，从上到下形成两列并列的正电极，每列正电极各连接一根正极连接板，因此在右边框的外侧可以看到嵌有两根正极连接板9。
[0031]单个负电极5为一条平板状的金属体，装配时，在相邻两根正电极的间隙中设有一条负电极5，多条负电极也相互平行排列，每条负电极的两端分别用3个螺钉固定在左边框和右边框上，其中负电极的一端用PVDF螺钉与右边框8连接，负电极的另一端用导电体螺钉与嵌在左边框外侧的负