光扫描装置和图像形成装置制造方法

光扫描装置和图像形成装置制造方法
【专利摘要】光扫描装置包括：MEMS镜(11)；驱动部(17)，利用以基本周期T变动的驱动电压使MEMS镜(11)振动；光检测部(43)，接收由MEMS镜(11)偏转的激光(LB)来输出检测信号；校正值计算部(51)，基于输出检测信号的时机，计算在校正驱动电压时使用的校正电压值；直流电压生成部(52)，生成电压值低于校正电压值的直流电压；直流电压放大部(53)，将由直流电压生成部(52)生成的直流电压放大成与校正电压值相等的电压值；以及波形整形部(54)，将放大的直流电压的波形整形成以基本周期T变动，使其作为驱动电压向驱动部(17)输出。
【专利说明】光扫描装置和图像形成装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种具备使扫描用的激光偏转的MEMS镜的光扫描装置以及具备该光扫描装置的图像形成装置。
【背景技术】
[0002]以往，作为使扫描用的激光向感光体偏转的反射镜，已知的是往复振动的MEMS (Micro Electro Mechanical Systems:微机电系统)镜(例如参照专利文献I)。在专利文献I的图3中，附图标记8表示MEMS镜，附图标记a、b、C、d表示作为使MEMS镜8振动的驱动源的压电体。通过将驱动源a、b以相同相位进行驱动，将驱动源C、d以与驱动源a、b相反的相位进行驱动，使MEMS镜8产生扭转振动。由此，使入射到MEMS镜8的激光反射偏转来进行扫描。
[0003]另外，在专利文献I的图2中，记载了用于使驱动源a、b、C、d驱动的驱动电路的框图。在该专利文献I的图2中，由振荡器121a生成正弦波，该正弦波被输入到相位反转电路(phase inversion circuit) 121b 和相位移位器(phase shifter) 121c。在相位移位器121c，生成图像信号与MEMS镜8的相位已被调整为相互对应的信号。然后，该信号通过放大器121e被放大电压后提供至驱动源a、b。另外，由振荡器121a生成的正弦波通过相位反转电路121b而相位反转，并经由相位移位器121d和放大器121f提供至驱动源c、d。
[0004]另外，在专利文献2中记载了如下技术:将镜的驱动部构成为一个具备线圈和永久磁铁的电磁致动器，利用使电流流过线圈时作用于永久磁铁的转矩，使镜振动。该技术也与所述专利文献I同样，采用由任意波形发生器产生正弦波之后通过放大器放大该正弦波的结构。
[0005]另外，在专利文献2中公开了由于环境变化、经时变化而变化的镜的位移角(偏转角)的校正技术。在该校正技术中，将接收被镜偏转的扫描光的受光元件配置在规定位置，取入该受光元件的输出，调整由任意波形发生器产生的正弦波的相位和振幅，使得扫描光在期望的时刻通过受光元件。
[0006]然而，所述专利文献I和专利文献2所记载的能够生成正弦波的振荡器或能够正确地放大正弦波的放大器的价格高。特别是如所述专利文献2所记载的那样的能够改变相位和振幅来生成正弦波的振荡器的价格更高。因此，在构成具备MEMS镜的、能够校正用于驱动MEMS镜的驱动电压从而补偿MEMS镜的偏转角的变化的光扫描装置或图像形成装置时，在成本方面有改善的余地。
[0007]专利文献1:日本专利公开公报特开2004-177543号
[0008]专利文献2:日本专利公开公报特开2008-40460号公报

【发明内容】

[0009]本发明的目的在于，廉价地提供对所述MEMS镜的驱动电压进行校正从而补偿使扫描用的激光偏转的MEMS镜的偏转角的变化的光扫描装置以及具备该光扫描装置的图像形成装置。
[0010]本发明的一方面所涉及的光扫描装置包括:光源；MEMS镜，使从所述光源输出的激光偏转；驱动部，利用以预先指定的基本周期变动的驱动电压使所述MEMS镜摇动；光检测部，在预先规定的位置接收由所述MEMS镜偏转的激光，输出表示接收了激光的检测信号；校正值计算部，基于由所述光检测部输出所述检测信号的时机计算校正电压值，所述校正电压值是在为了补偿所述MEMS镜的偏转角的变化而校正所述驱动电压时所使用的电压值；直流电压生成部，生成电压值低于所述校正电压值的直流电压；直流电压放大部，将由所述直流电压生成部生成的直流电压放大成与所述校正电压值相等的电压值；以及波形整形部，将由所述直流电压放大部放大的直流电压的波形整形成以所述基本周期变动，并将其作为所述驱动电压输出到所述驱动部。
[0011]根据该结构，由直流电压生成部生成电压值低于校正电压值的直流电压，所生成的直流电压通过直流电压放大部被放大成与校正电压值相等的电压值。然后，放大的直流电压的波形通过波形整形部被整形成以预先指定的基本周期变动，以基本周期变动的交流电压作为驱动电压输出到驱动部。
[0012]也就是说，无需具备可改变相位和振幅来生成正弦波的振荡器以及可正确地放大正弦波的放大器，而利用简单且廉价的直流电压生成部和直流电压放大部就能够驱动MEMS镜，而且能够校正驱动MEMS镜时的驱动电压从而补偿MEMS镜的偏转角的变化。由此，能够廉价地提供这样一种光扫描装置，即，其对驱动MEMS镜所需的驱动电压进行校正，从而补偿使扫描用的激光偏转的MEMS镜的偏转角的变化。
[0013]本发明的其它方面所涉及的图像形成装置具备:所述光扫描装置；以及图像形成部，包括由所述光扫描装置形成潜像的感光体，将与所述潜像相对应的图像形成在纸上。
[0014]本发明的目的、特征以及优点通过以下的详细说明和附图会变得更加明确。
【专利附图】

【附图说明】
[0015]图1是表示作为应用了本发明所涉及的光扫描装置的图像形成装置的一例的复合机的概要剖视图。
[0016]图2是表不复合机的电气结构的一例的框图。
[0017]图3是表示构成本发明的第一实施方式所涉及的曝光部的光学部件的配置关系的图。
[0018]图4是表不第一实施方式所涉及的光偏转部的原理的图。
[0019]图5是沿着V-V线剖切了图4所示的光偏转部的剖视图。
[0020]图6是表示在与图5相同的剖面中一侧的镜驱动部的PZT薄膜伸展、而另一侧的镜驱动部的PZT薄膜收缩的状态的图。
[0021]图7是表示第一实施方式所涉及的曝光部的结构的框图。
[0022]图8是表示镜部的偏转角以及从BD传感器输出的检测信号的时间变化的图。
[0023]图9的部分(a)是表示输入放大器和波形整形部的直流电压的电压值的变化的图，部分(b)是表示输入镜驱动部(第一驱动部)的直流电压的电压值的变化的图，部分
(c)是表示输入镜驱动部(第二驱动部)的直流电压的电压值的变化的图。
[0024]图10是表示与输入镜驱动部的直流电压的电压值的变化相对应的镜部的偏转角的变化的图。
[0025]图11是表示第一实施方式的变形例所涉及的曝光部的结构的框图。
[0026]图12的部分(a)是表示与由校正值计算部计算的校正占空比相对应的、输入镜驱动部(第一驱动部)的直流电压的电压值的变化的图，部分(b)是表示与所述校正占空比相对应的、输入负载中的直流电压的电压值的变化的图，部分(C)是表示与所述校正占空比相对应的、输入镜驱动部(第二驱动部)的直流电压的电压值的变化的图。
[0027]图13是表示构成本发明的第二实施方式所涉及的曝光部的光学部件的配置关系的图。
[0028]图14是表示第二实施方式所涉及的光偏转部的原理的图。
[0029]图15A是沿着XVA-XVA线剖切了图14所示的光偏转部的剖视图。
[0030]图15B是沿着XVB-XVB线剖切了图14所示的光偏转部的剖视图。
[0031]图16A是表示在与图15A相同的剖面中一侧的镜驱动部的PZT薄膜伸展、而另一侧的镜驱动部的PZT薄膜收缩的状态的图。
[0032]图16B是表示在与图15B相同的剖面中一侧的镜驱动部的PZT薄膜伸展、而另一侧的镜驱动部的PZT薄膜收缩的状态的图。
[0033]图17是表示可动框架以及镜部的偏转角的时间变化的图。
[0034]图18是表示第二实施方式所涉及的曝光部的结构的框图。
[0035]图19的部分(a)是表示输入第一放大器和基本波形整形部中的直流电压的电压值的变化的图，部分(b)是表示输入镜驱动部(第一驱动部)的直流电压的电压值的变化的图，部分(c)是表示输入镜驱动部(第二驱动部)的直流电压的电压值的变化的图。
[0036]图20是表示与输入镜驱动部(第一驱动部和第二驱动部)的直流电压的电压值的变化相对应的可动框架的偏转角的变化的图。
[0037]图21的部分(a)是表示输入第二放大器和叠加波形整形部中的直流电压的电压值的变化的图，部分(b)是表示输入镜驱动部(第三驱动部)的直流电压的电压值的变化的图，部分(c)是表示输入镜驱动部(第四驱动部)的直流电压的电压值的变化的图。
[0038]图22是表示与输入镜驱动部(第三驱动部和第四驱动部)的直流电压的电压值的变化相对应的、镜部的偏转角相对于可动框架的相对变化的图。
[0039]图23是表示被整形为矩形波的基本驱动电压的时间变化、该矩形波的基本波与三倍谐波的关系的图。
[0040]图24是表示第二实施方式的变形例I所涉及的曝光部的结构的框图。
[0041]图25的部分(a)是表示与由校正值计算部计算的基本校正占空比相对应的、输入镜驱动部(第一驱动部)的直流电压的电压值的变化的图，部分(b)是表示与所述基本校正占空比相对应的、输入负载中的直流电压的电压值的变化的图，部分(C)是表示与所述基本校正占空比相对应的、输入镜驱动部(第二驱动部)的直流电压的电压值的变化的图。
[0042]图26是表示第二实施方式的变形例2所涉及的曝光部的结构的框图。
[0043]图27的部分(a)是表示与由校正值计算部计算的叠加校正占空比相对应的、输入镜驱动部(第三驱动部)的直流电压的电压值的变化的图，部分(b)是表示与所述叠加校正占空比相对应的、输入负载中的直流电压的电压值的变化的图，部分(C)是表示与所述叠加校正占空比相对应的、输入镜驱动部(第四驱动部)的直流电压的电压值的变化的图。【具体实施方式】
[0044]图1是应用了本发明所涉及的光扫描装置的复合机(图像形成装置)的概要剖视图。复合机I例如兼具复印、打印以及扫描等多种功能。复合机I具备主体部100、配置于主体部100上的原稿读取部200、配置于原稿读取部200上的原稿供给部300以及配置于主体部100的上部前面的操作部400。
[0045]原稿供给部300作为自动原稿供给装置发挥功能，能够将载置于原稿载置部301的多张原稿连续地向原稿读取部200送出。
[0046]原稿读取部200具备搭载了 CCD(Charge Coupled Device:电荷稱合器件)传感器和LED(Light Emitting Diode:发光二极管)等的支架201、由玻璃等透明构件构成的原稿台203以及原稿读取切口 205。当要读取载置于原稿台203的原稿时，一边使支架201在原稿台203的长边方向上移动一边通过CCD传感器读取原稿。而当要读取从原稿供给部300供给的原稿时，使支架201移动到与原稿读取切口 205相对的位置，通过原稿读取切口 205由CCD传感器读取从原稿供给部300送来的原稿。CCD传感器将所读取的原稿作为图像数据输出。
[0047]主体部100具备纸储存部101、图像形成部103以及定影部105。纸储存部101具备能够储存纸摞的纸盘107。储存在纸盘107的纸摞中最上层的纸通过搓辊109的驱动被向纸输送部111抽出。纸经过纸输送部111输送至图像形成部103。
[0048]图像形成部103基于图像数据在输送来的纸上形成调色剂图像。图像形成部103具备感光鼓113 (被形成潜像的感光体)、曝光部(光扫描装置)115、显影部117以及转印部119。曝光部115生成与图像数据(从原稿读取部200输出的图像数据、从个人计算机发送的图像数据、传真接收的图像数据等)相对应的光，并照射到均匀地带电的感光鼓113的周面。由此，在感光鼓113的周面上形成与图像数据相对应的静电潜像。在该状态下从显影部117向感光鼓113的周面提供调色剂，从而在周面上形成与所述静电潜像对应的调色剂图像。该调色剂图像通过转印部119转印到从纸储存部101输送来的纸上。
[0049]转印有调色剂图像的纸被送至定影部105。定影部105对调色剂图像和纸施加热和压力，使调色剂图像定影于纸。定影处理后的纸被排出至堆纸盘121或排纸盘123。
[0050]操作部400具备显示部403和操作键部401。显示部403具有触摸面板功能，显示包括软键的画面。用户一边观察画面一边操作软键，由此进行复印等功能的执行所需的设定输入等输入操作。
[0051]操作键部401具备由硬键形成的操作键，具体地说具备启动键405、数字键407、停止键409、复位键411、用于将复印、打印、扫描以及传真进行切换的功能切换键413等。
[0052]启动键405是用于开始复印、传真发送等工作的键。数字键407是输入复印份数、传真号码等数字的键。停止键409是用于中途停止复印工作等的键。复位键411是将所设定的内容恢复为初始设定状态的键。
[0053]功能切换键413具备复印键和发送键等，是将复印功能、发送功能等相互切换的键。如果对复印键进行操作，则在显示部403上显示复印的初始画面。如果对发送键进行操作，则在显示部403上显示传真发送和邮件发送的初始画面。
[0054]图2是表示复合机I的电气结构的框图。复合机I具备将所述主体部100、所述原稿读取部200、所述原稿供给部300、所述操作部400、通信部600以及控制部500等各功能部以能够相互通信的方式相连接的结构。关于主体部100、原稿读取部200、原稿供给部300以及操作部400已经进行了说明，因此省略说明。
[0055]通信部600具备传真通信部601和网络I / F部603。传真通信部601具备控制与对方传真的电话线路的连接的NCU (Network Control Unit:网络控制单元)以及对传真通信用的信号进行调制和解调的调制解调电路。传真通信部601连接于电话线路605。
[0056]网络I / F 部 603 连接于 LAN (Local Area Network:局域网)607。网络 I / F 部603是用于与连接于LAN607的个人计算机等终端装置之间执行通信的通信接口电路。
[0057]控制部500 例如具备 CPU (Central Processing Unit:中央处理单兀)、ROM (ReadOnly Memory:只读存储器)、RAM (Random Access Memory:随机存取存储器)以及图像存储器等。CPU对主体部100等复合机I的所述结构要素执行使复合机I工作所需的控制。ROM存储有控制复合机I的工作所需的软件、设定值。RAM用于在执行软件时产生的数据的临时存储等。图像存储器临时存储图像数据(从原稿读取部200输出的图像数据、从个人计算机发送的图像数据、传真接收的图像数据等)。
[0058]<第一实施方式>
[0059]图3是表示构成第一实施方式所涉及的曝光部115的光学部件的配置关系的图。曝光部115具备光源31、光偏转部10以及两个扫描透镜33、35等。光源31例如是激光二极管，照射与图像数据相对应地调制的光束(激光)LB。
[0060]在光源31与光偏转部10之间的光路上配置有准直透镜37和柱面透镜39。准直透镜37使从光源31照射的光束LB成为平行光。柱面透镜39使成为平行光的光束LB聚光成线状。聚光成线状的光束LB向光偏转部10入射。
[0061]在光偏转部10与感光鼓113之间的光路上配置有扫描透镜33和扫描透镜35。入射到光偏转部10的镜部11的光束LB在镜部11反射、偏转，通过扫描透镜33、35成像于感光鼓113的周面。即，利用光束LB扫描感光鼓113的周面，在感光鼓113的周面上形成静电潜像。
[0062]曝光部115还具备BD (Beam Detect:光束检测)透镜41和BD传感器(光检测部)43。BD传感器43配置于曝光部115的外壳(图中省略)内部的规定位置(预先指定的位置)，接收通过光偏转部10偏转的光束LB。具体地说，在光束LB从感光鼓113的一方的侧部113a向另一方的侧部113b扫描感光鼓113的情况下,超过有效扫描范围R的光束LB由BD透镜41聚光而被BD传感器43接收。BD传感器43当接收到超过有效扫描范围R的光束LB时，输出表示进行了该受光的检测信号。从BD传感器43输出的检测信号用于使表不形成于感光鼓113的静电潜像的图像信号与扫描有效扫描范围R的时机同步。
[0063]说明光偏转部10。图4是表示光偏转部10的原理的图。图5是沿着V-V线剖切了图4所示的光偏转部10的剖视图。
[0064]光偏转部10具备镜部(MEMS镜)11、框架13、扭杆(torsion bar) 15以及镜驱动部(驱动部)17a、17b、17c、17d。镜部11使从光源31输出的光束LB偏转。镜驱动部17a至17d利用以预先规定的基本周期变动的驱动电压使镜部11摇动。
[0065]框架13的形状是矩形。框架13包括沿长边方向延伸的一对边部13a、13b以及沿与长边方向正交的方向延伸的一对边部13c、13d。在框架13的中心部配置有镜部11。镜部11的形状是椭圆形。椭圆的长轴方向成为框架13的长边方向。光束向镜部11入射，被镜部11反射、偏转。
[0066]扭杆15沿镜部11的椭圆的短轴方向延伸，镜部11固定于扭杆15。扭杆15的一端由梁19所支承。扭杆15的另一端由梁21所支承。梁19、21是与一对边部13a、13b平行的构件，各端部分别由一对边部13c、13d所支承。
[0067]在梁19上，与扭杆15相比更靠边部13c的一侧形成有镜驱动部17a，与扭杆15相比更靠边部13d的一侧形成有镜驱动部17b。在梁21上，与扭杆15相比更靠边部13c的一侧形成有镜驱动部17c，与扭杆15相比更靠边部13d的一侧形成有镜驱动部17d。
[0068]镜驱动部17a如图5所示那样包括下部电极23、PZT薄膜25以及上部电极27。镜驱动部17b、17c、17d具有与镜驱动部17a同样的结构。以下，在不需要区别镜驱动部17a、17b、17c、17d的情况下，就记载为镜驱动部17。对镜驱动部17施加以预先规定的固定的基本周期变动的交流电压作为驱动电压。由此，梁19、21弯曲，由此镜部11与扭杆15 —起倾斜。
[0069]图6是表示对镜驱动部17施加驱动电压使得在与图5相同的剖面中镜驱动部17a、17c (第一驱动部)的PZT薄膜25伸展、且镜驱动部17b、17d (第二驱动部)的PZT薄膜25收缩的状态的图。将通过镜驱动部17a、17c的PZT薄膜25伸展、且镜驱动部17b、17d的PZT薄膜25收缩而扭杆15倾斜的该动作设为第一动作。相反地，将通过镜驱动部17a、17c的PZT薄膜25收缩、且镜驱动部17b、17d的PZT薄膜25伸展而扭杆15倾斜的动作设为第二动作。
[0070]在所述光偏转部10中，通过使对镜驱动部17a、17c施加的驱动电压的相位与对镜驱动部17b、17d施加的驱动电压的相位相互反相，从而交替地进行第一动作和第二动作。由此，如图4所示，镜部11以扭杆15为轴摇动，镜部11的偏转角Θ变动。也就是说，镜驱动部17a、17c和镜驱动部17b、17d，根据驱动电压相互反方向地驱动镜部11。此外，在图4中，附图标记NL的直线表示镜部11未摇动时的镜部11的法线。
[0071]图7是表示第一实施方式所涉及的曝光部115的结构的框图。曝光部115具备光源31、光偏转部10、BD传感器43、校正值计算部51、DAC (直流电压生成部)52、放大器(直流电压放大部)53以及波形整形部54。
[0072]从光源31输出的光束LB在光偏转部10中被镜部11反射偏转而进行扫描，该镜部11由镜驱动部17a、17b、17c、17d摇动。BD传感器43当接收到超过有效扫描范围R(图3)的光束LB时，将表示进行了该受光的检测信号输出到校正值计算部51。
[0073]校正值计算部51基于BD传感器43输出所述检测信号的时机，计算在校正所述驱动电压时使用的电压值即校正电压值。镜部11的偏转角Θ根据复合机I (曝光部115)附近的气温、经年劣化等环境变动而变化。校正值计算部51为了补偿所述偏转角Θ的变化而计算对镜驱动部17提供的所述校正电压值等校正值。
[0074]利用图8具体地说明校正值计算部51对镜部11的偏转角Θ的变化进行补偿的方法。图8是表示镜部11的偏转角Θ以及从BD传感器43输出的检测信号的时间变化的图。当环境变动时，镜部11的偏转角特性例如从虚线所示的最大偏转角为ΘΠ!’的状态(以下还称为初始状态)变化为实线所示的最大偏转角为0m(〈0m’)的状态。此时，即使环境变动，对镜驱动部17施加的驱动电压的频率也不变化，因此镜部11的偏转角特性的频率不变化。
[0075]另一方面，BD传感器43检测光束LB时的镜部11的偏转角Θ O是根据BD传感器43的配置位置而定，不会变化。因此，在镜部11的偏转角特性处于初始状态时，在时刻t2从BD传感器43输出表示接收到光束LB的检测信号。但是，在镜部11的偏转角特性如实线所示那样变化的情况下，在时刻tl从BD传感器43输出表示接收到光束LB的检测信号。这样，从BD传感器43输出检测信号的时机的变化与镜部11的最大偏转角的变化之间有相关关系。该相关关系作为通过试运转等得到的实验值预先存储在ROM等中。
[0076]校正值计算部51利用从BD传感器43输出检测信号的时机和预先存储在ROM等中的所述相关关系，计算镜部11的最大偏转角的变化量，并计算用于对计算出的该变化量进行补偿的驱动电压的电压值作为校正电压值。然后，校正值计算部51将计算出的校正电压值除以后述的放大器53中使用的放大率所得的、表示比校正电压值小的电压值的数字信号输出到DAC52。
[0077]返回到图7，DAC52生成电压值低于所述校正电压值的直流电压。DAC52是所谓的数字模拟转换器，生成由从校正值计算部51输入来的数字信号表示的直流电压Vl并输出到放大器53。
[0078]放大器53将从DAC52输入来的直流电压Vl放大成与所述校正电压值相等的电压值。放大器53以预先规定的放大率将直流电压Vl放大来生成与校正电压值相等的直流电压V2，并将其输出到波形整形部54。其中，所述放大率是预先固定的放大率。DAC52生成所述校正电压值除以所述预先固定的放大率所得到的电压值(直流电压VI)。
[0079]波形整形部54将由放大器53放大的直流电压V2的波形整形成以基本周期变动，该基本周期是对镜驱动部17提供的驱动电压的变动周期。该整形后的电压作为驱动电压V3、V4输出到镜驱动部17。
[0080]波形整形部54包括开关元件541和开关控制部542。开关元件541设置于放大器53与镜驱动部17之间，是将由放大器53放大的直流电压的输出对象在镜驱动部17a、17c与镜驱动部17b、17d之间切换的元件。开关控制部542按所述基本周期的每一半周期进行开关元件541的切换。
[0081]图9的部分(a)是表示输入放大器53的直流电压Vl的电压值的变化以及输入波形整形部54的直流电压V2的电压值的变化的图。图9的部分(b)是表示输入镜驱动部17a、17c的直流电压即驱动电压V3的电压值的变化的图。图9的部分(c)是表示输入镜驱动部17b、17d的直流电压即驱动电压V4的电压值的变化的图。图10是表示与驱动电压V3、V4的电压值的变化相对应的镜部11的偏转角Θ的变化的图。
[0082]如图9的部分(a)所示，输入放大器53的直流电压Vl基于校正值计算部51计算出的校正电压值而在时刻t0上升时，输入波形整形部54的由放大器53放大的直流电压V2的波形逐渐上升。其中，直流电压V2的波形逐渐上升的原因是放大器53的反应不灵。
[0083]之后，在波形整形部54中，如图9的部分(b)和图9的部分(C)所示，开关控制部542按基本周期T的每一半周期T / 2进行开关元件541的切换，输入到波形整形部54的直流电压V2按基本周期T的每一半周期T / 2被交替地输出到镜驱动部17b、17d与镜驱动部17a、17c。由此，波形整形部54将由放大器53放大的直流电压V2的波形整形成以基本周期T变动的矩形波，使其作为镜驱动部17b、17d的驱动电压V3和镜驱动部17a、17c的驱动电压V4而输出。由此，镜部11的偏转角Θ如图10所示那样根据驱动电压V3、V4，在从时刻t0起例如经过基本周期T的一半周期T / 2时最大偏转角的大小增大至0 m’，变为以基本周期T变动。
[0084]根据上述实施方式的结构，通过DAC52生成电压值低于由校正值计算部51计算出的校正电压值的直流电压VI，生成的直流电压Vl通过放大器53被放大成与校正电压值相等的电压值。然后，放大的直流电压V2的波形通过波形整形部54被整形成以基本周期T变动，以基本周期T变动的交流电压作为驱动电压V3、V4输出到镜驱动部17。
[0085]也就是说，在本实施方式中，无需具备可改变相位和振幅来生成正弦波的振荡器以及可正确地放大正弦波的放大器，而利用简单且廉价的DAC52和放大器53就能够驱动MEMS镜11，而且能够校正驱动MEMS镜11时的驱动电压V3、V4从而补偿MEMS镜11的偏转角Θ的变化。由此，能够廉价地提供这样一种光扫描装置，S卩，其具备使扫描用的激光偏转的MEMS镜，并且能够对驱动MEMS镜所需的驱动电压进行校正，从而补偿MEMS镜的偏转角的变化。
[0086]另外，波形整形部54具备开关元件541和开关控制部542。也就是说，利用简单的结构，即通过将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象按基本周期T的每一半周期在镜驱动部17a、17c与镜驱动部17b、17d之间交替而进行输出，就能够将对镜驱动部17a、17c和镜驱动部17b、17d输出的驱动电压V3、V4的波形整形成以基本周期T变动的矩形波。
[0087]另外，能够将波形整形部54构成为利用可将至少两个驱动电压的提供路径进行切换的开关元件541的简单的结构，因此能够廉价地提供曝光部115。
[0088]此外，在上述实施方式中，图1至图10所示的结构和设定只不过是一例，并不意味着限定于此。
[0089]例如，也可以构成为如下:校正值计算部51，还进一步计算表示将放大器53放大的直流电压V2输出到镜驱动部17的期间在基本周期T中所占的比例的校正占空比，并且，波形整形部54，在基本周期T中的与由校正值计算部51计算出的校正占空比相对应的期间，将驱动电压设为高电平。图11中示出具体结构。
[0090]图11是表示第一实施方式的变形例所涉及的曝光部115的结构的框图。校正值计算部51如上述那样利用BD传感器43输出检测信号的时机和预先存储在ROM等中的相关关系，计算镜部11的最大偏转角的变化量。然后，校正值计算部51计算用于对计算出的该镜部11的最大偏转角的变化量加以粗略补偿(例如补偿变化量的95% )的校正电压值，并且计算用于补偿剩下的少许变化量(例如补偿变化量的5%)的校正占空比，并输出到波形整形部54。
[0091]与此相应地，开关元件541被构成为，将放大器53放大的直流电压V2的输出对象除了镜驱动部17a、17c与镜驱动部17b、17d以外，还可以切换到负载L。
[0092]图12的部分(a)是表示与由校正值计算部51计算出的校正占空比相对应的、输入镜驱动部17a、17c的直流电压即驱动电压V3的电压值的变化的图。图12的部分(b)是表示与所述校正占空比相对应的、输入负载L中的直流电压VL的电压值的变化的图。图12的部分(c)是表示与所述校正占空比相对应的、输入镜驱动部17b、17d的直流电压即驱动电压V4的电压值的变化的图。
[0093]假设由校正值计算部51计算出的校正占空比为例如40%的情况。开关控制部542如图12的部分(a)所示那样根据所述校正占空比40%，在基本周期T中的最初的40%的期间，以将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象设为镜驱动部17b、17d的方式对开关兀件541进行切换。
[0094]接着，开关控制部542如图12的部分(b)所示那样在经过基本周期T的一半周期T / 2之前的剩余期间、即基本周期T的10%的期间，以将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象设为负载L的方式对开关元件541进行切换。
[0095]接着，开关控制部542如图12的部分(C)所示那样在基本周期T中的40 %的期间，以将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象设为镜驱动部17a、17c的方式对开关元件541进行切换。
[0096]然后，开关控制部542如图12的部分(b)所示那样在经过基本周期T之前的剩余的期间、即基本周期T的10%的期间，以将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象设为负载L的方式对开关元件541进行切换。
[0097]根据该结构，不仅利用校正电压值，还利用校正占空比来调整对镜驱动部17施加驱动电压的期间，由此能够校正对镜驱动部17提供的驱动电压。因此，不需要事先将从放大器53输出的直流电压V2正确地设定为当向各镜驱动部17施加基本周期T的一半周期T / 2时使镜部11的最大偏转角成为规定值的电压值。
[0098]另外，波形整形部54不限于具备开关元件541和开关控制部542并将从放大器53输入的直流电压V2的波形整形成以基本周期T变动的矩形波的结构。例如也可以利用能够将从放大器53输入的直流电压V2的波形变换为以基本周期T变动的矩形波、三角波、锯齿波或正弦波等的廉价的分配器等来构成波形整形部54。
[0099]其中，在采用由校正值计算部51来计算校正占空比的结构的情况下，也可以利用将从放大器53输入的直流电压V2的波形整形成以基本周期T变动的矩形波、并且能够将该矩形波的占空比设定变更为校正占空比的廉价的分配器等来构成波形整形部54。
[0100]另外，在上述实施方式的结构中，示出了波形整形部54将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象分为两个的结构例子，但是并不限于此。例如，也可以构成为:如所述专利文献2所记载的那样，用于驱动镜部的镜驱动部只存在一个，与此相应地，波形整形部54将由放大器53放大的直流电压V2的波形整形成以基本周期T变动，使其作为驱动电压来输出到该只存在一个的镜驱动部。
[0101]该结构中的波形整形部54例如与上述实施方式同样地包括开关元件541和开关控制部542。开关控制部542例如按基本周期T的每一半周期对开关元件541进行控制，从而将由放大器53放大的直流电压V2的输出对象在该只存在一个的镜驱动部与负载之间交替地切换。另外，不限于此，也可以利用能够将从放大器53输入的直流电压V2的波形变换为以基本周期T变动的矩形波、三角波、锯齿波或正弦波等的廉价的分配器等来构成波形整形部54。
[0102]在采用由校正值计算部51来计算校正占空比的结构的情况下，也可以利用将从放大器53输入的直流电压V2的波形整形成以基本周期T变动的矩形波、并且能够将该矩形波的占空比设定变更为校正占空比的分配器等来构成波形整形部54。
[0103]在上述实施方式中，示出了放大器53以预先固定的放大率将从DAC52输出的直流电压Vl进行放大的例子。取而代之地，也可以由能够以可变的放大率将从DAC52输出的直流电压进行放大的放大器来构成放大器53。
[0104]与此相应地，将DAC52构成为向放大器53输出比校正值计算部51计算出的校正电压值充分小的、预先固定的电压值的直流电压。并且构成为，曝光部115还具备放大率设定部531 (图7中用点线附记了模块)，该放大率设定部531计算由校正值计算部51计算出的校正电压值除以从DAC52输出的直流电压的预先固定的电压值所得到的值，将该计算出的值设定为放大器53的放大率。
[0105]根据该结构，由DAC52生成电压值低于校正电压值的预先固定的直流电压。也就是说，能够利用与生成多种电压值的直流电压的DAC52相比更简单廉价的DAC52来构成图像形成装置。
[0106]〈第二实施方式〉
[0107]图13是表示构成第二实施方式所涉及的曝光部115A的光学部件的配置关系的图。曝光部115A具备光源31、具有镜部IlA的光偏转部IOA及两个扫描透镜33、35、BD透镜41a、41b以及BD传感器(光检测部)43a、43b。其中，对与第一实施方式的曝光部115相同的部分附加同一附图标记，在此省略或简化说明。
[0108]在本实施方式中，在感光鼓113的一方的侧部113a的一侧配置有BD透镜41a和BD传感器43a，并且在另一方的侧部113b的一侧配置有BD透镜41b和BD传感器43b。在光束LB从感光鼓113的一方的侧部113a向另一方的侧部113b扫描感光鼓113的情况下，超过有效扫描范围R的光束LB由BD透镜41a、41b聚光而被BD传感器43a、43b接收。BD传感器43a、43b分别当接收到超过有效扫描范围R的光束LB时，输出表示进行了该受光的检测信号。从BD传感器43a、43b输出的检测信号用于使表不形成于感光鼓113的静电潜像的图像信号与扫描有效扫描范围R的时机的同步等。
[0109]说明光偏转部IOA0图14是表示光偏转部IOA的原理的图。图15A是沿着XVA-XVA线剖切了图14所示的光偏转部IOA的剖视图，图15B是沿着XVB-XVB线剖切了图4所示的光偏转部10的剖视图。
[0110]光偏转部IOA具备镜部11A、可动框架216、固定框架213、扭杆215a、215b、215c、以及镜驱动部(驱动部)217&、21713、217。、217(1、2176、217€、2178、21711。镜部 IlA 使从光源31输出来的光束LB偏转。镜驱动部217a至17h利用以预先规定的基本周期变动的驱动电压即基本驱动电压和以周期比所述基本周期短的叠加周期变动的叠加驱动电压来使镜部IlA摇动。
[0111]镜部IlA是矩形板状的MEMS镜。该镜部IlA固定于扭杆(第一扭杆)215a，配置于光偏转部IOA的中心部。光束LB入射到镜部11A，被镜部IlA反射、偏转。
[0112]可动框架216的形状是矩形。可动框架216包括一对边部216a、216b、沿与一对边部216a、216b正交的方向延伸的一对边部216c、216d以及由一对边部216c、216d支承的梁216e、216f。梁216e、216f是与一对边部216a、216b平行的构件，各端部分别由一对边部216c、216d 所支承。
[0113]扭杆215a以经过镜部IlA的长边的中心部的方式沿镜部IlA的短边方向延伸。扭杆215a的一端由梁216e所支承，扭杆215a的另一端由梁216f所支承。扭杆215a具有沿所述短边方向延伸的第一扭力轴，将镜部IlA以能够通过绕所述第一扭力轴的扭转动作转动的状态支承于可动框架216。[0114]在梁216e上，与扭杆215a相比更靠边部216c的一侧形成有镜驱动部217e，与扭杆215a相比更靠边部216d的一侧形成有镜驱动部217f。在梁216f上，与扭杆215a相比更靠边部216c的一侧形成有镜驱动部217g，与扭杆215a相比更靠边部216d的一侧形成有镜驱动部17h。
[0115]固定框架213的形状是矩形。固定框架213是设置于可动框架216的外侧而固定地配置的框架。固定框架213包括一对边部213a、213b、沿与一对边部213a、213b正交的方向延伸的一对边部213c、213d以及由一对边部213c、213d支承的梁213e、213f。
[0116]扭杆(第二扭杆)215b、215c在与扭杆215a相同的轴上延伸，也就是说，沿镜部IlA的短边方向延伸，以使扭杆215b、215c延伸的前端经过镜部IlA的长边的中心部。扭杆215b的一端由梁213e所支承，扭杆215b的另一端支承可动框架216的边部216a。扭杆215c的一端由梁213f所支承，扭杆215c的另一端支承可动框架216的边部216b。也就是说，由扭杆215b、215c支承可动框架216。扭杆215b、215c具有与扭杆215a的所述第一扭力轴同轴的第二扭力轴，将可动框架216以能够通过绕所述第二扭力轴的扭转动作转动的状态支承于固定框架213。
[0117]在梁213e上，与扭杆215b相比更靠边部213c的一侧形成有镜驱动部217a，与扭杆215b相比更靠边部213d的一侧形成有镜驱动部217b。在梁213f上，与扭杆215c相比更靠边部213c的一侧形成有镜驱动部217c，与扭杆215c相比更靠边部213d的一侧形成有镜驱动部217d。
[0118]镜驱动部217a如图15A所示那样包括下部电极223、PZT薄膜225以及上部电极227。镜驱动部217b、217c、217d具有与镜驱动部217a同样的结构。此外，附图标记NL表示相对于固定框架213的法线。
[0119]以下，在不需要区别镜驱动部217a、217b、217c、217d的情况下，就记载为镜驱动部171。对镜驱动部171施加以预先规定的固定的基本周期变动的交流电压作为驱动电压。以下，将镜驱动部171的驱动电压记载为基本驱动电压。
[0120]镜驱动部217e如图15B所示那样包括下部电极223、PZT薄膜225以及上部电极227。镜驱动部217f、217g、217h具有与镜驱动部217e同样的结构。此外，附图标记NL表示相对于固定框架213的法线。
[0121]以下，在不需要区别镜驱动部217e、217f、217g、217h的情况下，就记载为镜驱动部172。对镜驱动部172施加以预先规定的固定的叠加周期而变动的交流电压作为驱动电压，该预先规定的固定的叠加周期的周期比基本驱动电压的变动周期即所述基本周期短。以下，将镜驱动部172的驱动电压记载为叠加驱动电压。
[0122]图16A是表示对镜驱动部171施加基本驱动电压使得在与图15A相同的剖面中镜驱动部217a、217c (第一驱动部)的PZT薄膜225伸展、且镜驱动部217b、217d (第二驱动部)的PZT薄膜225收缩的状态的图。梁213e、213f弯曲，由此扭杆215b、215c扭转，可动框架216与扭杆215b、215c —起倾斜。
[0123]将通过镜驱动部217a、217c的PZT薄膜225伸展、且镜驱动部217b、217d的PZT薄膜225收缩而扭杆215b、215c向右方向扭转的动作设为第一动作。另一方面，将通过镜驱动部217a、217c的PZT薄膜225收缩、且镜驱动部217b、217d的PZT薄膜225伸展而扭杆215b、215c向左方向扭转的动作设为第二动作。[0124]为了交替地反复进行第一动作和第二动作，使对镜驱动部217a、217c施加的基本驱动电压的相位和对镜驱动部217b、217d施加的基本驱动电压的相位相互反转，使梁213e、213f弯曲。由此，可动框架216以扭杆215b、215c为轴来转动。也就是说，镜驱动部171根据基本驱动电压使可动框架216向相反方向驱动。
[0125]图16B是表示对镜驱动部172施加叠加驱动电压使得在与图15B相同的剖面中镜驱动部217e、217g(第三驱动部)的PZT薄膜225伸展、且镜驱动部217f、217h(第四驱动部)的PZT薄膜225收缩的状态的图。梁216e、216f弯曲，由此扭杆215a扭转，镜部IlA与扭杆215a —起倾斜。
[0126]将通过镜驱动部217e、217g的PZT薄膜225伸展、且镜驱动部217f、217h的PZT薄膜225收缩而扭杆215a向右方向扭转的动作设为第三动作。另一方面，将通过镜驱动部217e、217g的PZT薄膜225收缩、且镜驱动部217f、217h的PZT薄膜225伸展而扭杆215a向左方向扭转的动作设为第四动作。
[0127]为了交替地反复进行第三动作和第四动作，使对镜驱动部217e、217g施加的叠加驱动电压的相位和对镜驱动部217f、217h施加的叠加驱动电压的相位相互反转，使梁216e、216f弯曲。由此，镜部IlA以扭杆215a为轴来转动。也就是说，镜驱动部172根据叠加驱动电压使镜部IlA向相反方向驱动。其中，由镜驱动部217e、217g(第三驱动部)进行的镜部IlA的驱动方向与由镜驱动部217a、217c (第一驱动部)进行的可动框架216的驱动方向相同。另外，由镜驱动部217f、217f (第四驱动部)进行的镜部IlA的驱动方向与由镜驱动部217b、217d(第二驱动部)进行的可动框架216的驱动方向相同。
[0128]接着，利用图17说明可动框架216和镜部IlA相对于法线NL的偏转角Θ的变动。图17是表示可动框架216和镜部IlA的偏转角Θ的时间变化的图。在图17中，曲线61表示在驱动镜驱动部171时可动框架216转动所引起的、可动框架216相对于法线NL的偏转角Θ的时间变化。该时间变化表示振幅为A1、且角频率(angular frequency)为ω的正弦波(Q1U)=A1Sincot)的波形。以下，将该振幅为A1且角频率为ω的正弦波记载为基本正弦波Θ1Ι5其中，在角频率ω与该正弦波的一周期T (频率f)之间有ω=2π / T (=2 Jif)的关系。
[0129]另外，在图17中，曲线G2表示在不驱动镜驱动部171而仅驱动镜驱动部172时镜部IlA转动所引起的、镜部IlA相对于法线NL的偏转角Θ的时间变化。也就是说，该时间变化表示通过驱动镜驱动部172而产生的、镜部IlA相对于可动框架216的偏转角Θ的相对时间变化。该时间变化表示是以振幅为小于A1的A3，且角频率为基本正弦波Q1的三倍的3ω、即频率为基本正弦波Θ I的三倍的正弦波(Θ 3(t)=A3sin3on)在变动。以下，将该振幅为A3、且角频率为3ω的正弦波记载为叠加正弦波θ3。
[0130]也就是说，通过将镜驱动部171和镜驱动部172 —起驱动，并将基本正弦波Θ:与叠加正弦波θ3相叠加，如图17的曲线Gtl所示那样使镜部IlA的偏转角Θ以准三角波(0o(t) =A1SinQt+A3sin3Qt)的波形随时间变化。由此，入射到镜部IlA的光束LB以大致等速度朝向感光鼓113反射、偏转，能够以大致等速度在感光鼓113上形成静电潜像。以下，将该准三角波记载为准三角波Θ。。
[0131]图18是表示第二实施方式所涉及的曝光部115Α的结构的框图。曝光部115Α具备光源31、光偏转部10Α、BD传感器43a、43b、校正值计算部251、第一 DAC(基本电压生成部)252、第一放大器(基本电压放大部)253、基本波形整形部254、第二 DAC (叠加电压生成部)255、第二放大器(叠加电压放大部)256以及叠加波形整形部257。
[0132]从光源31输出的光束LB在光偏转部IOA中被镜部IlA反射偏转而进行扫描，该镜部IlA由镜驱动部171、172摇动。BD传感器43a、43b分别在接收到超过有效扫描范围R(图13)的光束LB时，将表示进行了该受光的检测信号输出到校正值计算部251。
[0133]校正值计算部251基于BD传感器43a、43b输出所述检测信号的时机，计算在校正所述基本驱动电压时使用的电压值即基本校正电压值以及在校正所述叠加驱动电压时使用的电压值即叠加校正电压值。镜部IlA的偏转角Θ根据复合机1(曝光部115A)附近的气温、经年劣化等环境变动而变化。校正值计算部251为了补偿所述偏转角Θ的变化而计算对镜驱动部171提供的所述基本校正电压值、对镜驱动部172提供的所述叠加校正电压值等校正值等。
[0134]具体地说，利用图17说明校正值计算部251对镜部IlA的偏转角Θ的变化进行补偿的方法。其中，BD传感器43a固定于在镜部IlA的偏转角Θ为Qa时被镜部IlA反射的光束LB所入射的位置，BD传感器43b固定于在镜部IlA的偏转角Θ为Θ b时被镜部IlA反射的光束LB所入射的位置。
[0135]另外，Θ a与Θ b之间利用基本正弦波Θ I的振幅A1有O b=Al、/_3/2、 0b幸I 0a|的关系。因此，基本正弦波Q1在经过一周期T的4分之I的时刻表示与振
幅A1相等的值，在经过一周期T的6分之I的时刻和经过一周期T的3分之I的时刻表示与对应于BD传感器43b的固定位置的Θ b相等的值。
[0136]通过镜部IlA进行 往复振动(摇动)，BD传感器43a、43b在一周期T内四次向校正值计算部251输出表示接收到光束LB的检测信号。由此，校正值计算部251计算四个信号间隔V t12、t2、t21。其中，镜部IlA的偏转角特性处于初始状态时的该四个信号间隔作为通过试运转等得到的实验值而预先存储在ROM等中。
[0137]在基本正弦波Θ I的振幅A1和叠加正弦波Θ 3的振幅A3都处于初始状态而未发生变化的情况下，在图17中曲线Gtl所示的、将基本正弦波Q1与叠加正弦波θ3相叠加的准三角波\为9o(t)=0b时，叠加正弦波03是0。也就是说，即使叠加正弦波θ3的振幅A3的大小发生变化,也不会由于该变化而信号间隔h变化。
[0138]因此，校正值计算部251在信号间隔t^j、于预先存储在ROM等中的间隔的情况下，为了将从BD传感器43b输出的检测信号的时间间隔校正得大，计算为了使基本正弦波Θ i的振幅A1的大小(绝对值)增大所需的电压值作为基本校正电压值。另外，校正值计算部251在信号间隔A大于预先存储在ROM等中的间隔的情况下，为了将从BD传感器43b输出的检测信号的时间间隔校正得小，计算为了使基本正弦波Θ i的振幅A1的大小减少所需的电压值作为基本校正电压值。其中，基于试运转等的实验值，基本正弦波Θ i的振幅A1的调整量与基本驱动电压的电压值的调整量的关系预先存储在ROM等中。
[0139]然后，校正值计算部251通过后述的第一 DAC252、第一放大器253以及基本波形整形部254，利用电压值与所计算出的基本校正电压值相等的基本驱动电压来使镜驱动部171驱动。在此时的信号间隔t2小于预先存储在ROM等中的间隔的情况下，校正值计算部251为了将从BD传感器43a输出的检测信号的时间间隔校正得大，计算为了使叠加正弦波θ3的振幅A3的大小(绝对值)增大所需的电压值作为叠加校正电压值。[0140]另外，校正值计算部251在所述信号间隔t2大于预先存储在ROM等中的间隔的情况下，为了将从BD传感器43a输出的检测信号的时间间隔校正得小，计算为了使叠加正弦波θ3的振幅A3的大小减少所需的电压值作为叠加校正电压值。其中，基于试运转等的实验值，叠加正弦波Θ 3的振幅A3的调整量与叠加驱动电压的电压值的调整量的关系存储在预先ROM等中。
[0141]返回到图18，校正值计算部251将计算出的基本校正电压值除以后述的第一放大器253中使用的放大率所得的、表示比基本校正电压值小的电压值的数字信号输出到第一DAC252。另外，校正值计算部251将计算出的叠加校正电压值除以后述的第二放大器256中使用的放大率所得的、表示比叠加校正电压值小的电压值的数字信号输出到第二 DAC255。
[0142]第一 DAC252(直流电压生成部)生成电压值低于所述基本校正电压值的直流电压。第一 DAC252是所谓的数字模拟转换器，生成由从校正值计算部251输入来的数字信号表不的直流电压Vl并输出到第一放大器253。第二 DAC255生成电压值低于所述叠加校正电压值的的直流电压。同样地，第二 DAC255是所谓的数字模拟转换器，生成由从校正值计算部251输入来的数字信号表示的直流电压V5并输出到第二放大器256。
[0143]第一放大器253 (直流电压放大部)将从第一 DAC252输入来的直流电压Vl放大成与所述基本校正电压值相等的电压值。第一放大器253以预先规定的放大率将直流电压V放大来生成与基本校正电压值相等的电压V2，并将其输出到基本波形整形部254。同样地，第二放大器256将从第二 DAC255输入来的直流电压V5放大成与所述叠加校正电压值相等的电压值。第二放大器253以预先规定的放大率将直流电压V5放大来生成与叠加校正电压值相等的电压V6，并将其输出到叠加波形整形部257。其中，所述第一放大器253和第二放大器256的放大率是预先固定的放大率。第一 DAC252和第二 DAC255生成所述基本校正电压值和所述叠加校正电压值除以所述预先固定的放大率所得到的电压值(直流电压Vl、V5)。
[0144]基本波形整形部(波形整形部)254将由第一放大器253放大的直流电压V2的波形整形成以与所述基本正弦波周期相等的周期即基本周期变动。该整形后的电压作为基本驱动电压V3、V4输出到镜驱动部171。同样地，叠加波形整形部257将由第二放大器256放大的直流电压V6的波形整形成以与所述叠加正弦波Θ 3的周期相等的周期即叠加周期变动，该叠加周期即是基本周期的3分之I的周期。该整形后的电压作为叠加驱动电压V7、V8输出到镜驱动部172。
[0145]基本波形整形部254包括基本开关元件2541和基本开关控制部2542。基本开关兀件2541设置于第一放大器253与镜驱动部171之间，是将由第一放大器253放大的直流电压V2的输出对象在镜驱动部217a、217c与镜驱动部217b、217d之间切换的元件。基本开关控制部2542按所述基本周期的每一半周期进行基本开关元件2541的切换。
[0146]叠加波形整形部257包括叠加开关元件2571和叠加开关控制部2572。叠加开关兀件2571设置于第二放大器256与镜驱动部172之间，是将由第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象在镜驱动部217e、217g与镜驱动部217f、217h之间切换的元件。叠加开关控制部2572按所述叠加周期的每一半周期进行叠加开关元件2571的切换。
[0147]图19的部分(a)是表示输入第一放大器253的直流电压Vl的电压值的变化以及输入基本波形整形部254的直流电压V2的电压值的变化的图。图19的部分(b)是表示输入镜驱动部217a、217c的直流电压即驱动电压V3的电压值的变化的图。图19的部分(c)是表示输入镜驱动部217b、217d的直流电压的驱动电压V4的电压值的变化的图。图20是表示与驱动电压V3、V4的电压值的变化相对应的可动框架216的偏转角的变化的图。
[0148]如图19的部分(a)所示，输入第一放大器253的直流电压Vl基于由校正值计算部251计算出的基本校正电压值而在时刻t0上升时，输入基本波形整形部254的由第一放大器253放大的直流电压V2的波形逐渐上升。其中，直流电压V2的波形逐渐上升的原因是第一放大器253的反应不灵。
[0149]之后，在基本波形整形部254中，基本开关控制部2542按基本周期T的每一半周期T / 2进行基本开关元件2541的切换，输入到基本波形整形部254的直流电压V2按基本周期T的每一半周期T / 2在镜驱动部217a、217c与镜驱动部217b、217d之间交替地被切换输出。由此，基本波形整形部254如图19的部分(b)和部分(c)所示那样，将由第一放大器253放大的直流电压V2的波形整形成以基本周期T变动的矩形波，使其作为镜驱动部217a、217c的驱动电压V3和镜驱动部217b、217d的驱动电压V4而输出。
[0150]由此，如图20所示，可动框架216的偏转角根据图19的部分(b)和部分(C)所示的提供至镜驱动部217a、217c和镜驱动部217b、217d的驱动电压V3、V4，在从时刻t0起经过基本周期T的一半周期T / 2时最大偏转角的大小增大，变为以基本周期T变动。
[0151]图21的部分(a)是表示输入第二放大器256的直流电压V5的电压值的变化以及输入叠加波形整形部257的直流电压V6的电压值的变化的图。图21的部分(b)是表示输入镜驱动部217e、217g的直流电压即驱动电压V7的电压值的变化的图。图21的部分(c)是表示输入镜驱动部217f、217h的直流电压即驱动电压V8的电压值的变化的图。图22是表示与驱动电压V7、V8的电压值的变化相对应的、镜部IlA的偏转角相对于可动框架216的相对变化的图。
[0152]如图21的部分(a)所示，输入第二放大器256的直流电压V5基于校正值计算部251计算出的叠加校正电压值而在时刻t0上升时，输入叠加波形整形部257的由第二放大器256放大的直流电压V6的波形逐渐上升。其中，直流电压V6的波形逐渐上升的原因是第二放大器256的反应不灵。
[0153]之后，在叠加波形整形部257中，叠加开关控制部2572如图21的部分(b)和部分(c)所示那样按叠加周期T / 3的每一半周期T / 6进行叠加开关元件2571的切换，输入到叠加波形整形部257的直流电压V6按叠加周期T / 3的每一半周期T / 6在镜驱动部217b、217d与镜驱动部217a、217c之间交替地被切换输出。也就是说，叠加波形整形部257将由第二放大器256放大的直流电压V6的波形整形成以叠加周期T / 3变动的矩形波，使其作为镜驱动部217e、217g的驱动电压V7和镜驱动部217f、217h的驱动电压V8而输出。
[0154]并且，如图22所示，镜部IlA相对于可动框架216的相对偏转角根据图21的部分(b)和部分(c)所示的提供至镜驱动部217e、217g和镜驱动部217f、217h的驱动电压V7、V8，在从时刻t0起经过叠加周期T / 3的一半周期T / 6时最大偏转角的大小增大，变为以叠加周期T / 3变动。
[0155]根据上述实施方式的结构，通过第一 DAC252生成电压值低于基本校正电压值的直流电压Vl，生成的直流电压Vl通过第一放大器253被放大成与基本校正电压值相等的电压值。然后，放大的直流电压V2的波形通过基本波形整形部254被整形成按基本周期以矩形波状变动，以基本周期变动的交流电压V3、V4作为基本驱动电压输出到镜驱动部171。
[0156]同样地，通过第二 DAC255生成电压值低于叠加校正电压值的直流电压V5，生成的直流电压V5通过第二放大器256被放大成与叠加校正电压值相等的电压值。然后，放大的直流电压V6的波形通过叠加波形整形部257被整形成按与基本周期的3分之I的周期相等的叠加周期以矩形波状变动，以该叠加周期变动的交流电压V7、V8作为叠加驱动电压输出到镜驱动部172。
[0157]也就是说，在本实施方式中，采用了能够生成直流电压的廉价的第一 DAC252和第二 DAC255来作为用于生成基本驱动电压和叠加驱动电压的结构，以代替现有技术中采用的能够生成正弦波的高价的振荡器。此外，在现有技术中采用了具备能够按驱动电压正确地放大正弦波的高价的放大器的结构，但是，在本实施方式中，采用具备能够以预先固定的放大率正确地放大直流电压的廉价的第一放大器253和第二放大器256的结构。由此，能够廉价地提供具备将基本驱动电压与叠加驱动电压相叠加来驱动的MEMS镜的光扫描装置。
[0158]另外，基本波形整形部254具备基本开关元件2541和基本开关控制部2542。也就是说，利用简单的结构，即通过将由第一放大器253放大的直流电压V2的输出对象按基本周期的每一半周期在镜驱动部217a、217c与镜驱动部217b、217d之间交替而进行输出，就能够将对镜驱动部217a、217c和镜驱动部217b、217d输出的基本驱动电压的波形整形成以基本周期变动的矩形波。
[0159]另外，叠加波形整形部257具备叠加开关元件2571和叠加开关控制部2572。也就是说，利用简单的结构，即通过将由第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象按叠加周期的每一半周期在镜驱动部217e、217g与镜驱动部217f、217h之间交替而进行输出，就能够将对镜驱动部217e、217g和镜驱动部217f、217h输出的叠加驱动电压的波形整形成以叠加周期变动的矩形 波。
[0160]另外，利用至少在两个方向上切换驱动电压的提供路径的廉价的开关元件，能够廉价地构成基本波形整形部254。同样地，利用至少在两个方向上切换驱动电压的提供路径的廉价的开关元件，能够廉价地构成叠加波形整形部257。
[0161]此外，在上述实施方式中图11至图22所示的结构和设定只不过是一例，并不意味着限定于此。
[0162]例如，也可以构成为如下:校正值计算部251，以对由整形成矩形波的基本驱动电压中包含的叠加周期的频率成分所产生的镜部IlA的驱动力进行抵消的方式，计算叠加校正电压值。
[0163]详细说明该结构。图23是表示整形成矩形波的基本驱动电压的时间变化、该矩形波的基本波与三倍谐波的关系的图。如图23的曲线W。所示，由基本波形整形部254整形成电压值为VI’且以基本周期T变动的矩形波的基本驱动电压的时间变化Vtl(t)能够以频率为ω / 2π的正弦波(sincot)、频率为3 ω / 2 π的正弦波(sin3 ω t)、频率为5 ω /2 的正弦波(sin5on)……等频率为基本正弦波的频率ω / 2π的奇数倍的多个正弦波的组合来表不。
[0164]在图23中，从构成曲线Wtl的矩形波的正弦波之中，特意将频率为与基本正弦波的频率相等的ω / 2ji的正弦波(sincot)即基本波以曲线Wl来表示，将频率为与基本正弦波的三倍的频率相等的3 ω / 2 Ji的正弦波(sin3cot)即三倍谐波以曲线W3来表示。这样，在基本驱动电压中包含频率为基本正弦波的三倍的正弦波即叠加周期的频率成分。
[0165]该频率为基本正弦波的三倍的正弦波的相位与构成图17所示的准三角波Θ。的叠加正弦波θ3的相位相反。因此，在利用整形成矩形波的基本驱动电压来驱动镜驱动部171时，由该基本驱动电压的波形的矩形波中包含的叠加周期的频率成分所产生的驱动电压有可能抑制扭杆215a的驱动。
[0166]也就是说，在利用与以叠加周期变动的叠加校正电压值相等的矩形波来使扭杆215a进行扭转动作的情况下，有可能由于使扭杆215b、215c进行扭转动作来驱动可动框架216的、整形成矩形波的基本驱动电压所包含的叠加周期的频率成分而无法高精度地使扭杆215a进行扭转动作。
[0167]因此，在该结构中，校正值计算部251在计算叠加校正电压值的情况下，去除(减去)图23的点线部所示的频率为基本正弦波的三倍的正弦波所表示的电压值，来计算叠加校正电压值。
[0168]根据该结构，校正值计算部251以对由整形成矩形波的基本驱动电压中包含的、周期与叠加周期相等的谐波成分所产生的镜部IlA的驱动力进行抵消的方式计算叠加校正电压值，因此能够高精度地使扭杆215a进行扭转动作。
[0169]另外，也可以构成为如下:校正值计算部251还进一步计算基本校正占空比，该基本校正占空比是表示将第一放大器253放大的直流电压V2输出到镜驱动部171的期间在基本周期中所占的比例。在该情况下，基本波形整形部254在基本周期中与由校正值计算部251计算出的所述基本校正占空比相对应的期间，将基本驱动电压设为高电平。
[0170]图24是表示第二实施方式的变形例I所涉及的曝光部115A的结构的框图。校正值计算部251如上述那样利用BD传感器43a、43b输出检测信号的时机，为了补偿镜部IlA的偏转角Θ的变化，而计算对基本正弦波Θ工的振幅A1的大小加以粗略校正(例如补偿变化量的95%的程度)所需的电压值作为基本校正电压值。并且，校正值计算部251计算用于对基本正弦波Θ I的振幅Al的剩余的少许大小进行校正(例如为补偿校正变化量的5%的程度)的基本校正占空比，并输出到基本波形整形部254。
[0171]与此相应地,基本开关兀件2541被构成为，将第一放大器53放大的直流电压V2的输出对象除了镜驱动部217a、217c与镜驱动部217b、217d之外，还可以切换到负载LI。
[0172]图25的部分(a)是表示与由校正值计算部251计算出的基本校正占空比相对应的、输入镜驱动部217a、217c的直流电压即驱动电压V3的电压值的变化的图。图25的部分(b)是表示与所述基本校正占空比相对应的、输入负载LI中的直流电压VLl的电压值的变化的图。图25的部分(c)是表示与所述基本校正占空比相对应的、输入镜驱动部217b、217d的直流电压即驱动电压V4的电压值的变化的图。
[0173]假设由校正值计算部251计算出的基本校正占空比为例如40%的情况。基本开关控制部2542如图25的部分(a)所示那样根据所述基本校正占空比40%，在基本周期T中的最初的40 %的期间，以将由第一放大器253放大的直流电压V2的输出对象设为镜驱动部217a、217c的方式对基本开关元件2541进行切换。
[0174]接着，基本开关控制部2542如图25的部分(b)所示那样在经过基本周期T的一半周期T / 2之前的剩余的期间、即基本周期T的10%的期间，以将由第一放大器253放大的直流电压V2的输出对象设为负载LI的方式对基本开关元件2541进行切换。[0175]接着，基本开关控制部2542如图25的部分(C)所示那样在基本周期T中的40%的期间，以将由第一放大器253放大的直流电压V2的输出对象设为镜驱动部217b、217d的方式对基本开关元件2541进行切换。
[0176]然后，基本开关控制部2542如图25的部分(b)所示那样在基本周期T经过之前的剩余的期间、即基本周期T的10%的期间，以将由第一放大器253放大的直流电压V2的输出对象设为负载LI的方式对基本开关元件2541进行切换。
[0177]根据该结构，不仅利用基本校正电压值，还利用基本校正占空比来调整对镜驱动部171施加基本驱动电压的期间，由此能够校正对镜驱动部171提供的驱动电压。
[0178]另外，与此同样地，也可以构成为如下:校正值计算部251还进一步计算叠加校正占空比，该叠加校正占空比是表示将第二放大器256放大的直流电压V6输出到镜驱动部172的期间在叠加周期中所占的比例。在该情况下，叠加波形整形部257在叠加周期中与由校正值计算部251计算出的所述叠加校正占空比相对应的期间，将叠加驱动电压设为高电平。
[0179]图26是表示第二实施方式的变形例2所涉及的曝光部115的结构的框图。校正值计算部251如上述那样利用BD传感器43a、43b输出检测信号的时机，为了补偿镜部IlA的偏转角Θ的变化，而计算对叠加正弦波θ3的振幅A3的大小加以粗略校正(例如补偿变化量的95%的程度)所需的电压值作为叠加校正电压值。并且，校正值计算部251计算用于对叠加正弦波Θ 3的振幅A3的剩余的少许大小进行校正(例如为补偿变化量的5%的程度)的叠加校正占空比，并输出到叠加波形整形部257。
[0180]与此相应地，叠加开关兀件2571被构成为,将第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象除了镜驱动部217e、217g与镜驱动部217f、217h之外，还可以切换到负载L2。
[0181]图27的部分(a)是表示与由校正值计算部251计算出的叠加校正占空比相对应的、输入镜驱动部217e、217g的直流电压即驱动电压V7的电压值的变化的图。图27的部分(b)是表示与所述叠加校正占空比相对应的、输入负载L2中的直流电压VL2的电压值的变化的图。图27的部分(c)是表示与所述叠加校正占空比相对应的、输入镜驱动部217b、217d的直流电压即驱动电压V8的电压值的变化的图。
[0182]假设由校正值计算部251计算出的叠加校正占空比为例如40%的情况。叠加开关控制部2572如图27的部分(c)所示那样根据所述叠加校正占空比40%，在叠加周期T /3中的最初的40%的期间，以将由第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象设为镜驱动部217f、217h的方式对叠加开关元件2571进行切换。
[0183]接着，叠加开关控制部2572如图27的部分(b)所示那样在经过叠加周期T / 3的一半周期T / 6之前的剩余的期间、即叠加周期T / 3的10%的期间，以将由第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象设为负载L2的方式对叠加开关元件2571进行切换。
[0184]接着，叠加开关控制部2572如图27的部分(a)所示那样在叠加周期T / 3中的40%的期间，以将由第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象设为镜驱动部217e、217g的方式对叠加开关元件2571进行切换。
[0185]然后，叠加开关控制部2572如图27的部分(b)所示那样在经过叠加周期T / 3之前的剩余的期间、即叠加周期T / 3的10%的期间，以将由第二放大器256放大的直流电压V6的输出对象设为负载L2的方式对叠加开关元件2571进行切换。[0186] 根据该结构，不仅利用叠加校正电压值，还利用叠加校正占空比来调整对镜驱动部172施加叠加驱动电压的期间，由此能够校正对镜驱动部172提供的驱动电压。
[0187]此外，校正值计算部251也可以构成为如下:将利用所述图24、图25的部分(a)、图25的部分(b)以及图25的部分(c)说明的结构与利用所述图26、图27的部分(a)、图27的部分(b)以及图27的部分(c)说明的结构进行组合，将基本校正占空比和叠加校正占空比都计算；与此相应地，也可以构成为如下:基本波形整形部254在基本周期T中的与基本校正占空比相对应的期间将基本驱动电压设为高电平，叠加波形整形部257在叠加周期中的与叠加校正占空比相对应的期间将叠加驱动电压设为高电平。
[0188]在上述实施方式中，不出了第一放大器253以预先固定的放大率将从第一 DAC252输出的直流电压Vl进行放大的例子。取而代之地，也可以由能够以可变的放大率将从第一DAC252输出的直流电压进行放大的放大器来构成第一放大器253。
[0189]与此相应地，第一 DAC252向第一放大器253输出比校正值计算部251计算出的基本校正电压值充分小的、预先固定的电压值(初始基本电压值)的直流电压。并且构成为，曝光部115A还具备基本放大率设定部253A (图18中用点线附记了模块)，该基本放大率设定部253A计算由校正值计算部251计算出的基本校正电压值除以初始基本电压值所得到的值，将该计算出的值设定为第一放大器253的放大率。
[0190]根据该结构，由第一 DAC252生成低于基本校正电压值的预先固定的电压值即初始基本电压值的直流电压。也就是说，与以生成多种电压值的直流电压的方式构成第一DAC252的情况相比，能够简单且廉价地构成第一 DAC252。
[0191]另外,在上述实施方式中，不出了第二放大器256将从第二 DAC255输出的直流电压V5以预先固定的放大率进行放大的例子。取而代之地，也可以由能够以可变的放大率将从第二 DAC255输出的直流电压进行放大的放大器来构成第二放大器256。
[0192]与此相应地，第二 DAC255向第二放大器56输出比校正值计算部251计算出的叠加校正电压值充分小的、预先固定的电压值(初始叠加电压值)的直流电压。并且构成为，曝光部115A还具备叠加放大率设定部256A(图18中用点线附记了模块)，该叠加放大率设定部256A计算由校正值计算部251计算出的叠加校正电压值除以初始叠加电压值所得到的值，将该计算出的值设定为第二放大器256的放大率。
[0193]根据该结构，由第二 DAC255生成低于叠加校正电压值的预先固定的电压值即初始叠加电压值的直流电压。也就是说，与以生成多种电压值的直流电压的方式构成第二DAC255的情况相比，能够简单且廉价地构成第二 DAC255。
[0194]另外，在基本正弦波Θ I的振幅A1和叠加正弦波Θ 3的振幅A3都处于初始状态而未发生变化的情况下，根据在图17中曲线Gtl所示的准三角波Θ ^的对称性，信号间隔t12与信号间隔t21相等。因而，在由校正值计算部251计算出的信号间隔t12与信号间隔t21不同的情况下失去所述对称性，可判断为基本正弦波Q1与叠加正弦波θ3之间产生相位差。
[0195]因此，也可以将校正值计算部251构成为如下:在计算出的信号间隔t12与信号间隔t21不同的情况下，基于实验值计算为了使计算出的信号间隔ti2与信号间隔t21相等而使叠加正弦波Θ 3的相位提前或滞后时的相位差，将该相位差输出到基本开关控制部2542或叠加开关控制部2572。在该情况下，基本开关控制部2542按照所输入的相位差使基本开关元件2541的切换时机偏移。或者，叠加开关控制部2572按照所输入的相位差使叠加开关元件2571的切换时机偏移。
[0196]此外，在上述实施方式中，以复合机为本发明所涉及的图像形成装置的一例进行了说明，但是本发明还可以应用于打印机、复印机或传真机等图像形成装置、扫描仪、投影仪或条形码读取器等光扫描装置。
[0197]根据如上所说明的本发明，能够廉价地提供对所述MEMS镜驱动电压进行校正从而补偿使扫描用的激光偏转的MEMS镜的偏转角的变化的光扫描装置以及具备该光扫描装置的图像形成装置。
【权利要求】
1.一种光扫描装置，其特征在于包括: 光源； MEMS镜，使从所述光源输出的激光偏转； 驱动部，利用以预先规定的基本周期变动的驱动电压使所述MEMS镜摇动； 光检测部，在预先规定的位置接收由所述MEMS镜偏转的激光，输出表示接收了激光的检测信号； 校正值计算部，基于由所述光检测部输出所述检测信号的时机计算校正电压值，所述校正电压值是在为了补偿所述MEMS镜的偏转角的变化而校正所述驱动电压时所使用的电压值； 直流电压生成部，生成电压值低于所述校正电压值的直流电压； 直流电压放大部，将由所述直流电压生成部生成的直流电压放大成与所述校正电压值相等的电压值；以及 波形整形部，将由所述直流电压放大部放大的直流电压的波形整形成以所述基本周期变动，并将其作为所述驱动电压输出到所述驱动部。
2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于: 所述驱动部包括根据所述驱动电压相互相反方向地驱动所述MEMS镜的第一驱动部和第二驱动部， 所述波形整形部，通过将由所述直流电压放大部放大的所述直流电压按所述基本周期的每一半周期交替地输出到所述第一驱动部和所述第二驱动部，使输出到所述第一驱动部和所述第二驱动部的所述驱动电压的波形分别整形成以所述基本周期变动的矩形波。
3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，所述波形整形部包括: 开关元件，设置于所述直流电压放大部与所述驱动部之间，将由所述直流电压放大部放大的所述直流电压的输出对象在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间切换；以及 开关控制部，按所述基本周期的每一半周期进行所述开关元件的切换。
4.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于: 所述校正值计算部还计算校正占空比，该校正占空比是表示将所述直流电压放大部放大的直流电压输出到所述驱动部的期间在所述基本周期中所占的比例， 所述波形整形部在所述基本周期中的与由所述校正值计算部计算出的所述校正占空比相对应的期间，将所述驱动电压设为高电平。
5.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于: 所述直流电压放大部采用以可变的放大率来放大由所述直流电压生成部生成的直流电压的放大器， 所述直流电压生成部生成低于所述校正电压值的预先固定的电压值的直流电压， 所述光扫描装置还包括放大率设定部，该放大率设定部将所述校正电压值除以所述预先固定的电压值所得到的值设定为所述可变的放大率。
6.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于: 所述直流电压放大部采用以预先固定的放大率放大由所述直流电压生成部生成的直流电压的放大器， 所述直流电压生成部生成所述校正电压值除以所述预先固定的放大率所得到的电压值的直流电压。
7.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于: 所述驱动部，利用基本驱动电压和叠加驱动电压使所述MEMS镜摇动，所述基本驱动电压是以所述基本周期变动的驱动电压，所述叠加驱动电压以比所述基本周期短的叠加周期变动， 所述校正值计算部，基于所述光检测部输出所述检测信号的时机，计算为了补偿所述MEMS镜的偏转角的变化在校正所述基本驱动电压时所使用的电压值和在校正所述叠加驱动电压时所使用的电压值， 所述直流电压生成部，是生成电压值低于所述基本校正电压值的直流电压的基本电压生成部， 所述直流电压放大部，是将由所述基本电压生成部生成的直流电压放大成与所述基本校正电压值相等的电压值的基本电压放大部， 所述波形整形部，是将由所述基本电压放大部放大的直流电压的波形整形成以所述基本周期变动的矩形波，并将其作为所述基本驱动电压输出到所述驱动部的基本波形整形部， 所述光扫描装置还包括: 叠加电压生成部，生成电压值低于所述叠加校正电压值的直流电压； 叠加电压放大部，将由所述叠加电压生成部生成的直流电压放大成与所述叠加校正电压值相等的电压值；以及 叠加波形整形部，将由所述叠加电压放大部放大的直流电压的波形整形成以所述叠加周期变动的矩形波，并将其作为所述叠加驱动电压输出到所述驱动部。
8.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于还包括: 可动框架； 固定框架，设置于所述可动框架的外侧； 第一扭杆，具有第一扭力轴，将所述MEMS镜以能够通过绕所述第一扭力轴的扭转动作转动的状态支承于所述可动框架；以及 第二扭杆，具有与所述第一扭力轴同轴的第二扭力轴，将所述可动框架以能够通过绕所述第二扭力轴的扭转动作转动的状态支承于所述固定框架，其中， 所述驱动部，通过利用所述基本驱动电压使所述第二扭杆进行所述扭转动作来使所述可动框架转动，并且利用所述叠加驱动电压使所述第一扭杆进行所述扭转动作来使所述MEMS镜转动，使所述MEMS镜摇动， 所述校正值计算部，以可抵消由整形成所述矩形波的基本驱动电压中包含的所述叠加周期的频率成分所产生的所述MEMS镜的驱动力的方式，计算所述叠加校正电压值。
9.根据权利要求8所述的光扫描装置，其特征在于: 所述驱动部包括:第一驱动部和第二驱动部，根据所述基本驱动电压相互相反方向地驱动所述可动框架；第三驱动部，根据所述叠加驱动电压与所述第一驱动部相同方向地驱动所述MEMS镜；以及第四驱动部，根据所述叠加驱动电压与所述第二驱动部相同方向地驱动所述MEMS镜， 所述基本波形整形部，通过将由所述基本电压放大部放大的所述直流电压按所述基本周期的每一半周期交替地输出到所述第一驱动部和所述第二驱动部，使输出到所述第一驱动部和所述第二驱动部的所述基本驱动电压的波形分别被整形成以所述基本周期变动的矩形波， 所述叠加波形整形部，通过将由所述叠加电压放大部放大的所述直流电压按所述叠加周期的每一半周期交替地输出到所述第三驱动部和所述第四驱动部，使输出到所述第三驱动部和所述第四驱动部的所述叠加驱动电压的波形分别被整形成以所述叠加周期变动的矩形波。
10.根据权利要求9所述的光扫描装置，其特征在于，所述基本波形整形部包括:基本开关元件，设置于所述基本电压放大部与所述驱动部之间，将由所述基本电压放大部放大的所述直流电压的输出对象在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间切换；以及基本开关控制部，按所述基本周期的每一半周期进行所述基本开关元件的切换。
11.根据权利要求9所述的光扫描装置，其特征在于，所述叠加波形整形部包括:叠加开关元件，设置于所述叠加电压放大部与所述驱动部之间，将由所述叠加电压放大部放大的所述直流电压的输出对象在所述第三驱动部与所述第四驱动部之间切换；以及叠加开关控制部，按所述叠加周期的每一半周期进行所述叠加开关元件的切换。
12.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于: 所述校正值计算部还计算基本校正占空比，该基本校正占空比表示将由所述基本电压放大部放大的直流电压输出到所述驱动部的期间在所述基本周期中所占的比例， 所述基本波形整形部， 在所述基本周期中的与由所述校正值计算部计算出的所述基本校正占空比相对应的期间，将所述基本驱动电压设为高电平。
13.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于: 所述校正值计算部还计算叠加校正占空比，该叠加校正占空比表示将由所述叠加电压放大部放大的直流电压输出到所述驱动部的期间在所述叠加周期中所占的比例， 所述叠加波形整形部，在所述叠加周期中的与由所述校正值计算部计算出的所述叠加校正占空比相对应的期间，将所述叠加驱动电压设为高电平。
14.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于: 所述基本电压放大部采用以预先固定的放大率放大由所述基本电压生成部生成的直流电压的放大器， 所述基本电压生成部，生成所述基本校正电压值除以所述基本电压放大部中使用的所述预先固定的放大率所得到的电压值的直流电压。
15.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于: 所述叠加电压放大部采用以预先固定的放大率放大由所述叠加电压生成部生成的直流电压的放大器， 所述叠加电压生成部，生成所述叠加校正电压值除以所述叠加电压放大部中使用的所述预先固定的放大率所得到的电压值的直流电压。
16.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于: 所述基本电压放大部采用以可变的放大率放大由所述基本电压生成部生成的直流电压的放大器， 所述基本电压生成部，生成初始基本电压值的直流电压，该初始基本电压值是低于所述基本校正电压值的预先固定的电压值， 所述光扫描装置还具备基本放大率设定部，该基本放大率设定部将所述基本校正电压值除以所述初始基本电压值所得到的值设定为所述基本电压放大部中使用的所述可变的放大率。
17.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于: 所述叠加电压放大部采用以可变的放大率放大由所述叠加电压生成部生成的直流电压的放大器， 所述叠加电压生成部生成初始叠加电压值的直流电压，该初始叠加电压值是低于所述叠加校正电压值的预先固定的电压值， 所述光扫描装置还具备叠加放大率设定部，该叠加放大率设定部将所述叠加校正电压值除以所述初始叠加电压值所得到的值设定为所述叠加电压放大部中使用的所述可变的放大率。
18.一种图像形成装置，其特征在于包括: 根据权利要求1所述的光扫描装置；以及 图像形成部，包括由所述光扫描装置形成潜像的感光体，将与所述潜像相对应的图像形成在纸上。`
【文档编号】H04N1/113GK103620477SQ201380001670
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年2月21日 优先权日:2012年2月22日
【发明者】水谷秀次 申请人:京瓷办公信息系统株式会社