1.一种用于提取高分辨率图像的光路改变单元，其中，光源发出的光经过固定物体入射到图像传感器上，其中光路改变单元允许图像传感器基于入射光获取具有第一分辨率的第一图像，并且其中基于第一图像提取具有第二分辨率的第二图像，其中第二分辨率高于第一分辨率，所述光路改变单元包括：
主体部；以及
可移动地连接至所述主体部的光路改变部，
所述光路改变部的移动允许所述图像传感器获取多个不同的第一图像，所述多个不同的第一图像用于提取所述第二图像，
其中，通过所述光路改变部的移动，入射到所述图像传感器上的光路被移动小于所述图像传感器的单元像素的距离，以及
其中，根据所述光路改变部的移动，所述固定物体被偏移地成像在所述图像传感器的成像表面上。
2.根据权利要求1所述的光路改变单元，其中，所述光路改变部将入射到所述图像传感器上的光路移动与假设单元像素的尺寸对应的单元间距的M(M为自然数)倍，其中，所述单元像素被平均分成N×N(N为自然数)份。
3.根据权利要求1所述的光路改变单元，其中，通过基于第一轴在第一方向上的旋转运动，所述光路改变部将入射到所述图像传感器上的光路在水平方向上移动与假设单元像素的尺寸对应的单元间距的一倍，其中，所述单元像素被平均分成N×N(N为自然数)份，
其中，通过基于与所述第一轴垂直的第二轴在第二方向上的旋转运动，所述光路改变部将入射到所述图像传感器上的光路在竖直方向上移动与假设单元像素的尺寸对应的单元间距的一倍，其中，所述单元像素被平均分成N×N(N为自然数)份，
其中根据N的值调整基于第一轴在第一方向上的旋转运动的次数和基于第二轴在第二方向上的旋转运动的次数。
4.根据权利要求1所述的光路改变单元，其中，所述光路改变部使得所述物体能够在水平方向、竖直方向及所述水平方向和所述竖直方向之间的对角线方向中的至少一个方向上偏移地成像在所述成像表面上。
5.根据权利要求4所述的光路改变单元，其中，所述光路改变部通过第一方向上的旋转运动使所述物体能够在所述水平方向上偏移地成像，通过第二方向上的旋转运动使所述物体能够在所述竖直方向上偏移地成像，通过第一方向上的旋转运动和第二方向上的旋转运动使所述物体能够在所述对角线方向上偏移地成像。
6.根据权利要求1所述的光路改变单元，其中，所述光路改变部保持入射到所述图像传感器上的光路与由所述光源发出的光入射的入射光的光路平行。
7.根据权利要求1所述的光路改变单元，其中，根据所述光路改变部基于所述主体部的移动程度和所述光路改变部的折射率及厚度中的至少一个确定入射到所述图像传感器上的光路。
8.根据权利要求1所述的光路改变单元，其中，所述光路改变部与所述主体部连接，以基于第一侧端面在第一方向上旋转且基于与所述第一侧端面相邻的第二侧端面在第二方向上旋转。
9.根据权利要求8所述的光路改变单元，其中，所述第一方向是绕第一轴旋转的方向，所述第二方向是绕垂直于所述第一轴的第二轴旋转的方向。
10.根据权利要求8所述的光路改变单元，还包括支撑部，所述支撑部支撑所述光路改变部并在所述光路改变部和所述主体部之间调节以使得所述光路改变部位于所述主体部上的预设位置处。
11.根据权利要求10所述的光路改变单元，其中，所述支撑部包括将所述光路改变部和所述主体部直接连接的第一支撑部和位于与所述主体部分离的位置的第二支撑部。
12.根据权利要求11所述的光路改变单元，其中，所述光路改变部包括第一位置移动部第二位置移动部；所述第一位置移动部可旋转地安装在所述第一支撑部处且连接至所述第二支撑部，以便当所述第一位置移动部被旋转时，所述第二支撑部被连锁和旋转；所述第二位置移动部可旋转地安装在所述第二支撑部处。
13.根据权利要求12所述的光路改变单元，其中，用于所述第一位置移动部的旋转的第一轴垂直于用于所述第二位置移动部的旋转的第二轴。
14.根据权利要求12所述的光路改变单元，其中，所述第二位置移动部随所述第一位置移动部的旋转一起被连锁和旋转，且所述第一位置移动部独立于第二位置移动部的旋转而旋转。
15.根据权利要求14所述的光路改变单元，其中，所述第二位置移动部包括所述光源发出的光穿过的透射部和支撑所述透射部且连接至所述第二支撑部的透射部安装部。
16.根据权利要求14所述的光路改变单元，其中，所述第一位置移动部被布置为与所述主体部间隔开，且所述第二位置移动部被布置为与所述第一位置移动部间隔开。
17.根据权利要求12所述的光路改变单元，还包括驱动部，所述驱动部提供用于所述第一位置移动部相对于所述第一支撑部的旋转的驱动力和所述第二位置移动部相对于所述第二支撑部的旋转的驱动力中的至少一个。
18.根据权利要求17所述的光路改变单元，其中，所述驱动部使得入射到所述图像传感器上的光路能够被移动与假设单元像素的尺寸对应的单元间距，其中，所述单元像素被平均分成N×N(N为自然数)份。
19.一种光路改变模块，包括：
根据权利要求1-18中任一项所述的用于提取高分辨率图像的光路改变单元；
用于容纳至少一个透镜的壳体；以及
具有成像表面的图像传感器，
其中所述用于提取高分辨率图像的光路改变单元被布置在所述至少一个透镜的外部以使得路径被改变的光穿过所述至少一个透镜，或被布置在所述至少一个透镜和所述图像传感器之间以使得所述光源发出的光穿过所述至少一个透镜，光路被改变，然后光入射到所述图像传感器上。
20.根据权利要求19所述的光路改变模块，其中，所述用于提取高分辨率图像的光路改变单元可拆卸地安装在所述壳体处。
21.一种用于检测半导体基板上的图案的装置，包括：
根据权利要求19所述的用于提取高分辨率图像的光路改变模块；
用于朝所述半导体基板发光的光源；以及
用于支撑所述半导体基板的基板支撑部，
其中所述物体包括在所述半导体基板上形成的所述图案。