技术特征：
技术总结
本发明公开了一种电容式麦克风及其制作方法。该麦克风包括衬底、背极和振膜，衬底具有背腔，背极和振膜被悬置在背腔的上方，振膜和背极构成电容器的上电极和下电极，振膜由非结晶金属合金制作而成，振膜与背极之间具有振动间隙，背极具有连通振动间隙和外部空间的通孔，背腔与振动间隙相对设置。该电容式麦克风的振膜由非结晶金属合金材料制作而成，该材料具有良好的断裂韧性及弹性极限，使得振膜在吹气或者喷气时能够承受更高的气压，避免了振膜的破损，提高了电容式麦克风的良品率。此外，有较低的弹性系数，可使振膜变形较大，获得更佳的灵敏度。
技术研发人员：蔡孟錦;林育菁;周宗燐;邱冠勳;詹竣凱
受保护的技术使用者：歌尔股份有限公司
技术研发日：2017.03.30
技术公布日：2017.07.07