11A。并 且，反射膜设置部512的突出前端面成为反射膜设置面512A。
[0070] 另外，在固定基板51上，设置有从电极配置槽511朝向固定基板51的外周缘的顶 点C1、顶点C2延伸出的电极引出槽511B。
[0071] 在电极配置槽511的电极设置面511A上设置有构成静电致动器56的固定电极 561。更具体来说，固定电极561设置于电极设置面511A中的、与后述的可动部521的可动 电极562相对的区域。另外，也可以采用在固定电极561上层压用于确保固定电极561和 可动电极562之间的绝缘性的绝缘膜的构成。
[0072] 并且，在固定基板51上设有从固定电极561的外周缘向顶点C2方向伸出的固定 引出电极563。该固定引出电极563的延伸前端部（位于固定基板51的顶点C2的部分） 构成与电压控制部13连接的固定电极垫563P。
[0073] 在本实施方式中，虽然示出了在电极设置面511A设置一个固定电极561的构成， 但是，例如也可以采用设置两个电极的构成（双重电极构成）等，这两个电极形成以平面中 心点0为中心的同心圆。
[0074] 如上所述，反射膜设置部512与电极配置槽511在同轴上，被形成为直径尺寸小于 电极配置槽511的略圆柱形，具有该反射膜配置部512的与可动基板52相对的反射膜设置 面 512A。
[0075] 如图3所示，在该反射膜设置部512设置有固定反射膜54。作为该固定反射膜54， 例如可以使用Ag等金属膜、Ag合金等合金膜。另外，例如也可以使用高折射层用Ti02，低 折射层用SiOj^电介质多层膜。而且，也可以使用在电介质多层膜上层压了金属膜（或合 金膜）的反射膜、在金属膜（或合金膜）上层压了电介质多层膜的反射膜、层压了单层的折 射层〇10 2、5102等）和金属膜（或合金膜）的反射膜等。
[0076] 另外，也可以在固定基板51的光入射面（未设置固定反射膜54的面）的与固定 反射膜54对应的位置形成防反射膜。该防反射膜可以通过交替层压低折射率膜和高折射 率膜而形成，其降低固定基板51的表面的可见光的反射率，增加透过率。
[0077] 并且，在固定基板51的与可动基板52相对的面中，未通过蚀刻形成电极配置槽 511、反射膜设置部512和电极引出槽511B的面构成第一接合部513。在该第一接合部513 设置有第一接合膜531，该第一接合膜531与设于可动基板52的第二接合膜532接合，从而 如上所述，固定基板51和可动基板52相接合。
[0078](可动基板的构成）
[0079] 在图2所示的滤波器俯视观察中，可动基板52具备以平面中心点0为中心的圆形 的可动部521、与可动部521同轴并保持可动部521的保持部522、以及设置在保持部522 外侧的基板外周部525。
[0080] 另外，如图2所示，在可动基板52上与顶点C2对应地形成有切口部524,从可动基 板52侧看波长可变干涉滤波器5时，固定电极垫563P露出。
[0081] 可动部521被形成为厚度尺寸大于保持部522,例如，在本实施方式中，形成为与 可动基板52的厚度尺寸相同的尺寸。该可动部521在滤波器俯视观察中，直径尺寸被形成 得至少大于反射膜设置面512A的外周缘的直径尺寸。并且，在该可动部521设置有可动电 极562和可动反射膜55。
[0082] 另外，与固定基板51 -样，也可以在可动部521的与固定基板51相反一侧的面形 成防反射膜。这样的防反射膜可以通过交替层压低折射率膜和高折射率膜形成，其可以降 低可动基板52的表面的可见光的反射率，增加透过率。
[0083] 可动电极562隔着间隙Gb与固定电极561相对，被形成为与固定电极561相同形 状的环形。该可动电极562与固定电极561-起构成静电致动器56。并且，在可动基板52 具备从可动电极562的外周缘向着可动基板52的顶点C1延伸出的可动引出电极564。该 可动引出电极564的延伸前端部（位于可动基板52的顶点C1的部分）构成与电压控制部 13连接的可动电极垫564P。
[0084] 可动反射膜55以与固定反射膜54隔着间隙Ga相对的方式设置在可动部521的 可动面521A的中心部。该可动反射膜55使用与上述固定反射膜54相同构成的反射膜。
[0085] 另外，如上所述，在本实施方式中示出了间隙Gb大于间隙Ga的尺寸的例子，但不 局限于此。例如，使用红外线、远红外线作为测定对象光的情况下等，也可以根据测定对象 光的波长范围形成间隙Ga的尺寸大于间隙Gb的尺寸的构成。
[0086] 保持部522是围住可动部521周围的隔膜，厚度尺寸被形成得小于可动部521。这 样的保持部522比可动部521更容易挠曲，稍微的静电引力就可以使可动部521向固定基 板51侧位移。此时，由于可动部521的厚度尺寸大于保持部522,刚性更大，因此，即使保持 部522被静电引力拉向固定基板51侧时，可动部521的形状也不会发生变化。因此，设置 在可动部521的可动反射膜55也不会产生挠曲，可以始终将固定反射膜54和可动反射膜 55保持为平行状态。
[0087] 另外，在本实施方式中，示出了隔膜状的保持部522,但不局限于此。例如也可以采 用以平面中心点0为中心设置以等角度间隔配置的梁状的保持部的构成等。
[0088] 如上所述，基板外周部525在滤波器俯视观察中设置在保持部522的外侧。该基 板外周部525的与固定基板51相对的面具备与第一接合部513相对的第二接合部523。并 且，在该第二接合部523设有第二接合膜532,如上所述，第二接合膜532与第一接合膜531 接合，从而固定基板51和可动基板52相接合。
[0089] (摄像元件、检测信号处理部、以及电压控制部的构成）
[0090] 接着，返回图1，说明光学模块10。
[0091] 摄像元件11接收（检测）透过波长可变干涉滤波器5的光，并向检测信号处理部 12输出基于受光量的检测信号。可以使用CCD、CMOS等各种图像传感器作为摄像元件11。
[0092] 检测信号处理部12在放大所输入的检测信号（模拟信号）之后转换为数字信号 并输出到控制部30。检测信号处理部12由放大检测信号的放大器、将模拟信号转换为数字 信号的A/D转换器等构成。
[0093] 电压控制部13基于控制部30的控制，对波长可变干涉滤波器5的静电致动器56 施加驱动电压。由此，在静电致动器56的固定电极561与可动电极562之间产生静电引力， 可动部521向固定基板51侧位移。
[0094](显示部及操作部的构成）
[0095]显示部21例如由液晶面板、等离子显示板（PDP;PlasmaDisplayPanel)、有机EL 显不板等各种显不面板构成。显不部21基于控制部30的控制而显不实时图像等。
[0096] 操作部22例如由鼠标、键盘、触摸面板等、可检测用户操作的各种装置构成。
[0097](控制部的构成）
[0098] 接着，说明分光测定装置1的控制部30。
[0099] 控制部30通过组合例如CPU、存储器等而构成，控制分光测定装置1的整体动作。 该控制部30如图1所示，具备滤波器驱动部31、光量取得部32、合成部33、显示控制部34、 分光测定部35、以及存储部36。
[0100] 此外，存储部36存储用于控制分光测定装置1的各种程序、各种数据。该数据例 如是表示相对于向静电致动器56施加的驱动电压的透过光的波长的V-A数据、与对测定 对象X进行测定时的测定波长相关的信息（测定开始波长、波长的变更间隔、及测定结束波 长等）。
[0101] 滤波器驱动部31设定通过波长可变干涉滤波器5取出的光的目标波长，其基于 V-A数据，将旨在向静电致动器56施加与所设定的目标波长对应的驱动电压的指令信号 输出到电压控制部13。
[0102] 光量取得部32使