专利名称：可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体生长热场结构，特别是一种可以调节固液界面温度梯度的坩
埚盖板。
背景技术：
在晶体生长中，温度梯度的控制十分重要；控制坩埚中固液界面的温度梯度更是生长出优质晶体材料的关键。不同的晶体材料不同的生长方法，对固液界面的要求不同；固液界面的梯度成为生长出优质晶体的关键技术，传统等厚开孔的坩埚盖板设计不能提供合适的温场(参见图l和图2)。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种通过改变坩埚盖板来调节固液界面的梯度，并得到晶体生长所需要的高温和温度分布，从而提高了晶体尺寸和质量的一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板。 本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现 —种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板，其特征在于所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。 所述坩埚盖板的材料是高熔点金属或合金，或者是高熔点陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的组合。 所述中心点到边缘之间连线除等厚外，呈线性、非线性、球面、非球面、椭圆、波浪形。 本实用新型的有益效果是将坩埚盖板内侧面制成非等厚，改变了热辐射、热对流和热传导，使得固液界面的温度分布到达工艺的要求，提高了晶体的尺寸和质量。
图1是传统坩埚和坩埚盖板结构示意图； 图2是图1的俯视图； 图3是本实用新型坩埚盖板一种实施例示意图； 图4是图3的俯视图； 图5是本实用新型坩埚盖板另一种实施例示意图； 图6是图5的俯视图。
具体实施方式为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。[0016] 如图3、4所示，结合图l可知，一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，主要用于晶体生长用坩埚1上的坩埚盖板2，坩埚盖板2由高熔点金属或合金，或者是高熔点陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的组合制成。在沿坩埚盖板2内壁的中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度，形成阶梯状21的台面。[0017] 如图5、6所示，在沿坩埚盖板2内壁的中心点处向外延伸，同心圆环的圆环面制有不同的厚度，形成直线性22的台面。 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板，其特征在于所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。
2. 根据权利要求1所述可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，其特征在于所述坩 埚盖板的材料是高熔点金属或合金，或者是高熔点陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料 中任意的组合。
专利摘要一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板，涉及晶体生长热场结构，主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板，其特征在于所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸，每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。有益效果是将坩埚盖板内侧面制成非等厚，改变了热辐射、热对流和热传导，使得固液界面的温度分布到达工艺的要求，提高了晶体的尺寸和质量。
文档编号C30B11/00GK201538827SQ20092021023
公开日2010年8月4日 申请日期2009年9月27日 优先权日2009年9月27日
发明者黄小卫 申请人:上海元亮光电科技有限公司