硅片制绒用片架的制作方法

文档序号:8038751阅读:322来源:国知局
专利名称:硅片制绒用片架的制作方法
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制作设备技术领域,更具体地说,涉及一种硅片制绒 用片架。
背景技术
硅单体太阳能电池的主要生产工艺包括表面制备、扩散制结、减反射膜和制作电 极等工序。其中硅片的表面制备是制造太阳能电池的第一步,主要包括对硅片的化学清洗 和表面腐蚀。在硅片的生产过程中,通常由单晶棒切割制成的硅片表面具有污染杂质,比如油 脂、松香等有机物或者含有金属离子的无机化合物。在太阳能电池的制作过程中需要将上 述杂质去除,保证硅片表面的干净。目前常用的去污剂是过氧化氢溶液,在对硅片进行初步 的去污后,还需要对硅片的表面进行腐蚀制绒,主要是因为单晶棒进行机械切割后会对硅 片的表面造成30 50mm的损伤层,将损伤层去除的过程就是腐蚀制绒的过程。硅片进行 制绒的原理是,利用硅的各向异性对其进行腐蚀,在硅片表面形成无数的四面方锥体。上述 制绒的过程中通常使用的是热的碱性溶液,也可以使用廉价的氢氧化钠溶液来制绒,温度 在80°C,为了获得均勻的制绒面,还可以在溶液中添加醇类作为络合剂,加快硅片的腐蚀。上述硅片进行制绒时需要放置在片架中进行,目前常用的片架主要结构是片架的 侧壁上设置用于放置硅片的通槽,将整个硅片放置在通槽中进行制绒,但是上述片架中,硅 片的两侧全部设置在通槽中,导致了硅片放置在通槽中的侧边与通槽的接触面积过大,使 得硅片侧边很大一部分不能与溶液充分接触,导致边缘制绒效果不理想,出现边缘色斑等 情况,导致了硅片的合格率下降,通常采用的方法是通过增加腐蚀液溶液来改善效果,这无 疑增加了硅片的制绒成本。

实用新型内容有鉴于此,本实用新型提供了一种硅片制绒用片架,以减少硅片制绒过程中出现 的边缘色斑,提高硅片制绒的质量。为了达到上述目的,本实用新型实施例提供如下技术方案—种硅片制绒用片架,包括设置有第一卡梳的第一侧壁;与所述第一侧壁相对,且设置有与所述第一卡梳配合的第二卡梳的第二侧壁。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一侧壁和第二侧壁相互平行。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一侧壁上靠近其底部的部位还设置有与 所述第一卡梳相配合的第三卡梳,所述第二侧壁靠近其底部的部位还设置有与所述第二卡 梳相配合的第四卡梳。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一卡梳、第二卡梳、第三卡梳和第四卡梳 上的卡槽均为V型槽。[0013]优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一卡梳的卡槽和第三卡梳的卡槽的纵截 面均与所述第一侧壁垂直;第二卡梳的卡槽和第四卡梳的卡槽的纵截面均与所述第二侧壁垂直。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一卡梳与所述第二卡梳位于同一高度,所 述第三卡梳和第四卡梳位于同一高度。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一侧壁和第二侧壁的底端均设置有底板, 所述底板上设置有通道。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述通道的截面为矩形、方形或者圆形。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第三卡梳和第四卡梳的卡槽均与所述通道 相通。优选的,上述硅片制绒用片架中,所述第一侧壁的底板上设置有第一支撑槽,所述 第二侧壁的底板上设置有第二支撑槽。由上述技术方案可知,本实用新型实施例提供的硅片制绒用片架中,在第一侧壁 上设置第一卡梳,在第二侧壁上设置第二卡梳,在硅片制绒的过程中,将硅片的两侧安装在 第一卡梳和第二卡梳中。本实用新型实施例中提供的硅片制绒用片架中,改变了现有的片 架在侧壁上设置通槽的结构形式,在第一侧壁上设置第一卡梳,在第二侧壁上设置第二卡 梳,第一卡梳和第二卡梳在制绒的过程中将硅片的部分边缘卡住,与现有的通槽的结构形 式相比,减小了硅片边缘与片架的接触面积,增大了硅片边缘与溶液的接触面积,使得制绒 更加充分,减少了边缘色斑,提高了硅片制绒的质量。

图1为本实用新型实施例提供的硅片制绒用片架的结构示意图;图2为图1中A部分的放大结构示意图。
具体实施方式
为了更清楚地了解本实用新型中的技术方案,现在就申请文件中的技术名词进行 解释如下片架,指的是在制绒时用于装载硅片的耐酸碱的专用器具。卡梳,指的是设置有多个卡槽,类似于梳子的装置。下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行 清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部 的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前 提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例公开了一种硅片制绒用片架,减少了硅片制绒过程中出现的边 缘色斑,提高了硅片制绒的质量。请参考附图1-2,图1为本实用新型实施例中提供的硅片制绒用片架的结构示意 图,图2为图1中A部分的放大结构示意图。本实用新型实施例提供的硅片制绒用片架,包括第一侧壁2、第二侧壁3和连接壁 1,其中[0029]第一侧壁2和第二侧壁3通过连接壁1连接,且相对设置;第一侧壁2上设置有第一卡梳21,第二侧壁3上设置有第二卡梳31,且第二卡梳 31和第一卡梳21相对配合用于放置硅片,硅片放置在该片架中,其两侧分别由第一卡梳21 和第二卡梳31进行定位,硅片的底部放置在第一侧壁2和第二侧壁3的底部,将硅片放置 在上述片架上后,进行硅片的清洗制绒工作。现有的硅片制绒用片架中,在片架的第一侧壁和第二侧壁上设置有通槽,硅片进 行制绒处理时,硅片的两个侧边放置在通槽中,由于整个硅片的两个侧边全部与通槽进行 接触,使得硅片与通槽的接触面积增大,而在制绒时硅片的两侧与溶液的接触不充分,造成 边缘色斑大量出现的情况,降低了硅片制绒的质量。而本实用新型实施例中提供的硅片制 绒用片架中,对现有的硅片制绒用片架进行改进,在第一侧壁2和第二侧壁3上分别设置第 一卡梳21和第二卡梳31,第一卡梳21和第二卡梳31只与硅片两侧的部分边缘进行接触, 减少了片架与硅片的接触面积,即增大了硅片在制绒过程中与溶液的接触面积,使得整个 硅片制绒更加充分,减少了边缘色斑的数量,提高了硅片制绒的质量。第一侧壁2和第二侧壁3是整个片架的支撑架,硅片是由设置在第一侧壁2上的 第一卡梳21和设置在第二侧壁3上的第二卡梳31进行定位,第一侧壁2和第二侧壁3相 互之间可以呈一定的倾角设置,也可以平行设置。优选的,上述第一侧壁2和第二侧壁3平 行设置,在保证整个片架在实现其功能的前提下,减少了整个片架的占用空间。本实用新型实施例提供的硅片制绒用片架中,在第一侧壁2上靠近其底部的部位 还设置有与第一卡梳21相互配合的第三卡梳22,在第二侧壁靠近其底部的部位还设置有 与第二卡梳31相互配合的第四卡梳(图中未示出)。上述改进,使得第一侧壁上2具有两 件卡梳,分别为第一卡梳21和第三卡梳22 ;第二侧壁3上具有两件卡梳,分别为第二卡梳 31和第四卡梳,虽然上述改进中,增加卡梳的数量在一定程度上减少了本实施例中硅片与 制绒溶液的接触面积,但是相对于现有技术的片架,其结果还是使得硅片与制绒溶液的接 触面积增大,同时在第一侧壁2和第二侧壁3上均设置有两件卡梳,使得硅片更加稳定地设 置在片架上进行制绒。上述实施例中提供的硅片制绒用片架中,第一卡梳21、第二卡梳31、第三卡梳22 和第四卡梳上的卡槽可以为各种形状的槽,如弧形槽,V型槽、梯形槽。优选的,上述第一卡 梳21、第二卡梳31、第三卡梳22和第四卡梳上的卡槽为V型槽,因为硅片具有一定的厚度, 在向片架放置后,V型槽使得硅片侧边的边缘与V型槽接触,此时V型槽与硅片的接触为线 接触,进一步减少了硅片与上述卡梳的接触面积,制绒时硅片与溶液的接触更加充分,进一 步减少了边缘色斑的数量。上述实施例中提供的硅片制绒用片架中,第一卡梳21、第二卡梳31、第三卡梳22 和第四卡梳的卡槽为V型槽,更优选的,第一卡梳21和第三卡梳22的卡梳的纵截面均与第 一侧壁2垂直;第二卡梳31和第四卡梳的卡槽的纵截面均与第二侧壁3垂直,如图1即为 片架的工作放置状态,上述结构关系,第一侧壁2和第二侧壁3平行,使得在整个片架在相 同的侧壁长度内布置更多的卡槽,增加了片架卡装硅片的数量。上述实施例中提供的硅片制绒用片架中,第一侧壁2和第二侧壁3相对设置。优 选的,上述第一侧壁2上的第一卡梳21与第二侧壁3上的第二卡梳31位于同一高度,第一 侧壁2上的第三卡梳22和第二侧壁3上的第四卡梳位于同一高度,这样可以将第一侧壁2和第二侧壁3设计成一样的结构,在整个片架的制作过程中,第一侧壁2和第二侧壁3进行 同规格的生产,无需分开制造,节约工序,降低了部件的生产成本。在硅片安装到上述实施例所述的硅片制绒用片架中时,硅片的两侧靠第一侧壁2 和第二侧壁3上的卡梳进行定位,而硅片的底侧通过第一侧壁2和第二侧壁3的底板进行 支撑,可以在第一侧壁2和第二侧壁3的底板上设置各种形式的定位装置,例如在底板上设 置各种夹子,从而实现对硅片进行支撑并相互隔离。请参考附图2,本实施例中提供的硅片 制绒用片架中,在第一侧壁2上设置有第一支撑槽23,在第二侧壁3上设置有第二支撑槽 (图中未示出),实现各个硅片的支撑和相互隔离。本实施例中提供的硅片制绒用片架中,为了提高硅片在整个制绒过程中与溶液的 接触和溶液的流动,上述第一侧壁2和第二侧壁3的底板上设置有通道,当然通道的截面形 状可以为各种形状,优选的,上述通道的截面形状为圆形、矩形或者方形等规则的形状,结 构简单,制造方便。更优选的方案,当上述通道为规则形状时,例如第一侧壁2的底板的方 形通道对,在设计时,可以使得通道的中心轴线与第一卡梳21、第二卡梳31、第三卡梳22和 第四卡梳的卡槽的轴线重合,使得硅片的底侧边缘不受通道端口的边缘影响,实现硅片的 底侧与溶液更加充分地接触。对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新 型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定 义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因 此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理 和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种硅片制绒用片架,其特征在于,包括 设置有第一卡梳(21)的第一侧壁(2);与所述第一侧壁(2)相对,且设置有与所述第一卡梳(21)配合的第二卡梳(31)的第二侧壁⑶。
2.根据权利要求1所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一侧壁(2)和第二侧壁 (3)相互平行。
3.根据权利要求2所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一侧壁(2)上靠近其底 部的部位还设置有与所述第一卡梳(21)相配合的第三卡梳(22),所述第二侧壁(3)靠近其 底部的部位还设置有与所述第二卡梳(31)相配合的第四卡梳。
4.根据权利要求3所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一卡梳(21)、第二卡梳 (31)、第三卡梳(22)和第四卡梳上的卡槽均为V型槽。
5.根据权利要求4所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一卡梳(21)的卡槽和 第三卡梳(22)的卡槽的纵截面均与所述第一侧壁(2)垂直;第二卡梳(31)的卡槽和第四 卡梳的卡槽的纵截面均与所述第二侧壁(3)垂直。
6.根据权利要求5所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一卡梳(21)与所述第 二卡梳(31)位于同一高度,所述第三卡梳(22)和第四卡梳位于同一高度。
7.根据权利要求3所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一侧壁(2)和第二侧壁 (3)的底端均设置有底板,所述底板上设置有通道。
8.根据权利要求7所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述通道的截面为矩形、方形 或者圆形。
9.根据权利要求8所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第三卡梳(22)和第四卡 梳的卡槽均与所述通道相通。
10.根据权利要求7所述的硅片制绒用片架,其特征在于,所述第一侧壁(2)的底板上 设置有第一支撑槽(23),所述第二侧壁(3)的底板上设置有第二支撑槽。
专利摘要本实用新型实施例公开了一种硅片制绒用片架,包括设置有第一卡梳(21)的第一侧壁(2);与所述第一侧壁(2)相对,且设置有与所述第一卡梳(21)配合的第二卡梳(31)的第二侧壁(3)。本实用新型实施例中提供的硅片制绒用片架中,改变了现有的片架在侧壁上设置通槽的结构形式,在第一侧壁上设置第一卡梳,在第二侧壁上设置第二卡梳,第一卡梳和第二卡梳在制绒的过程中将硅片的部分边缘卡住,与现有的通槽的结构形式相比,减小了硅片边缘与片架的接触面积,增大了硅片边缘与溶液的接触面积,使得制绒更加充分,减少了边缘色斑,提高了硅片制绒的质量。
文档编号C30B33/10GK201853732SQ201020601160
公开日2011年6月1日 申请日期2010年11月10日 优先权日2010年11月10日
发明者李建飞, 杨征, 樊选东, 郭建东, 黄镇 申请人:江阴浚鑫科技有限公司
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