专利名称：一种用于取单晶的支架保护装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于取单晶的支架保护装置，该支架保护装置适用于各种型 号的单晶炉。
背景技术：
随着半导体用单晶的不断发展，用切克劳斯基(Czochralski)法拉制的硅单晶尺 寸越来越大，相应的单晶炉的炉筒直径也越来越大，这就导致了单晶拉制完成后取单晶越 来越复杂，越来越有不安全性。取大直径单晶时，首先要把单晶降到足够低的位置，升起上炉室，然后作业人员手 臂伸进炉筒，剪断籽晶，最后移开上炉室，用起重设备提起单晶棒。在这个过程中，人手臂伸 进炉筒时，如果由于设备故障等原因上炉室突然掉下，不但损坏单晶，更重要的是砸伤作业 人员，酿成安全事故。所以需要发明一个取单晶的保护装置。
发明内容本实用新型的目的是提供一种用于取单晶的支架保护装置，使用本装置可保证作 业的安全。为达到上述的目的，本实用新型采用以下技术方案；这种用于取单晶的支架保护装置，其特征在于它包括支架、支块、把手，所述的 支架为一弧形板，板的一侧设有上平台及下平台，上平台的下平面设凹槽I，其下平台设螺 纹孔II，支架与支块连接，把手与支架相连接。其中支架是用不锈钢焊接而成，支块采用有一定的强度和弹性材料制成，例如木头等。支架和支块用两个长螺栓连接，支架与把手用两个螺栓连接，使用时将支架用紧顶螺钉顶紧在炉筒上。弧形板的弧度视炉筒的直径而定，其弧 度在15度至20度之间，所述的支块的长度决定于本装置使用时采用几个保护装置，一般用 3个本装置即可。本实用新型的优点是大大提升了取单晶的安全性。
图1工作状态剖面图图2工作状态右视图图3支架剖视图图4支架右视图图5支架俯视图图6支块正视图图7工作布置图具体实施方式
如图1和图2所示整个保护装置包括支架1、支块2、紧顶螺钉5、螺栓6和把手7
等组成。如图3所示，整个支架由不锈钢焊接而成，支架上平台的下平面设凹槽I，其下平 台设螺纹孔II，凹槽I是为了在使用时不损坏炉筒上沿的密封圈3，下平台的螺纹孔是为了 与紧顶螺钉配合使用，支架的上半部分有四个螺纹孔al、a2、bl、b2，其中al、a2是与支块连 接使用的，bl,b2是用来安装把手用的。图4是支架的右视图，图5是支架的俯视图。图6是支块视图，它采用有一定的强度和弹性材料制成，例如木头、四氟等，支块 中有两个通孔Cl、C2，它与支架用两个长螺钉连接。如图2所示，为了便于取用和安装设计了把手7，把手7与支架1用两个螺栓8连接。图7是工作布置图，其中3套保护装置沿圆周均勻布置，其它数量的保护装置布置 方式视需要而定。
权利要求1.一种用于取单晶的支架保护装置，其特征在于它包括支架、支块、把手，所述的支 架为一弧形板，板的一侧设有上平台及下平台，上平台的下平面设凹槽I，其下平台设螺纹 孔II，支架与支块连接，把手与支架相连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于取单晶的支架保护装置，其特征在于弧形板的弧 度在15度至20度之间。
3.根据权利要求1所述的一种用于取单晶的支架保护装置，其特征在于支架与支块 连接方式是通过螺栓连接。
4.根据权利要求1或2所述的一种取单晶的支架保护装置，其特征在于把手与支架 通过螺栓连接。
5.根据权利要求1所述的一种取单晶的支架保护装置，其特征在于支块是用木头制成。
专利摘要一种用于取单晶的支架保护装置，它包括支架、支块、把手，所述的支架为一弧形板，板的一侧设有上平台及下平台，上平台的下平面设凹槽I，其下平台设螺纹孔II，支架与支块连接，把手与支架相连接。弧形板的弧度视炉筒的直径而定，其弧度在15度至20度之间，所述的支块的长度决定于本装置使用时采用几个保护装置，一般用3个本装置即可。本实用新型的优点是在取大直径单晶前，首先把此装置安装在炉盖和炉筒之间，在手伸进炉筒时保证安全性。
文档编号C30B15/00GK201864793SQ20102067084
公开日2011年6月15日 申请日期2010年12月10日 优先权日2010年12月10日
发明者刘红艳, 崔彬, 李晨, 杜娟, 田玉涛, 赵晶 申请人:北京有色金属研究总院, 有研半导体材料股份有限公司