专利名称：硅单晶炉炉盖观察窗的制作方法
技术领域：
本发明涉及硅单晶炉炉盖，尤其涉及一种硅单晶炉炉盖观察窗。
背景技术：
请参阅图1及图2所示，图1为传统的硅单晶炉炉盖观察窗的俯视图，图2为传统的硅单晶炉炉盖观察窗的侧视图，传统的硅单晶炉炉盖1上分别设置有第一观察窗10和第二观察窗11，所述第一观察窗10用于利用摄像机3进行观察，第二观察窗11用于人工进行观察，且所述第一观察窗10设置于炉盖1的竖直方向上，第二观察窗11设置于炉盖1的水平方向上，一般第一观察窗10处设置有2个摄像头，它们的俯角不一样。传统的硅单晶炉炉盖观察窗的设计会限制摄像头的俯角，存在观察盲区。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅单晶炉炉盖观察窗，其具有结构简单，对摄像头俯角限制小的特点。本发明的目的是通过以下技术方案来实现一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其中，且所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。特别地，所述摄像头设置为2个，沿炉盖的径向线并列设置于第一观察窗窗口处。特别地，所述第一、第二观察窗为椭圆形、矩形或长圆形的任一种结构。本发明的有益效果为，所述硅单晶炉炉盖观察窗的第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上，第一观察窗窗口处沿炉盖的径向线并列设置有2个摄像头，使第一观察窗对摄像头的俯角范围很宽，因而可以适用于不同的工艺环境，同时摄像机的安装调试也很方便。
下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。图1为传统的硅单晶炉炉盖观察窗的俯视图，图2为传统的硅单晶炉炉盖观察窗的侧视图，图3为本发明硅单晶炉炉盖观察窗的俯视图，图4为本发明硅单晶炉炉盖观察窗的侧视图。
具体实施例方式请参照图3及图4所示，图3为本发明硅单晶炉炉盖观察窗的俯视图，图4为本发明硅单晶炉炉盖观察窗的侧视图。于本实施例中，一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖2之上的第一观察窗20和第二观察窗21，所述第一观察窗20和第二观察窗21均设置于炉盖2所处平面的水平方向上，所述第一观察窗21的窗口处设置有2个摄像头 3，摄像头3沿炉盖2的径向线并列设置，且所述第一观察窗20和第二观察窗21均为椭圆形结构。
上述硅单晶炉炉盖观察窗的第一观察窗20和第二观察窗21均设置于炉盖2的水平方向上，第一观察窗20的窗口处沿炉盖的径向线并列设置有2个摄像头3，使第一观察窗20对摄像头3的俯角范围很宽，因而可以适用于不同的工艺环境，同时摄像机的安装调试也很方便。以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性，可随观察窗的形状以及摄像头的设置个数的改变而改变。本发明不受上述事例限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求
1.一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗的窗口处设置有若干个摄像头，其特征在于所述第一、第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上。
2.根据权利要求1所述的硅单晶炉炉盖观察窗；其特征在于所述摄像头设置为2个， 沿炉盖的径向线并列设置于第一观察窗窗口处。
3.根据权利要求1所述的硅单晶炉炉盖观察窗；其特征在于所述第一、第二观察窗为椭圆形、矩形或长圆形的任一种结构。
全文摘要
本发明公开一种硅单晶炉炉盖观察窗，其包括设置于硅单晶炉炉盖之上的第一观察窗和第二观察窗，所述第一观察窗和第二观察窗均设置于炉盖所处平面的水平方向上，所述第一观察窗的窗口处设置有2个摄像头，摄像头沿炉盖的径向线并列设置，上述硅单晶炉炉盖观察窗的第一、第二观察窗均设置于炉盖的水平方向上，第一观察窗窗口处沿炉盖的径向线并列设置有2个摄像头，使第一观察窗对摄像头的俯角范围很宽，因而可以适用于不同的工艺环境，同时摄像机的安装调试也很方便。
文档编号C30B15/26GK102181942SQ201110100368
公开日2011年9月14日 申请日期2011年4月21日 优先权日2011年4月21日
发明者惠梦君 申请人:无锡市惠德晶体控制设备有限公司