晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构的制作方法

文档序号:8151814阅读:345来源:国知局
专利名称:晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及熔体籽晶法单晶生长设备,尤其涉及一种晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构
技术背景许多钨丝发热体高温电阻炉必须采用低电压大电流方式供电,多根钨丝发热体同时并联于两个极性的电极上,为减少加热丝直接接触电极对其造成损坏,一般对钨丝末端采用捆束多根细钨丝以加大通电截面积再安装于电极的方式,该方法不仅安装维护不便, 而且容易因发热丝周围细丝的松脱造成接触不良。

实用新型内容为了克服上述现在技术的不足,本实用新型提供一种加热棒两端分别连接一个截面较粗的难熔金属棒上,再将较粗的难熔金属棒固定到水冷电极上;此方法解决了安装维护不便的问题,避免了电气间隙起弧以及电极热损坏,避免了因加热钨丝周围细丝的松脱造成接触不良。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,其特征在于在加热棒两端分别连接一个截面较粗的难熔金属棒上,再将较粗的难熔金属棒固定到水冷电极上。作为本实用新型的进一步改进,所述难熔金属棒的截面形状可以为圆形或者矩形,并且其截面积至少是加热棒截面积的I. 8倍。作为本实用新型的进一步改进,所述难熔金属棒和加热棒的联接方式也可以采用螺纹连接或者夹持紧固联接。作为本实用新型的进一步改进,所述难熔金属棒和加热棒的材质可以是钨或者钥。本实用新型产生的有益效果是,金属棒和加热棒过渡连接到水冷电极上,保证接触可靠避免电气间隙起弧,并同时避免高温加热棒的热负荷直接与电极接触造成电极热损坏;此方法安装维护方便,避免了因加热棒周围细丝的松脱造成接触不良;能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉,典型应用是蓝宝石晶体生长炉以及单晶硅晶体生长炉。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。图I是本实用新型加热棒实施例的示意图。图2是本实用新型金属棒的示意图。图3是本实用新型实施例的示意图。附图标记说明1.金属棒,2.加热棒。
具体实施方式


图1、2、3中,一种晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,将加热棒(2)两端加工成外螺纹形状;再将金属棒(I) 一端设置成与电极安装位置相匹配的安装平面,并在安装平面位置上钻出螺纹孔,另一端加工成与加热棒(2)的外螺纹相匹配的内螺纹孔,并且金属棒(I)的截面积至少是加热棒(2)截面积的I. 8倍。在安装实施时,先将加热棒
(2)两端分别连接于两个金属棒(I)的对应端,然后将两个金属棒(I)另一端分别用难熔螺 钉通过螺纹孔固定于水冷电极安装位置上,即形成加热棒与水冷电极过渡连接。
权利要求1.晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,其特征在于在加热棒两端分别连接一个截面较粗的难熔金属棒,再将较粗的难熔金属棒固定到水冷电极上。
2.根据权利要求I所述的晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,其特征在于所述难熔金属棒的截面形状可以为圆形或者矩形,并且其截面积至少是加热棒截面积的1.8倍。
3.根据权利要求I所述的晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,其特征在于所述难熔金属棒和加热棒的联接方式也可以采用螺纹连接或者夹持紧固联接。
4.根据权利要求I所述的晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,其特征在于所述难熔金属棒和加热棒的材质可以是钨或者钥。
专利摘要本实用新型公布了一种晶体炉用加热棒与水冷电极的过渡连接结构,特征在于将在加热棒两端分别连接一个截面较粗的难熔金属棒,再将较粗的难熔金属棒固定到水冷电极上。此方法确保接触可靠避免电气间隙起弧,并同时避免高温加热棒的热负荷直接与电极接触造成电极热损坏;其能适用于各类低电压大功率钨丝电阻炉,典型应用是蓝宝石晶体生长炉以及单晶硅晶体生长炉。
文档编号C30B35/00GK202595345SQ20112038990
公开日2012年12月12日 申请日期2011年10月13日 优先权日2011年10月13日
发明者刘世全, 徐家庆 申请人:刘世全
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