一种太阳能硅棒的生产系统的制作方法

文档序号:8187257阅读:582来源:国知局
专利名称:一种太阳能硅棒的生产系统的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能硅棒的生产系统,应用于太阳能光伏领域。
背景技术
在太阳能硅棒的生产过程中,由于受传统工艺的影响,长期以来一直采用氩气作为单晶生长过程中的保护气体,氩气作为保护气体一直处于主导地位,因单晶生长工艺的要求下,冷却阶段要求加大氩气的用量,以便缩短冷却周期,但氩气较为昂贵,使得生产成本较高。实用新型的内容本实用新型的所要解决的技术问题是提供一种满足单晶硅棒生产又能降低成本的太阳能硅棒的生产系统。本实用新型所采取的技术方案为一种太阳能硅棒的生产系统,包括单晶炉、氩气罐以及连通单晶炉和氩气罐的气体管路,还包括氮气罐;在所述气体管路上设有气体分流器,气体分流器的气体输出端通过出气管接单晶炉内腔,气体分流器的两个气体输入端分别通过进气管连接氩气罐和氮气罐。其中,在所述的气体分流器与氩气罐、氮气罐之间的进气管上分别设置有阀门开关。其中,所述的出气管为金属软管,所述的进气管为不锈钢管道。本实用新型与现有技术相比所取得的有益效果为1、本实用新型主要是实现冷却阶段时保护气体改为氮气,单晶生长过程中用氩气作为保护气体,从而实现双路供气,在使用过程中易于操作。2、本实用新型在保证单晶品质的情况,能够有效的降低成本。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步的说明。图1为本实用新型的结构示意图。一种太阳能硅棒的生产系统,包括单晶炉1、氩气罐以及连通单晶炉和氩气罐的气体管路,还包括氮气罐;在所述气体管路上设有气体分流器2,气体分流器的气体输出端通过出气管3接单晶炉1内腔,气体分流器2的两个气体输入端分别通过进气管4连接氩气罐和氮气罐。其中,在所述的气体分流器2与氩气罐、氮气罐之间的进气管4上分别设置有阀门开关5。实施例中,出气管3采用金属软管,进气管 4采用不锈钢管道。工作时,非冷却阶段使用氩气作为保护气体,待进入拉晶冷却阶段时,将氩气阀门关闭,同时切换至氮气供气,保持炉内的压力不变,待拆炉后调整至正常供气状态。
权利要求1.一种太阳能硅棒的生产系统,包括单晶炉、氩气罐以及连通单晶炉和氩气罐的气体管路,其特征在于还包括氮气罐;在所述气体管路上设有气体分流器,气体分流器的气体输出端通过出气管接单晶炉内腔,气体分流器的两个气体输入端分别通过进气管连接氩气罐和氮气罐。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅棒的生产系统,其特征在于在所述的气体分流器与氩气罐、氮气罐之间的进气管上分别设置有阀门开关。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅棒的生产系统,其特征在于所述的出气管为金属软管,所述的进气管为不锈钢管道。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能硅棒的生产系统,包括单晶炉、氩气罐以及连通单晶炉和氩气罐的气体管路,还包括氮气罐;在所述气体管路上设有气体分流器,气体分流器的气体输出端通过出气管接单晶炉内腔,气体分流器的两个气体输入端分别通过进气管连接氩气罐和氮气罐。本实用新型主要是实现冷却阶段时保护气体改为氮气,单晶生长过程中用氩气作为保护气体,从而实现双路供气,在使用过程中易于操作。本实用新型在保证单晶品质的情况,能够有效的降低成本。
文档编号C30B29/06GK202323110SQ20112045806
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月17日 优先权日2011年11月17日
发明者张浩强, 张鹏, 李建涛, 李红友, 王会敏, 王怡然, 董朝海, 闫广宁, 闫建辉, 闫江波, 韩晓亮, 鲁立宁 申请人:宁晋松宫电子材料有限公司
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