一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构的制作方法

本实用新型涉及真空连接设备领域，具体为一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构。

背景技术：

在真空设备系统中两个真空实验腔室间需要利用一个连接部件进行对接，通常所采用的对接方式都是硬性对接，硬性对接的局限在于没有调节的空间，这样往往会造成对接时的误差。

技术实现要素：

针对背景技术中存在的问题，本实用新型提供了一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构，包括第一连接法兰、第二连接法兰以及屏蔽部件，所述第一连接法兰与所述第二连接法兰通过中间部件柔性连接，所述屏蔽部件设置于所述第一连接法兰与所述第二连接法兰外部。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述中间部件采用金属柔性管。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述第一连接法兰外壁套接有第一厚壁钢管，所述第二连接法兰外壁套接有第二厚壁钢管，所述屏蔽部件包括外屏蔽罩与内屏蔽罩，所述外屏蔽罩通过外屏蔽罩挡板与所述第一厚壁钢管固接，所述内屏蔽罩通过内屏蔽罩挡板与所述第二厚壁钢管固接。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述外屏蔽罩与所述内屏蔽罩之间形成的屏蔽空间呈交错式排布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型整体设计能够实现真空腔体柔性连接以及对特定波段的X射线的屏蔽，可有效减少两端真空腔体对接时所产生的误差，同时有效屏蔽特定波段的X射线对外界的影响，整体设计结构简洁实用，造价成本低且便于推广。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型整体结构剖视图；

图3为本实用新型整体结构侧视图；

图中：1-第一连接法兰；2-第二连接法兰；3-中间部件；4-屏蔽部件；401-外屏蔽罩；402-内屏蔽罩；403-外屏蔽罩挡板；404-内屏蔽罩挡板；5-第一厚壁钢管；6-第二厚壁钢管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构，包括第一连接法兰1、第二连接法兰2以及屏蔽部件4，所述第一连接法兰1与所述第二连接法兰2通过中间部件3柔性连接，所述屏蔽部件4设置于所述第一连接法兰1与所述第二连接法兰2外部。

在具体实施过程中，所述中间部件3采用金属柔性管；所述第一连接法兰1外壁套接有第一厚壁钢管5，所述第二连接法兰2外壁套接有第二厚壁钢管6，所述屏蔽部件4包括外屏蔽罩401与内屏蔽罩402，所述外屏蔽罩401通过外屏蔽罩挡板403与所述第一厚壁钢管5固接，所述内屏蔽罩402通过内屏蔽罩挡板404与所述第二厚壁钢管6固接；所述外屏蔽罩401与所述内屏蔽罩402之间形成的屏蔽空间呈交错式排布，在使用时两端的第一连接法兰1与第二连接法兰2用于连接不同的实验真空腔体(未图示)，采用金属柔性管制成的中间部件3内部用于穿过X射线，由于特定波段的X射线容易穿透较薄的金属，而整个连接需要柔性连接以减少对接时的尺寸误差，因此在外围设置有内屏蔽罩402与外屏蔽罩401以保证柔性连接和对特定波段的X射线的屏蔽。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。