一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构的制作方法

文档序号:16483128发布日期:2019-01-04 22:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构,其特征在于:包括第一连接法兰(1)、第二连接法兰(2)以及屏蔽部件(4),所述第一连接法兰(1)与所述第二连接法兰(2)通过中间部件(3)柔性连接,所述屏蔽部件(4)设置于所述第一连接法兰(1)与所述第二连接法兰(2)外部。

2.根据权利要求1所述的一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构,其特征在于:所述中间部件(3)采用金属柔性管。

3.根据权利要求1所述的一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构,其特征在于:所述第一连接法兰(1)外壁套接有第一厚壁钢管(5),所述第二连接法兰(2)外壁套接有第二厚壁钢管(6),所述屏蔽部件(4)包括外屏蔽罩(401)与内屏蔽罩(402),所述外屏蔽罩(401)通过外屏蔽罩挡板(403)与所述第一厚壁钢管(5)固接,所述内屏蔽罩(402)通过内屏蔽罩挡板(404)与所述第二厚壁钢管(6)固接。

4.根据权利要求3所述的一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构,其特征在于:所述外屏蔽罩(401)与所述内屏蔽罩(402)之间形成的屏蔽空间呈交错式排布。

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