技术总结
本实用新型公开了一种应用于真空设备的屏蔽X射线真空柔性连接结构，包括第一连接法兰、第二连接法兰以及屏蔽部件，第一连接法兰与第二连接法兰通过中间部件柔性相连接，屏蔽部件设置于第一连接法兰与第二连接法兰外部，中间部件采用金属柔性管，第一连接法兰外壁套接有第一厚壁钢管，第二连接法兰外壁套接有第二厚壁钢管，屏蔽部件包括外屏蔽罩与内屏蔽罩，外屏蔽罩通过外屏蔽罩挡板与第一厚壁钢管固接，内屏蔽罩通过内屏蔽罩挡板与第二厚壁钢管固接，本实用新型整体设计能够实现真空腔体柔性连接以及对特定波段的X射线的屏蔽，可有效减少两端真空腔体对接时所产生的误差，同时可有效屏蔽特定波段的X射线对外界的影响。
技术研发人员：曹超;罗有利;胡荣朝
受保护的技术使用者：上海润理真空技术有限公司
技术研发日：2018.04.19
技术公布日：2019.01.04