包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件。根据本实用新型，能够提供 耐久性良好的高温炉用的绝热件。
【背景技术】
[0002] 作为安装到真空炉、半导体单结晶成长炉、陶瓷烧结炉或C/C复合物烧结炉等高 温炉的炉内的绝热件，通用的是圆筒型的绝热件。这样的高温炉用的绝热件在高温下不发 生物性的劣化是重要的，作为其基材而使用碳纤维毡。例如，作为使用碳纤维毡的圆筒型的 绝热件的制造方法，在专利文献1中，公开了使碳纤维毡含浸可碳化的树脂、将含浸毡层叠 压缩并具有目的的厚度和体积密度的圆筒状的成形绝热件的制造方法。
[0003] 专利文献1 :特公昭50 - 35980号公报。 【实用新型内容】
[0004] 但是，上述绝热件由于暴露在高温中，所以有在比较短期间中劣化的问题。
[0005] 本实用新型的目的是提供一种能够防止劣化的高温炉用的包含圆筒状碳纤维毡 基材的绝热件。
[0006] 本实用新型者对于劣化较少的高温炉用的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件进 行了专心研宄，结果吃惊地发现，通过在圆筒状碳纤维毡基材的外侧面、内侧面、上端面及 下端面的至少1个面的一部分或全部具有保护层，能够防止碳纤维毡基材的劣化。
[0007] 本实用新型是基于这样的认识的。
[0008] 因而，本实用新型关于以下这样的绝热件：
[0009] [1] 一种绝热件，是包含烧制成的圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，在上述毡基材的 外侧面、内侧面、上端面及下端面的至少1个面的一部分或全部，具有保护层；（1)上述保护 层是从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、以及上述包含碳化材及/或石墨粉末的覆 盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层；或（2)上述保护层是从由 碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层及石墨薄片层构成的群中选择的 至少1个薄片层；或（3)上述保护层是复合层，所述复合层在从由碳纤维织物层及包含混合 碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层构成的群中选择的至少1个薄片层的表面上，具有从由包 含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、包含热分解碳的覆盖层、以及上述包含碳化材及/或石 墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层。
[0010] [2]如[1 ]所述的绝热件，上述烧制成的圆筒状碳纤维毡基材是（A)将碳纤维毡以 同心圆状层叠或以螺旋状卷绕的碳纤维毡基材；或（B)将复合化碳纤维毡以同心圆状层叠 或以螺旋状卷绕的复合化碳纤维毡基材，所述复合化碳纤维毡在碳纤维毡的表面上，具有 石墨薄片、碳纤维织物及包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物的至少1个。
[0011] [3]如[1]或[2]所述的绝热件，具有碳纤维强化碳复合材料。
[0012] [4]如[1]~[3]中任一项所述的绝热件，上述圆筒状碳纤维毡基材具有侧面的开 口部、侧面的切口、侧面的凹陷、阶梯状的上端面、阶梯状的下端面、斜面状的上端面、斜面 状的下端面、或它们的两个以上的组合。
[0013] [5]如[1]~[4]中任一项所述的绝热件，通过从上端到下端的纵向的切断而被 2~8分割。
[0014] [6]如[1]~[5]中任一项所述的绝热件，圆筒状碳纤维毡基材的上端面的开口部 的面积和下端面的开口部的面积相同或不同。
[0015] 另外，上述专利文献1所记载的圆筒型绝热件在毡基材的外侧面、内侧面、上端面 及下端面上不具有保护层。
[0016] 根据本实用新型的绝热件，由于能够防止绝热件的碳纤维毡基材的劣化，所以能 够将高温炉用绝热件的更换的周期(期间）延长。
【附图说明】
[0017] 图1是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的基本的实施方式 之一的图。
[0018] 图2是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的、在侧面上具有开 口部的实施方式的图。
[0019] 图3是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的、具有阶梯状的上 端面的实施方式的图。
[0020] 图4是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的、在侧面具有切口 的实施方式的图。
[0021] 图5是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的、上端的开口部和 下端的开口部的大小不同的实施方式的图。
[0022] 图6是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的、具有向外侧倾斜 的斜面状的上端面的实施方式的图。
[0023] 图7是表示本实用新型的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件的、具有向内侧倾斜 的斜面状的上端面的实施方式的图。
【具体实施方式】
[0024] 本实用新型的绝热件包括烧制成的圆筒状碳纤维毡基材，在上述毡基材的外侧 面、内侧面、上端面及下端面的至少1个面的一部分或全部具有保护层。在图1中表示本实 用新型的实施方式的1例。上述圆筒状碳纤维毡基材的外侧面2是构成毡基材的侧面的外 周的面。此外，如图1所示，圆筒状碳纤维毡基材的内侧面3是构成毡基材的侧面的内侧的 面。进而，圆筒状碳纤维毡基材的上端面4是构成毡基材的上部截面的面。此外，圆筒状碳 纤维毡基材的下端面5是构成毡基材的下部截面的面。
[0025] 此外，在本实用新型的绝热件中使用的圆筒状碳纤维毡基材既可以如图1等所示 那样上端面的开口部的面积和下端面的开口部的面积相同，也可以如图5所示那样上端面 的开口部的面积和下端面的开口部的面积不同，为将圆锥的前端切断那样的圆筒。即，也可 以是从侧面观察的形状为梯形的圆筒状碳纤维毡基材。
[0026] 在本实用新型中使用的圆筒状碳纤维毡基材中，在外侧面、内侧面、上端面及下端 面的至少1个面的一部分或全部具有保护层。在表1中记载了具有保护层的面和不具有保 护层的面的组合的15种实施方式。
【主权项】
1. 一种包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 在上述毡基材的外侧面、内侧面、上端面及下端面的至少1个面的一部分或全部，具有 保护层； (1) 上述保护层是从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、以及上述包含碳化材及/ 或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层；或 (2) 上述保护层是从由碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层及石 墨薄片层构成的群中选择的至少1个薄片层；或 (3) 上述保护层是复合层，所述复合层在从由碳纤维织物层及包含混合碳纤维纺丝的 混合碳纤维织物层构成的群中选择的至少1个薄片层的表面上，具有从由包含碳化材及/ 或石墨粉末的覆盖层、包含热分解碳的覆盖层、以及上述包含碳化材及/或石墨粉末的覆 盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层。
2. 如权利要求1所述的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 圆筒状碳纤维毡基材是烧制成的； 上述烧制成的圆筒状碳纤维毡基材是 (A) 将碳纤维毡以同心圆状层叠或以螺旋状卷绕的碳纤维毡基材；或 (B) 将复合化碳纤维毡以同心圆状层叠或以螺旋状卷绕的复合化碳纤维毡基材，所述 复合化碳纤维毡在碳纤维毡的表面上，具有石墨薄片、碳纤维织物及包含混合碳纤维纺丝 的混合碳纤维织物的至少1个。
3. 如权利要求1或2所述的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件具有碳纤维强化碳复合材料。
4. 如权利要求1或2所述的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 上述圆筒状碳纤维毡基材具有侧面的开口部、侧面的切口、侧面的凹陷、阶梯状的上端 面、阶梯状的下端面、斜面状的上端面、斜面状的下端面、或它们的两个以上的组合。
5. 如权利要求1或2所述的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件通过从上端到下端的纵向的切断而被2~8分割。
6. 如权利要求1或2所述的包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 圆筒状碳纤维毡基材的上端面的开口部的面积和下端面的开口部的面积相同或不同。
【专利摘要】本实用新型提供一种包含圆筒状碳纤维毡基材的绝热件。其具有保护层；（1）保护层是从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、以及包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层；或（2）保护层是从由碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层及石墨薄片层构成的群中选择的至少1个薄片层；或（3）保护层是复合层，该复合层在从由碳纤维织物层及包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层构成的群中选择的至少1个薄片层的表面上，具有从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、包含热分解碳的覆盖层、以及包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层。
【IPC分类】F27D1-06, B32B33-00, B32B9-04
【公开号】CN204566816
【申请号】CN201420570708
【发明人】冈田康, 龟山贵
【申请人】株式会社吴羽
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2014年9月30日