专利名称：微等离子体产生装置及其灭菌系统的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种微等离子体产生装置，尤其指一种适用于灭菌的微等离子体产生装置及微等离子体灭菌系统。
背景技术：
对于可以重复使用的医疗器具，例如对于外科或牙科器具进行灭菌时，则须要保证可以全数去除该些器具上附着的微生物，不论是细菌、真菌或病毒，皆需要全数去除以防止下一个病患受到任何可能性的感染。然而，现今已知的灭菌方法，举例如高热高压灭菌、 施用如环氧乙烷类的化学性杀菌药剂、或以物理性放射线照射等方法，却很有可能对于受处理的样本造成一定程度的损伤或破坏。因此，大型医疗院所近年来开始采用低温低压等离子体灭菌法，亦即于真空状态下，利用电波能量刺激极度活化的气体，使离子与分子互相碰撞产生自由基，可在低于50°C下破坏微生物新陈代谢以进行灭菌，此种方法对环境无毒性残存(氧气及水)，故可处理不耐热及不耐湿的医疗器材。为了改善灭菌时对于处理物可能造成的伤害，以及降低真空低温等离子体机台购置成本，近来发展利用非热性、常压的介电阻障(dielectric barrier discharge, DBD)等离子体进行灭菌，此种DBD等离子体是在两平面电极间产生等离子体，其中一电极上覆以介电材质屏障，以避免产生非预期微电弧，DBD等离子体可减少或避免高能量部分造成的影响，只要施加低能量即可获得高反应性的物质达到灭菌效果。然而，上述DBD等离子体仍有使用上的限制，此因医疗器具大多数具有不规则的外型，但DBD等离子体却难以覆盖上述医疗器具所有暴露的表面，或者难以作用至前述医疗器材上某些缝隙中所藏匿的细菌，因此，灭菌的成效受制于待处理物的几何形状。另一方面，藏匿而残余的细菌，通常处于潮湿环境，如水溶液中，因此必须施用可确保水溶液中亦可达到完全灭菌效果的灭菌技术，但若采用DBD等离子体在水溶液中进行灭菌，困难性则会大幅提升。因此，若可以发展出一种得以在水溶液中达到完全灭菌标准的微等离子体技术， 可随处理样品外观或形状而弹性装配，则可以大幅减少灭菌所需的时间及降低机台购置成本，加速相关领域的发展。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微等离子体产生装置和微等离子体灭菌系统，以改进公知技术中存在的缺陷。为实现上述目的，本发明提供的微等离子体产生装置，包括一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；一微等离子体产生单元，其包括一气体传输腔体，具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体， 其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极， 设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该电极及该中空金属管，以于该电极及该中空金属管之间产生微等离子体。所述的微等离子体产生装置，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。所述的微等离子体产生装置，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。本发明提供的微等离子体灭菌系统，是对一样本进行灭菌，该微等离子体灭菌系统包括一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；一或复数个微等离子体产生单元，每一微等离子体产生单元包括一气体传输腔体，其具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，其设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该微等离子体产生单元的该电极及该中空金属管，使该微等离子体产生单元于该电极与该中空金属管之间产生微等离子体。所述的微等离子体灭菌系统，其中，包括一样本槽，用于容纳该样本。所述的微等离子体灭菌系统，其中，该第一气体维持等离子体的气体且其为氦气或氩气，该第二气体是具反应性的气体且其为氧气或氮气。所述的微等离子体灭菌系统，其中，该氧气于单位时间内的气体体积是该氩气的体积的20%以下。所述的微等离子体灭菌系统，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。所述的微等离子体灭菌系统，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。所述的微等离子体灭菌系统，其中，该样本与该气体传输管的该第一出口端的距离范围为0. Imm至10mm。所述的微等离子体灭菌系统，其中，对该样本进行灭菌的时间范围为30秒至300秒。所述的微等离子体灭菌系统，其中，微等离子体产生单元包括一定位套头，设置于第二出口端外侧且连接该散热保护腔体。本发明的微等离子体产生装置采用毛细管式中空内电极，将反应气体与等离子体激发气体分流供应，无须使用高瓦数产生等离子体且尺寸可缩小至笔型，因此利于操作且具有低耗能、在常温下运作、不产生有害物质等特性，可增加使用安全性及符合绿色环保的趋势。本发明的微等离子体灭菌系统，通过调整反应气体与等离子体激发气体的混合比例，无论如大肠杆菌、金黄色葡萄球菌及噬热杆菌等细菌位于体表干燥部位或潮湿部位， 皆可在短时间内达到快速且完全灭菌的目标。
图1是本发明实施例一的微等离子体产生装置的示意2是本发明测试例一中，微等离子体工作距离为6mm的光发射光谱图。图3是本发明测试例一中，等离子体中主要种类的光学发射光谱(0EQ相对强度。图4是本发明测试例一中，等离子体工作距离与所产生的等离子体中各主要种类含量的关系图。图5是本发明测试例二中，大肠杆菌菌体的扫描式电子显微镜，其中图5(a)为未经等离子体处理者，图5 (b)是以工作距离6mm进行120秒等离子体处理。附图中主要组件符号说明第一气体贮存单元20 ；第二气体贮存单元30 ；微等离子体产生单元40 ；电源供应单元50 ；气体传输腔体41 ；第一入口端411 ；第一出口端413 ；散热保护腔体43 ；电极45 ；介电质内管47 ；第二入口端471 ；第二出口端473 ；定位套头48 ；中空金属管49 ；第三入口端 491 ；第三出口端493 ；电源供应单元50 ；样本槽60。
具体实施例方式本发明提供的微等离子体产生装置，包括一种微等离子体产生装置，包括一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体； 一微等离子体产生单元，其包括一气体传输腔体，其具有一第一入口端及一第一出口端， 其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，其设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该电极及该中空金属管，以于该电极及该中空金属管之间产生微等离子体。本发明上述微等离子体产生装置中，该散热保护腔体可以散逸装置内部所产生的热度，同时保护内部电极，而该介电质内管除了导引该气体传输腔体中的第一气体往其第二出口端移动外，尚可阻隔该中空金属管及该电极。
于本发明微等离子体产生装置的一态样中，该电源供应单元的种类没有特别限定，举例可为一高频高压低电流电源供应器。于本发明的微等离子体产生装置中，因为采用该中空金属管，第一气体及第二气体不预先混合，而于该电极以及该中空金属管之间才进行混合，所以即使电源供应单元仅可输出低功率，同样可以达到产生微等离子体的目的。于本发明微等离子体产生装置的另一态样中，该中空金属管设置的方式没有特别限定，较佳为该中空金属管平行于该介电质内管并设置于该介电质内管的中央，可在微等离子体产生过程中，使该中空金属管中所传输的该第二气体，直至该中空金属管的该第二出口端才接触到该介电质内管中所传输的该第一气体，达到气体分流的目的。此外，该电极及该中空金属管的距离范围没有特别限定，可随通入气体及其混和比例或所使用电源供应器及其它参数而改变，举例可为ι μ m至10mm。本发明提供的微等离子体灭菌系统，是对一样本进行灭菌，该微等离子体灭菌系统包括一种微等离子体产生装置，包括一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体； 一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；一或复数个微等离子体产生单元，每一微等离子体产生单元包括一气体传输腔体，其具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，其设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该微等离子体产生单元的该电极及该中空金属管，以致使该微等离子体产生单元于该电极与该中空金属管之间产生微等离子体。本发明微等离子体灭菌系统可依需求选择性再包括一样本槽，用于容纳该样本， 因此当样本为没有固定形态如液体状态时，可以直接置于该样本槽中，以利微等离子体灭菌系统进行灭菌。此外，为避免外界空气成份以及湿气影响本发明微等离子体灭菌系统的处理成效，该介电质内管的该第二出口端外侧可加装一定位套头，此定位套头连接该散热保护腔体43，可用于阻隔外界空气成份与湿气，同时限制产生的微等离子体至一固态样品或样本槽的距离。于本发明微等离子体灭菌系统的一态样中，该第一气体是做为等离子体激发气体，主要用于维持等离子体；该第二气体具有反应性，一般是做为反应气体。而该第一气体及该第二气体的种类没有特别限定，例如第一气体可为氦气或氩气，而第二气体可为氧气或氮气，不过较佳是该第一气体为氩气，该第二气体为氧气，其中，相较于该氩气的输出量， 该氧气的输出量较佳随处理式样而改变，一般超过0 %且于20 %以下。于本发明微等离子体灭菌系统的另一态样中，该电源供应单元的种类没有特别限定，举例可为一高频高压低电流电源供应器。于本发明微等离子体灭菌系统的再一态样中，该中空金属管设置的方式没有特别限定，较佳为该中空金属管平行于该介电质内管并设置于该介电质内管的中央，可在微等离子体产生过程中，使该中空金属管中所传输的该第二气体，直至该中空金属管的该第三出口端才接触到该介电质内管中所传输的该第一气体，达到气体分流的目的。于本发明微等离子体灭菌系统的再另一态样中，该样本具离该介电质内管的该第一出口端的距离，称为工作距离，其至少为0. 1mm，亦可长达IOmm;对该样本进行灭菌的时间视菌种及等离子体参数而定，举例参数包含工作气体、混气比例及微等离子体距试样表面距离，于本发明的具体实施例中，灭菌时间大约可为30秒至300秒。针对体表干燥部位或潮湿部位(如口腔黏膜)的细菌，可利用本发明的微等离子体灭菌系统，调整电源施加功率、工作距离、作用时间、反应气体及等离子体激发气体的混合比例等，达到完全灭菌的效果。以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟习此技艺的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可由其它不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的精神下进行各种修饰与变更。本发明的实施例中该些附图均为简化的示意图。惟该些图标仅显示与本发明有关的组件，其所显示的组件非为实际实施时的态样，其实际实施时的组件数目、形状等比例为一选择性的设计，且其组件布局型态可能更复杂。实施例一图1是本实施例的微等离子体产生装置的示意图。如图1所示，本发明的微等离子体产生装置，主要包含一第一气体贮存单元20、一第二气体贮存单元30、一微等离子体产生单元40、以及一电源供应单元50。于本发明中，该第一气体贮存单元20是用于存放一第一气体，而该第二气体贮存单元30是用于存放一第二气体。本实施例中，该第一气体作为等离子体激发气体，举例可为氩气，该第二气体做为反应性气体，举例可为氧气。该微等离子体产生单元40主要包括一气体传输腔体41，其具有一第一入口端 411及一第一出口端413，其中，该第一入口端411连接该第一气体贮存单元20并输入该第一气体；一散热保护腔体43，具散热与保护内部电极的功能，其一侧连接该气体传输腔体 41的该第一出口端413内壁；一介电质内管47，其具有一第二入口端471及一第二出口端 473且贯穿该散热保护腔体43，其中，该第二入口端471连通该气体传输腔体41，以传输第一气体；一电极45，其设置于该介电质内管47的该第二出口端473的外侧且位于该散热保护腔体43内；一中空金属管49，其设置于该气体传输腔体41及该介电质内管47内，以通过该介电质内管47阻隔该中空金属管49以及该电极45，该中空金属管49具有一第三入口端491及一第三出口端493，该第三入口端491连接该第二气体贮存单元30并输入该第二气体；于第二出口端473外侧可装设一可替换式的定位套头48，此定位套头48连接该散热保护腔体43，可以阻隔外界空气成份，避免外界空气或湿气影响本发明微等离子体灭菌系统的处理成效，同时限制产生的微等离子体至一固态样品或样本槽的距离。于本实施例中，可使用具有气体通道及绝缘层的石英管做为介电层内管47，其内径可依需求而定，例如5mm。此外，可使用不锈钢中空电极做为该中空金属管49，此中空金属管49的直径大致上可于0.5mm至Imm的范围，例如0.8mm。此中空金属管49可直接接地或经由电源供应单元50而接地，中空金属管49作为内电极，用以供应该第二气体。另外， 可使用环状金属导体，例如铜，作为电极45，此电极45是作为外电极，电性连接电源供应单元50。该电源供应单元50耦合该微等离子体产生单元40的该电极45及该中空金属管 47，以提供电能给该微等离子体产生单元40，使该微等离子体产生单元40的该电极45及该中空金属管49之间产生微等离子体。于本实施例中，可使用具阻抗匹配器(MW5DM11， ENI)的射频(radio-frequency，RF，约 13. 56MHz)电源供应器(ACG-3B，ENI, Rochester, New York, USA)做为该电源供应单元50。实施例二本实施例的微等离子体灭菌系统，如同图1所示，主要包含一第一气体贮存单元 20、一第二气体贮存单元30、一或复数个微等离子体产生单元40、以及一电源供应单元50。 本实施例的微等离子体灭菌系统的结构大致上同于实施例一，且除上述组件外，可依需要额外设置一样本槽60，用于容纳固态样本或液态样本。测试例一激发物质的光学性诊断分析于上述实施例二的微等离子体灭菌系统，使用氩气做为第一气体，其引入该气体传输腔体41的气体供应流速约固定于IO4sccm;使用氧气做为第二气体，利用质流控制器 (5850E, Brooks Inc.)将引入该中空金属管49的气体供应流速控制于0至20sccm。以电源供应器50持续施加大约27W的功率(V,.m.s大约为0. 57kV ；I,.m.s大约为 47mA)，此可利用示波器(TDS 3034B, Tektronix Inc.，OR, USA)的高电压探针(P6015A， Tektronix Inc.)及电流探针(P6021, Tektronix Inc.)进行量测而确认。于距介电质内管的出口端(亦即工作距离(working distance)) 6mm的位置，使用装设有电荷耦合装置侦测器(CCD detector，1340x 100画素)的单一单光器(SpectraPro 2300 , Acton Ltd, MA, USA)做为光发射光谱仪(Optical Emission Spectroscopy, 0ES)， 对所产生的等离子体中进行测量分析，所使用的分光光栅，分别为330 900nm(150g/mm)、 200 500nm(1200g/mm)、以及 500 1 IOOnm(1200g/mm)，1200g/mm 光栅的光谱分辨率可达 0. lnm。测量所得的光谱分析结果如图2所示，其中NO- γ位于237nm及M8nm，OH位于 306nm, NH 位于 336nm，CO2 位于 362nm、404nm、以及 416nm，N2 (2nd 正系统)位于 331nm 至 442nm,而Ar-I谱线位于696nm至965nm，少量0_1谱线位于777nm。由图2可知，所产生的等离子体中，因为产生等离子体的过程，周遭的空气及湿气 (相对湿度约于65%至70%之间)会加入反应，因此，亦会产生含N或0等化学反应性的种类。此外，于图2(a)中，相较于纯氩气所产生的等离子体，可明显观察出混有0. 及0.2% 氧气的氩气所产生的等离子体，其中NO-Y及OH所含比例明显减少。由于NO-Y及OH此两种含量关系到等离子体中所产生的紫外线放射强度，因此，本发明的等离子体灭菌系统中混入少量氧气可以减少等离子体中所产生的紫外线放射量。但由图2(b)可看出，当氩气中混有0. 及0. 2%的氧气时，0-1种类的含量增加，因此，可得知添加少量氧气得以改变等离子体中组成。图3显示所产生的等离子体中主要种类的光发射光谱相对强度，其中(a)表示OH 及NO种类的含量，(b)表示0-1及Ar-I种类的含量。由图3(a)可知，相较于纯氩气所产生的等离子体，氩气中添加0. 及0.2%的氧气，可使等离子体中OH含量分别降至75%及 70%，并使NO含量降至70%及35% ；由图3(b)可知，相较于纯氩气所产生的等离子体，氩气中添加0. 及0.2%的氧气，可使等离子体中O-I种类(777nm)含量大幅增加(大约增加250%)，并使Ar-I种类(750nm)含量些微降低(大约降低10%)。由此可知，因周围气体及湿度所产生的NO及OH会因为添加些许氧气而减少，进而减少相关于NO及OH的紫外线放射比例。图4显示等离子体工作距离与所产生的等离子体中各主要种类含量的关系图。由图4可知，当工作距离由3mm拉长至6mm时，会大约仅剩10%左右的激发物质，若再延长至 9mm，则会只剩下0. 6%至2. 0%左右，故等离子体中各主要种类的含量，会随着工作距离拉长而大幅缩减，若要确保等离子体作用时有足够的反应物质，工作距离为一重要因素。测试例二灭菌时间的影响将中国台湾新竹菌种保存及研究中心(Culture and Collection ResearchCenter, Shinchu, Taiwan)购得的革兰氏阴性大肠杆菌(E. coli, ATCC11775)，使
I (nutrient agar I, Difco 0001, Merck, Darmstadt, Germany) T 37°CT 培养M小时后，以白金环取出细菌，将其稀释于IOml无菌水中，并将细菌浓度大约控制于 5xl06CFU/mlo取含菌水溶液约200μ 1，置于样本槽60，此样品槽底部为一导电金属板，例如铝金属薄板，上方结合聚二甲基硅氧烷(polydimethyl siloxane, PDMS)制作中空的圆柱作为样本槽体。相关灭菌条件参考上述测试例一，但本实施例的工作距离为6mm，且于氮气中添加0%至0. 2%的氧气，并持续等离子体处理0秒至180秒。而后，将经过等离子体处理的菌液置于洋菜培养基I上，于37°C下陪养M小时后，观察生成的菌落数目。之后，再将该菌落稀释于无菌水中，置于涂覆聚-L-离胺酸(poly-L-Lysine，P8920, Sigma-Aldrich, USA)的预洗载玻片上，经过M小时冷冻干燥后，于含菌的样本表面涂覆白金薄层，再使用扫描式电子显微镜(Scanning ElectronMicroscope, SEM, EV050, Carl Zeiss Inc. , North America)，以4000倍的放大倍率进行菌体形状观察。如图5分析大肠杆菌电子显微镜照影所示，其中图5(a)为未经过等离子体处理的菌体，图5(b)为经过等离子体(工作距离6mm，处理时间120秒)处理的菌体。由图五(a) 所示，未经过等离子体处理的大肠杆菌菌体，仍呈现完好的杆状，图五(b)但经过等离子体处理的菌体，则呈现扭曲、不规则状，甚至分散成碎片。此外，使用上述实施例二的微等离子体灭菌系统，于菌液与等离子体两者之间隔有一厚度为Imm的石英玻片，由于等离子体所产生的UV光得以穿透石英玻片，由此针对UV 光探讨其对细菌影响。培养基表面菌落数目的实验结果，如表一所示，其中Ntl表示大肠杆菌的起始菌落数目，N表示经过等离子体处理后大肠杆菌的存活菌落数目。表一
权利要求
1.一种微等离子体产生装置，包括一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体； 一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体；一微等离子体产生单元，其包括一气体传输腔体，具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁；一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管， 其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该电极及该中空金属管，以于该电极及该中空金属管之间产生微等离子体。
2.如权利要求1所述的微等离子体产生装置，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。
3.如权利要求1所述的微等离子体产生装置，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。
4.一种微等离子体灭菌系统，是对一样本进行灭菌，该微等离子体灭菌系统包括 一第一气体贮存单元，其用于存放一第一气体；一第二气体贮存单元，其用于存放一第二气体； 一或复数个微等离子体产生单元，每一微等离子体产生单元包括 一气体传输腔体，其具有一第一入口端及一第一出口端，其中，该第一入口端连接该第一气体贮存单元并输入该第一气体；一散热保护腔体，其一侧连接该气体传输腔体的该第一出口端内壁； 一介电质内管，其具有一第二入口端及一第二出口端且贯穿该散热保护腔体，其中，该第二入口端连通该气体传输腔体；一电极，其设置于该介电质内管的该第二出口端的外侧且位于该散热保护腔体内；以及一中空金属管，其设置于该气体传输腔体及该介电质内管内，该中空金属管具有一第三入口端及一第三出口端，该第三入口端连接该第二气体贮存单元并输入该第二气体；以及一电源供应单元，其耦合该微等离子体产生单元的该电极及该中空金属管，使该微等离子体产生单元于该电极与该中空金属管之间产生微等离子体。
5.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，包括一样本槽，用于容纳该样本。
6.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该第一气体维持等离子体的气体且其为氦气或氩气，该第二气体是具反应性的气体且其为氧气或氮气。
7.如权利要求6所述的微等离子体灭菌系统，其中，该氧气于单位时间内的气体体积是该氩气的体积的20%以下。
8.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该电源供应单元是一高频高压低电流电源供应器。
9.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该中空金属管平行该介电质内管并设置于该介电质内管的中央。
10.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，该样本与该气体传输管的该第一出口端的距离范围为0. Imm至10mm。
11.如权利要求10所述的微等离子体灭菌系统，其中，对该样本进行灭菌的时间范围为30秒至300秒。
12.如权利要求4所述的微等离子体灭菌系统，其中，微等离子体产生单元包括一定位套头，设置于第二出口端外侧且连接该散热保护腔体。
全文摘要
一种微等离子体产生装置及其灭菌系统，微等离子体产生装置包含一微等离子体产生单元，其包括气体传输腔体，具有第一入口端及第一出口端，第一入口端输入第一气体；散热保护腔体，一侧连接第一出口端内壁；介电质内管，具有第二入口端及第二出口端且贯穿散热保护腔体，第二入口端连通气体传输腔体；电极，设置于第二出口端的外侧且位于散热保护腔体内；以及中空金属管，设置于气体传输腔体及介电质内管内，中空金属管具有第三入口端及第三出口端，第三入口端输入第二气体。
文档编号A61L2/14GK102404927SQ201110259990
公开日2012年4月4日 申请日期2011年9月5日 优先权日2010年9月7日
发明者廖峻德, 林东毅, 翁志强, 陈信宏 申请人:廖峻德