专利名称：一种精密抛光晶片用有机物清洗液的制作方法
技术领域：
本发明涉及清洗液技术领域，特别是一种适用于精密抛光晶片的有机物去除清洗液。
背景技术：
由于精密抛光晶片表面由于材料本身的表面物理性质非常容易吸附来自周围环境和清洗液中的各种杂质和颗粒，而且吸附力很强，吸附后某些吸附物很难通过其他清洗手段去掉而造成废品和产品质量下降。以往常规的有机物去除需要使用多种有机溶剂，一步步依次接触不同的有机溶剂来达到去除有机物的清洗效果，这种方式步骤较多，工艺麻烦效率较低，同时容易带来由于清洗液本身的物理性质和精密抛光表面的相互作用容易使精密抛光晶片表面容易吸附来自周围环境尤其是清洗液里的杂质和污染物，使得在晶片的某些地方出现聚集的可以观察到的污染物聚集现象，表现晶片表面为灰色云雾状膜、晶片表面不亲水等等现象，某些材料的抛光晶片可以通过后段的清洗工艺来去除这些吸附物， 某些材料却由于吸附力太强，或者由于时间关系吸附物会同材料本身发生作用等等原因无法完全去除这些污染物，为了减轻这种现象可以选用纯度很高的有机溶剂和减少使用次数增加用量等方法来改善，但是都会增加成本和工艺的复杂性。随着对晶片表面质量、加工效率以及成本的要求的不断提高，同时为了避免某些吸附带来的不可预知的影响，这种常规的有机物去除方法显得不太适合。
发明内容
本发明提出的一种混合有机溶剂清洗液，使用了一种由两种常规有机溶剂混合组成的清洗液对精密抛光表面进行一次性有机物清洗，代替了以前的使用多种单一有机溶剂逐一对精密抛光表面进行有机物去除，取得了更加理想的有机物去除效果，提高了清洗流程的效率，缩短了加工时间。同时在不增加清洗液使用量以及提高试剂纯度的情况下使得晶片表面吸附物大大减少，保持了晶片表面洁净的状态。一种适用于精密抛光晶片的有机物清洗液，其特征在于，该有机物清洗液由醚和醇两种有机溶剂组成。所述的有机物清洗液，醚在混合液中所占重量含量为5 %到95 %，醇所占重量含量为95%到5%0所述的有机物清洗液，其中醚由下列中选出甲醚、乙醚、乙二醚、丙醚、丁醚、异丙醚、乙丙醚、苯甲醚、石油醚。所述的有机物清洗液，其中醚为石油醚。所述的有机物清洗液，其中醇由下列选出甲醇、乙醇、乙二醇、丙醇、异丙醇、丁醇、正丁醇、丙醇、正丙醇、正戊醇、异戊醇。所述的有机物清洗液，其中醇含有三个以下的羟基。所述的有机物清洗液，其中醇含有一个羟基。
所述的有机物清洗液，其中醇为异丙醇。
具体实施例方式使用重量比例为1 1的石油醚和异丙醇有机溶液应用到砷化镓晶片精密抛光以后的，最终清洗以前的有机物去除工艺中，很好的避免了此类晶片在以往的有机物清洗流程中出现表面吸附清洗液中的各种污染物导致表面质量下降的问题。本发明提供一种适用于精密抛光晶片的有机物清洗液，其特征在于，该有机物清洗液由醚和醇两种有机溶剂组成。其中醚在混合液中所占重量含量为5 %到95 %，醇所占重量含量为95 %到5 %。其中醚由下列中选出甲醚、乙醚、乙二醚、丙醚、丁醚、异丙醚、乙丙醚、苯甲醚、石油醚。其中醚为石油醚。其中醇由下列选出甲醇、乙醇、乙二醇、丙醇、异丙醇、丁醇、正丁醇、丙醇、正丙醇、正戊醇、异戊醇。其中醇含有三个以下的羟基。其中醇含有一个羟基。其中醇为异丙醇。虽然本发明是已参照实施例来加以描述，然本发明创作并未受限于其详细描述内容。替换方式及修改样式是已于先前描述中所建议，且其它替换方式及修改样式将为熟习此项技术的人士所思及。特别是，所有具有实质上相同于本发明的构件结合而达成与本发明实质上相同结果的，皆不脱离本发明的精神范畴。因此，所有此等替换方式及修改样式是意欲落在本发明于所附的权利要求范围及其均等物所界定的范畴之中。
权利要求
1.一种适用于精密抛光晶片的有机物清洗液，其特征在于，该有机物清洗液由醚和醇两种有机溶剂组成。
2.根据权利要求1所述的有机物清洗液，其特征在于，醚在混合液中所占重量含量为 5 %到95 %，醇所占重量含量为95 %到5 %。
3.根据权利要求2所述的有机物清洗液，其特征在于，其中醚由下列中选出甲醚、乙醚、乙二醚、丙醚、丁醚、异丙醚、乙丙醚、苯甲醚、石油醚。
4.根据权利要求2所述的有机物清洗液，其特征在于，其中醚为石油醚。
5.根据权利要求2所述的有机物清洗液，其特征在于，其中醇由下列选出甲醇、乙醇、 乙二醇、丙醇、异丙醇、丁醇、正丁醇、丙醇、正丙醇、正戊醇、异戊醇。
6.根据权利要求2所述的有机物清洗液，其特征在于，其中醇含有三个以下的羟基。
7.根据权利要求2所述的有机物清洗液，其特征在于，其中醇含有一个羟基。
8.根据权利要求2所述的有机物清洗液，其特征在于，其中醇为异丙醇。
全文摘要
本发明涉及清洗液技术领域，特别是一种适用于精密抛光晶片的有机物去除清洗液。该有机物清洗液由醚和醇两种有机溶剂组成。醚在混合液中所占重量含量为5％到95％，醇所占重量含量为95％到5％。其中醚由下列中选出甲醚、乙醚、乙二醚、丙醚、丁醚、异丙醚、乙丙醚、苯甲醚、石油醚。其中醚为石油醚。其中醇由下列选出甲醇、乙醇、乙二醇、丙醇、异丙醇、丁醇、正丁醇、丙醇、正丙醇、正戊醇、异戊醇。其中醇含有三个以下的羟基。其中醇含有一个羟基。其中醇为异丙醇。
文档编号C11D7/50GK102234595SQ20101016244
公开日2011年11月9日 申请日期2010年4月28日 优先权日2010年4月28日
发明者惠峰, 朱蓉辉, 赵有文, 高永亮 申请人:云南中科鑫圆晶体材料有限公司