专利名称：清洁组成物及使用该组成物清洁面板的方法
技术领域：
本发明涉及一种清洁组成物及一种使用该组成物的清洁方法。本申请主张2009年7月29日提出的韩国专利申请第10-2009-0069505号与第10-2009-0069506号、及2009年8月11日提出的韩国专利申请第10-2009-0073683号(其全文在此借引用方式并入本申请)的权益。
背景技术：
平板显示器(以下称为‘FPD’)，典型实施例为液晶显示器(IXD)，如同半导体装置一样，是借膜形成、曝光、蚀刻等程序制造。然而在实行这些程序时，各种大小为I微米或更小的有机或无机粒子(Particle)可黏附在基板表面。因此，在粒子黏附下实行后续程序时，在膜中形成针孔或坑(pit)并且切割或桥接(Bridge)配线，因而降低产物良率。因此在各程序间实行清洁以去除粒子。现已提出各种用以去除粒子的清洁溶液。例如日本未审查专利申请第2005-154558号公开了一种包括Η3Ρ04、HF、氨及/或胺的清洁溶液。然而这种清洁溶液无法用于清洁FH)用基板，因为其包括严重蚀刻(Etching)玻璃基板(典型的FPD用基板)及铝(Al)(典型的配线用原料)的HF。此外，日本未审查专利申请第2000-232063号公开了一种其中使用磷酸或磷酸铵作为抗腐蚀剂的清洁溶液。然而这种清洁溶液用以去除残留光阻，且具有酸范围的pH。因此在清洁阶段初期，此清洁溶液难以去除大小为I微米或更小的有机或无机粒子(Particle)且同时防止铝配线被腐蚀。此外韩国注册专利第10-0574607号公开了一种在酸性pH范围中，包括去离子水、有机化合物及铵化合物的清洁溶液。然而这种清洁溶液也难以在清洁阶段初期去除大小为I微米或更小的有机或无机粒子(Particle)，因为其为酸性溶液。此外韩国注册专利第10-0599849号公开了一种包括尿素及/或亚乙基脲、碱成分(如氢氧化四级铵、氨等)、有机酸(如柠檬酸(CITRIC ACID)、苹果酸(MALICACID)、酒石酸(TARTARIC ACID)等及/或其盐)，其余为去离子水的清洁溶液。然而此清洁溶液在长时间使用下，因尿素或亚乙基脲沉积而成问题。
发明内容
因而本发明已构想解决上述问题，而且本发明的一个目的为提供一种适用于去除残留在用于平板显示器的基板上的有机或无机粒子的清洁组成物。本发明的另一个目的为提供一种不腐蚀用于平板显示器的含铜配线或含铝配线的清洁组成物。
本发明的一个方面是提供一种清洁组成物，其按组成物的总量计，包含(a) O. 05-5重量％的由下式I至5任一表示的胺化合物；(b) O. 01-10重量％的添加剂，包括选自由唑系化合物、烷醇胺盐与还原剂所构成群组中的一种或更多种 '及(C)其余为水〈式1>ΓΛ ,、
Y-R1-N1^^ ^^X-(R2)nI
(R3)n2〈式2>
HO-FU-NvjXHRsfeOH
(^6 )π4〈式3>
权利要求
1.一种用于平板显示器的清洁组成物，其按组成物的总量计，包括 (a)O. 05-5重量％的由下式I至5任一表示的胺化合物； (b)0.01-10重量％的添加剂，其包括选自由唑系化合物、烷醇胺盐与还原剂所构成群组中的一种或更多种；及 (C)其余为水
2.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，由式I表示的所述胺化合物选自由N-(2-羟乙基)哌嗪、N-(2-羟丙基)哌嗪、N-(2-羟丁基)哌嗪、I-(2-羟乙基)-4_甲基哌嗪、I-(2-羟丙基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羟丁基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羟乙基)-4-乙基哌嗪、I-(2-羟乙基)-4-丙基哌嗪、I-(2-羟乙基)-4- 丁基哌嗪、I-(2-羟丙基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羟丙基)-4-乙基哌嗪、I-(2-羟丙基)-4-丙基哌嗪、I-(2-羟丙基)-4- 丁基哌嗪、I-(2-羟丁基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羟丁基)-4-乙基哌嗪、I-(2-羟丁基)-4-丙基哌嗪、I-(2-羟丁基)-4-丁基哌嗪、N-(2-羟乙基)吗啉、N-(2-羟丙基)吗啉、N-胺基丙基吗啉、羟乙基哌嗪、羟丙基哌嗪、与1-(N-甲基哌嗪)乙醇所构成群组。
3.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，由式2表示的所述胺化合物选自由1，4_哌嗪二乙醇与1，4_哌嗪二甲醇所构成群组。
4.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，由式3表示的所述胺化合物选自由N-(2-羟乙基)亚乙基脲、N-(3-羟丙基)-2_吡咯酮、羟甲基吡咯酮、与1-(2_羟乙基)-2_吡咯酮所构成群组。
5.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，由式4表示的所述胺化合物选自由N-(2-羟乙基)哌啶、N-(2-羟丙基)哌啶、与N-(2-羟丁基)哌啶所构成群组。
6.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，由式5表示的所述胺化合物选自由胺基乙氧基乙醇、胺基丙氧基乙醇、胺基丁氧基乙醇、二甲胺基乙氧基硫醇、二乙胺基乙氧基硫醇、二丙胺基乙氧基硫醇、二丁胺基乙氧基硫醇、二甲胺基乙氧基乙醇、二乙胺基乙氧基乙醇、二丙胺基乙氧基乙醇、二丁胺基乙氧基乙醇、二甲胺基乙氧基乙硫醇、二乙胺基乙氧基丙硫醇、二丙胺基乙氧基丁硫醇、二丁胺基乙氧基乙醇、N-(甲氧基甲基)吗啉、N-(乙氧基甲基)吗啉、N-(2-甲氧基乙醇)吗啉、N-(2-乙氧基乙醇)吗啉、与N-(2-丁氧基乙醇)吗啉所构成群组。
7.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述唑系化合物选自由甲苯基三唑、1，2，3-苯并三唑、1，2，3-三唑、1，2，4-三唑、3-胺基-1，2，4-三唑、4-胺基-4H-1，2，4-三唑、I-羟基苯并三唑、I-甲基苯并三唑、2-甲基苯并三唑、5-甲基苯并三唑、苯并三唑-5-碳酸酯、硝基苯并三唑、2- (2H-苯并三唑-2-基)-4，6- 二叔丁基酚、与2，2’ -[[[乙基-IH-苯并三唑-I基]甲基]亚胺基]二乙醇所构成群组。
8.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述烷醇胺盐选自由单乙醇胺盐、二乙醇胺盐、三乙醇胺盐、单异丙醇胺盐、二异丙醇胺盐、与三异丙醇胺盐所构成群组。
9.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述还原剂包括选自由异抗坏血酸、维生素C与α -生育酚所构成群组中的一种或更多种。
10.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其进一步包含选自由链形烷醇胺、多羧酸共聚物、计量亚烷基二醇单烷醚化合物、及表面活性剂所构成群组中的至少一种。
11.根据权利要求10所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述链形烷醇胺选自由单乙醇胺、单丙醇胺、单异丙醇胺、丁醇胺、2-丙氧基乙胺、N- 丁基乙醇胺、N-甲基乙醇胺、与N-乙基乙醇胺所构成群组。
12.根据权利要求10所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述多羧酸共聚物包括由下式6表示的单元结构 〈式6>
13.根据权利要求10所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述计量亚烷基二醇单烷醚化合物选自由乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、三乙二醇单丁醚、三乙二醇单乙醚、与丙二醇单甲醚所构成群组。
14.根据权利要求I所述的用于平板显示器的清洁组成物，其中，所述清洁组成物具有7至13的pH。
15.一种清洁平板显示器的方法，其使用根据权利要求I所述的清洁组成物。
16.根据权利要求15所述的清洁平板显示器的方法，其中，所述方法使用选自由喷洒、旋转、浸泡、与超音波浸泡所构成群组的一种或更多种而实行。
17.根据权利要求15所述的清洁平板显示器的方法，其中，所述方法在20至80°C的温度实行。
18.根据权利要求15所述的清洁平板显示器的方法，其中，所述方法实行30秒至10分钟。
全文摘要
本发明涉及一种用于平板显示器的清洁组成物，其按组成物的总量计，包括(a)0.05-5重量％的胺化合物；(b)0.01-10重量％的添加剂，该添加剂包括选自由唑系化合物、烷醇胺盐与还原剂所构成群组中的一种或更多种；及(c)其余为水。
文档编号C11D7/32GK102639686SQ201080038438
公开日2012年8月15日 申请日期2010年7月29日 优先权日2009年7月29日
发明者尹嚆重, 朴勉奎, 洪亨杓, 洪宪杓, 金泰熙, 金炳默 申请人:东友Fine-Chem股份有限公司