除尘装置制造方法
【专利摘要】一种除尘装置，将两列空气喷出口（16）呈锯齿状配置，并在两列空气喷出口（16）的外侧将第一空气吸入口（26）和第二空气吸入口（27）以错开的方式呈锯齿状配置。从空气喷出口（16）朝向板（P）垂直地喷射的高速空气在利用其风压使附着于板（P）的灰尘剥离之后，与灰尘一起从第一及第二空气吸入口（26、27）吸引除去。通过将形成于供气腔室（11）的空气喷出口（16）和第一及第二空气吸入口（26、27）分别呈锯齿状配置，不会发生因压力而空气喷出口（16）或第一及第二空气吸入口（26、27）局部变宽或变窄的情况，能够维持将宽度保持恒定的状态。
【专利说明】除尘装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种将附着在基板(显示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等)或薄板等被清洗物的表面上的尘埃或污染微粒子等剥离而使其浮游，并将该浮游物吸引除去的除尘装置。
【背景技术】
[0002]一直以来，作为附着在基板(显示器用玻璃基板、陶瓷基板、印刷基板等)或薄板等上的尘埃或污染微粒子等的除尘装置，已知有例如专利文献I的除尘装置。该除尘装置构成为，配置有具备喷射高压空气的空气喷出用狭缝的供气腔室和在该供气腔室的两侧具备空气吸气用狭缝的吸气腔室，从空气喷出用狭缝朝向在搬运路上搬运的被清洗物喷射高压空气，在利用其风压将附着于被清洗物的尘埃或污染微粒子等(以下，简称为灰尘)剥离之后，从空气吸气用狭缝向各吸气腔室内吸引除去。
[0003]另外，本申请 申请人:在专利文献2中，提出了沿着包装体(供气腔室)的长度方向断续或连续地形成有长条的空气喷出用狭缝的空气幕装置。该专利文献2所示的装置用作为在清洗领域等中将玻璃基板上的水滴吹飞的空气幕装置，但是若在喷射高压空气的供气腔室的两侧配置专利文献I所示的吸气腔室，则即使转用成除尘装置，在结构上也简单。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2006-346515号公报
[0007]专利文献2:日本特愿2000-277252 (日本特开2002-89925号公报)
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
[0009]在所述专利文献1、2所示的装置中，沿着供气腔室的长度方向形成有用于喷射高压空气的空气喷出用狭缝，但是作为该空气喷出用狭缝的形成方法，在专利文献2中，公开了断续地形成多个空气喷出用狭缝的方法和形成连续的一连串的空气喷出用狭缝的方法，但是在断续地形成多个空气喷出用狭缝时，存在局部未形成空气喷出用狭缝的部分，即，存在未向基板喷射空气的部位，因此可能导致除尘效果的下降。另一方面，在使空气喷出用狭缝连续开口时，由于向供气腔室内供给的空气的内压的不同，可能无法维持将长的吸气用狭缝的宽度保持恒定的状态。即，具有如下的课题:当沿着供气腔室的长度方向形成连续的吸气用狭缝时，该吸气用狭缝成为断开处，因供气腔室的内压而作为断开处的吸气用狭缝部分打开，从吸气用狭缝喷射的高压空气的喷射压也无法保持恒定，由于喷射压的强弱的不同而可能无法发挥稳定的除尘效果。
[0010]另外，这样的课题对于高速地吸引空气的吸气用狭缝也一样。即，具有如下的课题:当沿着吸气腔室的长度方向连续地形成吸气用狭缝时，由于供气腔室内的负压的不同而吸气用的狭缝局部变窄，空气的吸引压变得不均匀，尤其是从吸气用狭缝吸引不完灰尘时，由高压空气吹飞的灰尘向设置除尘机的清洁室等飞散，干净的环境也受损。
[0011]因此，本发明是着眼于上述课题而完成的，第一目的在于提供一种能够从沿着清洁头的长度方向形成的狭缝状的空气喷出口高压喷出稳定的均匀的空气而有效地使灰尘从被清洗物的表面剥离的除尘装置。
[0012]另外，本发明的第二目的在于提供一种能够稳定地吸引通过喷射的高压空气从被清洗物的表面剥离的灰尘，并有效地抑制灰尘的飞散的除尘装置。
[0013]用于解决课题的手段
[0014]本发明的除尘装置构成为，设有清洁头，该清洁头具备喷射高压空气的供气腔室和位于该供气腔室的两侧而吸入空气的一对吸气腔室，将该清洁头与搬运路相对配置，通过所述供气腔室朝向在所述搬运路上搬运的被清洗物的上表面喷射高压空气，使附着于被清洗物的灰尘剥离而浮游，并利用所述吸气腔室吸引该浮游物，所述除尘装置的特征在于，沿着所述清洁头的长度方向断续地形成多列空气喷出口，使所述多列空气喷出口呈狭缝状地开口，并且以使各列的各空气喷出口的端部重叠的方式将所述各列的空气喷出口呈锯齿状配置。
[0015]另外，本发明的除尘装置的特征在于，与所述空气喷出口平行地在该空气喷出口的两侧将与所述吸气腔室连通的多列空气吸入口呈锯齿状配置。
[0016]另外，本发明的除尘装置的特征在于，在所述空气吸入口的至少下端部内缘侧形成产生紊流的凹陷部。
[0017]另外，本发明的除尘装置的特征在于，在所述供气腔室内配置两端开放的内管，并且在该内管形成喷出用开口孔，从供气单元压送到所述供气腔室内的空气中，空气量的2/3向内管而剩余的1/3向内管与供气腔室之间分别分离地流入，而且，流入所述内管的空气的一半经由喷出用开口孔向所述供气腔室内排出，剩余的一半从内管的另一端部向供气腔室内排出，这些空气与向所述供气腔室内直接导入的空气一起从所述空气喷出口朝向所述被清洗物均匀地喷射。
[0018]另外，本发明的除尘装置的特征在于，在各吸气腔室内分别配置两端开放的内管，并且在该各内管形成吸气用开口孔，在通过吸气单元吸引所述吸气腔室内的空气时，空气量的2/3从内管而剩余的1/3从内管与吸气腔室之间分别分离地吸引，而且，从所述内管吸引的空气的一半经由所述吸气用开口孔向所述内管内吸引，剩余的一半从内管的另一端部吸引。
[0019]发明效果
[0020]本发明中，从空气喷出口朝向在搬运路上搬运的被清洗物喷射的高速空气与被清洗物碰撞，利用其风压使附着于被清洗物的灰尘剥离之后，从空气吸入口吸入到各吸气腔室内。形成于该供气腔室的多列空气喷出口相互平行地呈锯齿状配置，因此不会发生因供气腔室的内压而空气喷出口局部性地变宽等狭缝宽度发生变化的情况，能够将各空气喷出口的狭缝宽度保持恒定，因此能够从各空气喷出口均匀地喷射空气，能够抑制喷射压的变动。
[0021]另外，形成于吸气腔室的多列空气吸入口也呈锯齿状配置，由此能够将各空气吸入口的狭缝宽度保持恒定，因此能够从各空气喷出口均匀地吸引空气。而且，由于在空气吸入口的内缘形成凹陷部，因此在凹陷部内从空气喷出口喷射的高速空气的流速变化，在凹陷部和与该凹陷部连通的空气吸入口内产生卡曼涡旋(紊流)，通过卡曼涡旋(紊流)产生的空气幕效果，从被清洗物剥离的灰尘停留在空气吸入口的入口部分，从而能够从空气吸入口向吸气腔室内有效地吸入灰尘。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是表示本发明的一实施例的清洁头的剖视图。
[0023]图2同上，是除尘机的主视图。
[0024]图3同上，是除尘机的俯视图。
[0025]图4同上，是将表示空气喷出口和空气吸入口的配置的一部分放大的仰视图。
[0026]图5同上，是将表示空气吸入口处的紊流的空气吸入口的一部分放大的剖视图。
[0027]标号说明
[0028]I除尘装置
[0029]2清洁头
[0030]11供气腔室
[0031]12、22 内管
[0032]14供气通道
[0033]15喷出用开口孔
[0034]16空气喷出口
[0035]21吸气腔室
[0036]24吸气通道
[0037]25吸气用开口孔
[0038]26第一空气吸入口
[0039]27第二空气吸入口
[0040]28、29 凹陷部
[0041]P板(被清洗物)
[0042]W搬运路
【具体实施方式】
[0043]以下，参照附图，详细说明本发明的除尘装置的实施例。
[0044]在图1中，P是作为被清洗物的例如液晶基板等板，W是由辊式输送机等构成的板P的搬运路，板P沿着搬运路W向箭头A方向搬运，在该搬运路W的上部相对配置有除尘装置I。
[0045]所述除尘装置I具备例如由不锈钢等构成的清洁头2，在该清洁头2的中央部配置有向所述板P喷射高压空气而使该板P的表面的灰尘剥离的供气腔室11，在该供气腔室11的两侧配置有用于吸引通过所述高压空气从所述板P剥离而浮游的灰尘的一对吸气腔室 21、21。
[0046]在所述供气腔室11的内部配置有两端开口的圆筒状的内管12，配置该内管12的供气腔室11的上部形成将所述内管12大致包围的圆筒状的内壁部13，成为该内壁部13与内管12的双层结构。而且，在所述供气腔室11的一端连接有将来自未图示的供气单元的高压空气向供气腔室11供给的供气通道14，供给到供气通道14内的高压空气向供气腔室11和内管12分支传送，在内管12的上部侧形成有用于将供给到内管12内的高压空气向供气腔室11喷出的多个喷出用开口孔15，在供气腔室11的底部形成有用于向所述板P喷射高压空气的狭缝状的空气喷出口 16。即，从所述内管12的喷出用开口孔15和供气腔室11的空气喷出口 16的喷射方向朝向相反的方向喷射。而且，形成所述空气喷出口 16的供气腔室11下部的两角呈平缓的曲面连续的漏斗状，在其底部，所述空气喷出口 16沿与板P垂直的方向开口。
[0047]吸气腔室21、21为与所述供气腔室11大致相同的结构，省略详细的说明。在吸气腔室21、21的上部分别配置有圆筒状的内管22、22，在各吸气腔室21、21的上部以包围内管22、22的方式形成曲面状的内壁部23。而且，在内管22、22的上部形成有吸引所述吸气腔室21、21内的空气的多个吸气用开口孔25，在吸气腔室21、21成形有吸引外部空气的第一空气吸入口 26和第二空气吸入口 27。
[0048]在上述结构的基础上，对内管22、22相对于吸气腔室21、21的长度及在内管22、22形成的内管22、22与吸气用开口孔25的区域的比率进行说明。需要说明的是，这些关系性对于供气腔室11也一样，参照图3作为代表例而对吸气腔室21、21进行说明。如图3所示，内管22、22的长度L2比吸气腔室21、21的长度LI短，并且吸气腔室21、21的形成吸气用开口孔25的区域为吸气腔室21、21的长度方向中央部附近，该形成区域的尺寸优选为{ (1/2) XL2}。而且，优选在内管22、22的两端部的{ (1/4) XL2}的部分不形成吸气用开口孔25，而仅在从中间点向左右的{ (1/4) XL2}的长度部分形成吸气用开口孔25。
[0049]另外，在设从吸气通道24吸引的空气的量为(V)时，以从内管22内吸引的量Vl为{ (2/3) XV}且从内壁部23与内管22之间吸引的量V2为{ (1/3) XV}的方式决定内壁部23及内管22的截面形状。由此，从内管22吸引了 { (2/3) XV}的空气量的空气中，进而从在内管22的中央部配置的多个吸气用开口孔25吸引{ (1/3) XV}的量，从该内管22的末端部吸引{ (1/3) XV}的量，由此，从形成于吸气腔室21、21的第一及第二空气吸入口 26、27均匀地吸引空气。
[0050]需要说明的是，对于所述供气腔室11，与吸气通道24—样，在设从供气通道14导入的高压空气的量为(V)时，以向供气通道14内压送的量Vl为{ (2/3) XV}，且向供气腔室11与内管12之间导入的量V2为{ (1/3) XV}的方式决定供气腔室11的内壁部13及供气通道14的截面形状。由此，向内管12压送的{ (2/3) XV}的高压空气量然后从配置在内管12的中央部的多个喷出用开口孔15将{(1/3)XV}的量向供气腔室11内喷出，而且，从该内管12的末端部将{ (1/3) XV}的量向供气腔室11内喷出，进而，从形成于供气腔室11的狭缝状的空气喷出口 16均匀化而向板P喷射。
[0051]接下来，在上述结构的基础上，对于形成于供气腔室11的空气喷出口 16和形成于吸气腔室21、21的第一空气吸入口 26及第二空气吸入口 27的详情，参照示意性地表示空气喷出口 16、第一空气吸入口 26及第二空气吸入口 27的排列(仅两侧中的一侧)的图4进行说明。如图4所示，空气喷出口 16沿着长度方向形成于供气腔室11，两列空气喷出口 16相互平行地形成在供气腔室11的大致宽度方向中央部，且各列的各空气喷出口 16以其端部重合的方式呈锯齿状地配置。需要说明的是，空气喷出口 16的狭缝宽度大致为0.65mm，全长大致为227mm，各空气喷出口 16的端部的搭接量大致为1mm。[0052]另外，形成于所述吸气腔室21、21的第一空气吸入口 26以与所述空气喷出口 16大致平行的方式在空气喷出口 16的外侧隔开大致3_的间隔而断续地形成，而且，在第一空气吸入口 26的外侧，与该第一空气吸入口 26呈错开状地形成第二空气吸入口 27。需要说明的是，如图1所示，第一空气吸入口 26的狭缝宽度为大致6mm且朝向外侧倾斜60°。而且，第二空气吸入口 27的狭缝宽度为大致2mm且朝向外侧倾斜75°。
[0053]而且，如图5所示，在所述第一空气吸入口 26的下端部形成有曲面状的凹陷部28，在第二空气吸入口 27的下端部形成有倾斜的凹陷部29。需要说明的是，形成于所述第一空气吸入口 26的凹陷部28以跨第一空气吸入口 26的两缘的方式形成，但凹陷部28的中心向内侧偏移，其大部分形成在第一空气吸入口 26的内缘侧。另一方面，形成于第二空气吸入口 27的凹陷部29是仅形成在第二空气吸入口 27的内缘侧的平面状，其倾斜角相对于吸气腔室21、21的底面为15°。
[0054]在以上那样构成的本实施例中，通过未图示的供气单元从供气通道14向供气腔室11压送空气，该空气量的2/3向内管12而其余的1/3向内管12与供气腔室11之间分别分离地供给。而且，流入到所述内管12的空气的一半从喷出用开口孔15向所述供气腔室11内排出，剩余的一半从内管12的另一端部向供气腔室11内排出。这些经由内管12排出到供气腔室11的空气与向所述供气腔室11内直接导入的空气一起从形成在供气腔室11的底部的空气喷出口 16朝向板P均匀地喷射。从空气喷出口 16朝向板P垂直地喷射的高速空气在利用其风压使附着于板P的灰尘剥离之后，与灰尘一起从第一及第二空气吸入口 26、27向各吸气腔室21、21内吸入。
[0055]另外，在吸引所述吸气腔室21内的空气时，该空气量的2/3从内管22而剩余的1/3从内管22与吸气腔室21之间分别分离地吸引，而且，从所述内管22吸引的空气的一半经由所述吸气用开口孔25向所述内管22内吸引，剩余的一半从内管22的另一端部吸引，因此从各个第一及第二空气吸入口 26、27均匀地吸入空气。
[0056]另外，从空气喷出口 16朝向板P垂直地喷射的高速空气与板P碰撞而呈放射状地扩散，从第一空气吸入口 26以及其外侧的第二空气吸入口 27与灰尘一起吸入到吸气腔室21、21内，但是清洁头I与板P的间隙极其缩窄为I?1.5mm，而且，在第一空气吸入口 26的内缘形成有曲面状的凹陷部28，因此如图5所示，在扩展的凹陷部28内，高速空气的流速改变，在凹陷部28和与该凹陷部28连通的第一空气吸入口 26内产生卡曼涡旋(紊流)。由此，在第一空气吸入口 26的入口部分形成基于卡曼涡旋(紊流)的空气幕，从板P剥离的灰尘停留在第一空气吸入口 26的入口部分，从第一空气吸入口 26被吸入到吸气腔室21内。而且，还在该第一空气吸入口 26的外侧多重地形成具有凹陷部29的第二空气吸入口 27，因此即便是从所述第一空气吸入口 26向外侧泄漏的灰尘也能通过第二空气吸入口 27的凹陷部29的空气幕效果来防止灰尘的泄漏，能够由第二空气吸入口 27吸入而捕捉。
[0057]另外，虽然形成于供气腔室11的空气喷出口 16断续地形成，但由于两列空气喷出口 16相互平行而呈锯齿状配置，因此两列空气喷出口 16作为一连串的连续的空气喷出口发挥功能，不存在朝向板P局部未喷射空气的部分。而且，由于各列的空气喷出口 16断续地形成，因此不会发生因供气腔室11的内压而空气喷出口 16局部性地变宽等狭缝宽度变化的情况，能够将各空气喷出口 16的狭缝宽度保持恒定。因此，能够从各空气喷出口 16均匀地喷射空气，能够抑制喷射压的变动。而且，对于第一空气吸入口 26和第二空气吸入口27，与空气喷出口 16同样地呈锯齿状配置，由此能够从第一空气吸入口 26和第二空气吸入口 27均匀地吸引空气。
[0058]以上，详细说明了本发明，但本发明并未限定为所述实施例，在本发明的主旨的范围内能够实施各种变形。例如，在所述实施例中示出了设有2列空气喷出口 16及第一空气吸入口 26和第二空气吸入口 27的例子，但也可以为3列或3列以上。而且，各部的尺寸等也未限定为所述实施例。
【权利要求】
1.一种除尘装置，其构成为，设有清洁头，该清洁头具备喷射高压空气的供气腔室和位于该供气腔室的两侧而吸入空气的一对吸气腔室，将该清洁头与搬运路相对配置，通过所述供气腔室朝向在所述搬运路上搬运的被清洗物的上表面喷射高压空气，使附着于被清洗物的灰尘剥离而浮游，并利用所述吸气腔室吸引该浮游物，所述除尘装置的特征在于， 沿着所述清洁头的长度方向断续地形成多列空气喷出口，使所述多列空气喷出口呈狭缝状地开口，并且以使各列的各空气喷出口的端部重叠的方式将所述各列的空气喷出口呈锯齿状配置。
2.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于， 与所述空气喷出口平行地在该空气喷出口的两侧将与所述吸气腔室连通的多列空气吸入口呈锯齿状配置。
3.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于， 在所述空气吸入口的至少下端部内缘侧形成产生紊流的凹陷部。
4.根据权利要求1?3中任一项所述的除尘装置，其特征在于， 在所述供气腔室内配置两端开放的内管，并且在该内管形成喷出用开口孔，从供气单元压送到所述供气腔室内的空气中，空气量的2/3向内管而剩余的1/3向内管与供气腔室之间分别分离地流入，而且，流入所述内管的空气的一半经由喷出用开口孔向所述供气腔室内排出，剩余的一半从内管的另一端部向供气腔室内排出，这些空气与向所述供气腔室内直接导入的空气一起从所述空气喷出口朝向所述被清洗物均匀地喷射。
5.根据权利要求1?3中任一项所述的除尘装置，其特征在于， 在各吸气腔室内分别配置两端开放的内管，并且在该各内管形成吸气用开口孔，在通过吸气单元吸引所述吸气腔室内的空气时，空气量的2/3从内管而剩余的1/3从内管与吸气腔室之间分别分离地吸引，而且，从所述内管吸引的空气的一半经由所述吸气用开口孔向所述内管内吸弓丨，剩余的一半从内管的另一端部吸引。
【文档编号】B08B5/00GK103817109SQ201310574604
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年11月15日 优先权日:2012年11月16日
【发明者】库田裕二 申请人:株式会社日藤工业