一种清洗装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种清洗装置，包括：与水平面呈预设角度倾斜设置的载物台，包括相对设置的第一侧和第二侧，第一侧向下，第二侧向上；设置于载物台的第一侧的第一挡板，第一挡板设有用于支撑待清洗对象的台阶面，与该台阶面相邻且可与待清洗对象接触的第一面上设有用于回收清洗液的废液回收槽，该废液回收槽与设置于第一档板内的废液回收通道相连通；设置于载物台与第一侧相邻、且相对设置的第三侧和第四侧，第二侧、第三侧、第四侧上设有与第一挡板配合以固定待清洗对象的固定结构。本实用新型的有益效果是：倾斜设置的载物台、第一挡板以及固定结构的设置，使得清洗液不会渗透到面板的背面造成污染，操作简单，成本低廉。
【专利说明】一种清洗装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及液晶显示面板制造领域，尤其是一种用于清洗液晶面板的清洗装置。
【背景技术】
[0002]在液晶显示面板制造领域,FA(Failure Analysis)分析是一项必不可少的重要工作。在实际分析中大多需要把Panel拆屏，拆屏后对液晶进行清洗，目前的清洗过程是把拆屏后的单片panel基板放在清洗台上或者直接手持，然后用清洗液枪(常用丙酮)进行喷洒清洗，清洗过程中经常出现清洗液渗漏到panel基板背面的现象，造成基板背面污染影响后续分析，有时会把背面的Mark标记洗掉，使得FA工作无法正常进行；同时清洗液(丙酮)在喷洒过程中不断挥发吸热，panel基板温度急剧下降，造成基板背面出现雾化现象。
[0003]由于panel基板背面有分析做的Mark标记，一般是不能进行清洗的，雾化现象出现后只能自然晾干或者是用气枪进行吹干，自然晾干太耗时，严重降低工作效率；气枪吹干不仅增加工作量而且不能保证全部吹干净，拆屏后的panel基板本身又薄又脆，气枪在吹干的过程中很容易导致panel基板破损。
实用新型内容
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种清洗装置，在清洗面板时，防止清洗液渗透到面板背面以造成面板背面的污染。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种清洗装置，包括:
[0006]与水平面呈预设角度倾斜设置的载物台，包括相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧向下，所述第二侧向上；
[0007]设置于所述载物台的第一侧的第一挡板，所述第一挡板设有用于支撑待清洗对象的台阶面，与该台阶面相邻且可与待清洗对象接触的第一面上设有用于回收清洗液的废液回收槽，该废液回收槽与设置于所述第一档板内的废液回收通道相连通；
[0008]设置于所述载物台与所述第一侧相邻、且相对设置的第三侧和第四侧，所述第二侦U、所述第三侧、所述第四侧上设有与所述第一挡板配合以固定待清洗对象的固定结构。
[0009]进一步的，所述固定结构包括:
[0010]设置于所述第二侧的第二挡板，所述第二挡板上设有与所述台阶面的延伸方向平行的第一凹槽，所述第一凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度；
[0011]设置于所述第三侧的第三挡板，所述第三挡板的第一面上设有用于容纳待清洗对象的第二凹槽，所述第二凹槽与所述载物台平行设置，且所述第二凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度；
[0012]设置于所述第四侧的第四挡板，所述第四挡板上设有与所述第二凹槽平行、且位置相对应的第三凹槽，所述第三凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度。
[0013]进一步的，所述第二挡板和第三挡板均可活动的设置于所述载物台相应的一侧，且所述第二挡板和所述第三挡板均由多个可拆卸连接的连接块连接形成；或者，
[0014]所述第二挡板和第四挡板均可活动的设置于所述载物台相应的一侧，且所述第二挡板和所述第四挡板均由多个可拆卸连接的连接块连接形成。
[0015]进一步的，所述载物台上设有用于支撑所述第二挡板和所述第三挡板或者所述第二挡板和所述第四挡板的支撑杆，所述支撑杆与所述第二挡板和所述第三挡板或者所述第二挡板和所述第四挡板接触的一端为球状结构。
[0016]进一步的，每个所述连接块包括第一子连接块和第二子连接块，所述第一子连接块与所述第二子连接块部分相叠设置呈Z型结构，第一连接块远离所述第二连接块的一面上沿其长度方向设有通槽，或者，所述第二连接块远离所述第一连接块的一面上沿其长度方向设有通槽。
[0017]进一步的，相邻两个所述连接块通过连接销连接。
[0018]进一步的，还包括用于控制所述第二挡板移动的第一控制结构，所述第一控制结构包括:
[0019]设置于所述第三侧的第一导轨；
[0020]可活动的设置于所述第一导轨上的第一连接杆；
[0021]一端与所述第一连接杆连接的第二连接杆，所述第二连接杆的另一端连接于所述第二挡板。
[0022]进一步的，还包括用于控制所述第三挡板或所述第四挡板移动的第二控制结构，所述第二控制结构包括:
[0023]设置于所述第一侧的第二导轨；
[0024]可活动的设置于所述第二导轨上的第三连接杆；
[0025]一端与所述第三连接杆连接的第四连接杆，所述第四连接杆的另一端连接于所述第三挡板或所述第四挡板。
[0026]进一步的，还包括鼓风装置，在作为固定不动的所述第三挡板或第四挡板上设有与所述鼓风装置连接的通孔，所述通孔位于所述载物台与相应的所述第三挡板上的所述第二凹槽之间，或者所述通孔位于所述载物台与相应的所述第四挡板上的所述第三凹槽之间。
[0027]进一步的，所述鼓风装置包括:
[0028]鼓风机；
[0029]用于吸收过滤所述鼓风机吹出的空气的水分和异物的干燥/过滤器；
[0030]用于控制进入所述干燥/过滤器的气流大小的流量控制阀，设置于所述鼓风机与所述干燥/过滤器之间的；
[0031]吹气管，所述吹气管的入口与所述干燥/过滤器相连，所述吹气管的出口与所述通孔相连通。
[0032]进一步的，还包括用于调整所述吹气管的角度以使得所述吹气管与所述载物台平行的调节结构。
[0033]进一步的，还包括用于使得进入所述吹气管的气流为热气流的加热装置，所述加热装置设置于所述吹气管与所述干燥/过滤器之间。
[0034]进一步的，所述第一面上设有多个所述废液回收槽，每个所述废液回收槽向下延伸形成第一通道，多个所述第一通道连接于第二通道，所述第二通道与连接于工厂废液回收系统连接的第三通道连通。
[0035]进一步的，所述预设角度为10-20度。
[0036]进一步的，还包括用于控制所述载物台倾斜角度的调节部件。
[0037]进一步的，所述调节部件包括设置于所述第二侧底部的地脚螺栓。
[0038]本实用新型的有益效果是:倾斜设置的载物台、第一挡板以及固定结构的设置，使得清洗液不会渗透到面板的背面造成污染，操作简单，成本低廉。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]图1为本实用新型清洗装置整体结构示意图；
[0040]图2为本实用新型载物台俯视图；
[0041]图3为本实用新型载物结构图——侧视图(C视图)；
[0042]图4为本实用新型清洗装置A-A’截面示意图；
[0043]图5为本实用新型第一挡板结构示意图；
[0044]图6为本实用新型第三挡板结构示意图；
[0045]图7为本实用新型鼓风装置结构示意图；
[0046]图8为本实用新型连接块结构示意图。
【具体实施方式】
[0047]以下结合附图对本实用新型的结构和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本实用新型，并非以此限定本实用新型的保护范围。
[0048]如图1至图8所示，本实施例提供一种清洗装置，包括:
[0049]与水平面呈预设角度倾斜设置的载物台201，包括相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧向下，所述第二侧向上；
[0050]设置于所述载物台201的第一侧的第一挡板103，所述第一挡板103设有用于支撑待清洗对象101的台阶面，与该台阶面相邻且可与待清洗对象接触的第一面上设有用于回收清洗液的废液回收槽104，该废液回收槽104与设置于所述第一档板内的废液回收通道相连通；
[0051]设置于所述载物台201与所述第一侧相邻、且相对设置的第三侧和第四侧，所述第二侧、所述第三侧、所述第四侧上设有与所述第一挡板103配合以固定待清洗对象的固定结构。
[0052]与水平面呈预设角度倾斜设置的载物台201使得待清洗对象放置在载物台201上也是倾斜的，通过喷洒清洗液清洗时，清洗液沿着待清洗对象的倾斜方向流入废液回收槽104，避免清洗液渗透到待清洗对象的背面造成污染。
[0053]本实施例中，待清洗对象可以为面板基板，也可以为钢材、亚克力等板材，本实施例以下均采用面板对本实施例清洗装置进行具体介绍。
[0054]本实施例中，所述预设角度为10-20度，但并不以此为限。既有利于废液回收，也使清洗时清洗液流动方向一致，更好地防止清洗液渗漏到基板背面。
[0055]本实施例中清洗装置还包括用于控制所述载物台201倾斜角度的调节部件。
[0056]所述调节部件的结构形式可以有多种，本实施例中，所述调节部件包括设置于所述第二侧底部的地脚螺栓301。
[0057]如图4所述，所述第一挡板103的底部固定以地脚螺栓用于固定第一挡板103，所述载物台201的第一侧连接于所述第一挡板103，所述载物台201的第二侧的底部固定一地脚螺栓301，通过固定于所述载物台201的第二侧的底部的地脚螺栓301的高度，可调节所述载物台201的倾斜角度，即所述预设角度。
[0058]所述固定结构的结构形式可以有多种，只要可以与所述第一挡板103配合以固定面板即可，本实施例中，所述固定结构包括:
[0059]设置于所述第二侧的第二挡板，所述第二挡板上设有与所述台阶面的延伸方向平行的第一凹槽，所述第一凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度；
[0060]设置于所述第三侧的第三挡板102，所述第三挡板102的第一面上设有用于容纳待清洗对象101的第二凹槽，所述第二凹槽与所述载物台201平行设置，且所述第二凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度；
[0061]设置于所述第四侧的第四挡板，所述第四挡板上设有与所述第二凹槽平行、且位置相对应的第三凹槽，所述第三凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度。
[0062]清洗时，面板插接入所述第一凹槽、第二凹槽、所述第三凹槽并搭接于所述台阶面以固定，为了方便面板的安装，本实施例中，所述第二挡板和第三挡板102均可活动的设置于所述载物台201相应的一侧，且所述第二挡板和所述第三挡板102均由多个可拆卸连接的连接块110连接形成；或者，
[0063]所述第二挡板和第四挡板均可活动的设置于所述载物台201相应的一侧，且所述第二挡板和所述第四挡板均由多个可拆卸连接的连接块110连接形成。
[0064]本实施例中，所述载物台201上设有用于支撑所述第二挡板和所述第三挡板102或者所述第二挡板和所述第四挡板的支撑杆202，所述支撑杆202与所述第二挡板和所述第三挡板102或者所述第二挡板和所述第四挡板接触的一端为球状结构。
[0065]以下实施例中，均以所述第二挡板和第四挡板均可活动的设置于所述载物台201相应的一侧为例对本实施例清洗装置的结构形式进行具体描述。
[0066]安装时，面板的一侧先插接入作为固定板的第三挡板102的所述第二凹槽内，移动与所述第三挡板102相对的第四挡板，使得面板的第二侧插接入所述第四挡板上所述第三凹槽内，然后移动所述第二挡板使得面板的第三侧插接入所述第一凹槽内，然后向下移动面板使得面板的第四侧抵接于所述台阶面与所述第一面形成的台阶结构上，面板101固定于固定结构后如图1所示。
[0067]如图2和图3所示，本实施例中，用于支撑所述第二挡板与所述第四挡板的支撑杆202上与所述第二挡板和所述第四挡板接触的一端为球状结构，所述支撑杆202的分布形式如图2所示，但并不限于此，球状结构的设置便于所述第二挡板和所述第四挡板的移动，减少震动；且球状结构无转动副约束，避免与所述第二挡板和所述第四挡板交叉干涉。
[0068]本实施例中，面板被固定结构固定后，面板位于所述球状结构的上方，且面板未与支撑杆202的球状结构相接触，如图4所示，避免panel(面板)基板背部污染，影响清洗效果O
[0069]为了使得所述固定结构适用于不同尺寸的面板，本实施例中，所述第二挡板和所述第四挡板均由多个可拆卸连接的连接块110连接形成。
[0070]每个连接块110的结构形式可以为长度可调的伸缩结构形式，也可以是长度固定不变的，此时，所述第二挡板或第四挡板的长度则由组成第二挡板或第四挡板的连接块110的数量和/或每个连接块110的长度的不同来决定。
[0071]如图8所示，本实施例中，所述连接块110的长度是固定不变的，但是连接块110设计有不同的型号以备更换，每个所述连接块110的长度L可以为200mm、100mm、50mm、20mm和1mm等，所述连接块110的宽度D和高度H为不变量，以保证安装时所述第一挡板103、所述第二挡板、所述第三挡板102、所述第四挡板保持高度一致。
[0072]面板的尺寸比较大时，在连接块110数量不变的情况下可以采用长度L比较长的连接块110进行拼接以形成所述第二挡板或第四挡板，在采用长度L不变的连接块110时则增加连接块110的数量以增加所述第二挡板或第四挡板的长度，使得固定结构适用于相应的面板的尺寸；相反，在面板的尺寸比较小时，则在连接块110数量不变的情况下可以采用长度L比较短的连接块110进行拼接以形成所述第二挡板或第四挡板，在采用长度L不变的连接块110时则减少连接块110的数量以增加所述第二挡板或第四挡板的长度，使得固定结构适用于相应的面板的尺寸；可以采用不同长度L的连接块110连接形成所述第二挡板或第四挡板，也可以采用长度L相同的多个连接块110连接形成所述第二挡板或第四挡板，在实际使用时，所述连接块110的数量和长度L的尺寸可根据实际需要设定。
[0073]本实施例中，每个所述连接块110包括第一子连接块1100和第二子连接块1101，所述第一子连接块1100与所述第二子连接块1101部分相叠设置呈Z型结构，第一连接块1100远离所述第二连接块1101的一面上沿其长度方向设有通槽1102，或者，所述第二连接块1101远离所述第一连接块1100的一面上沿其长度方向设有通槽1102。
[0074]本实施例中，相邻两个所述连接块110通过连接销109连接，但并不限于此；多个所述连接块110通过所述连接销109连接，多个所述连接块110上的通槽1102相连以形成所述第二挡板上的第一凹槽或所述第四挡板上的第三凹槽。
[0075]所述清洗装置还包括用于控制所述第二挡板移动的第一控制结构，所述第一控制结构的结构形式可以有多种，本实施例中，所述第一控制结构包括:
[0076]设置于所述第三侧的第一导轨；
[0077]可活动的设置于所述第一导轨上的第一连接杆；
[0078]—端与所述第一连接杆连接的第二连接杆，所述第二连接杆的另一端连接于所述第二挡板。
[0079]所述清洗装置还包括用于控制所述第三挡板102或所述第四挡板移动的第二控制结构，所述第二控制结构的结构形式可以有多种，本实施例中，所述第二控制结构包括:
[0080]设置于所述第一侧的第二导轨105 ；
[0081]可活动的设置于所述第二导轨105上的第三连接杆107 ；
[0082]一端与所述第三连接杆107连接的第四连接杆108，所述第四连接杆108的另一端连接于所述第三挡板102或所述第四挡板。
[0083]本实施例中，所述第一控制结构和第二控制结构的结构形式相同，但并不限于此，所以以下只具体介绍所述第二控制结构的具体结构形式，如图1和图4所示:
[0084]所述第四连接杆108向下垂直连接于所述第四挡板，所述第三连接杆107与所述第四连接杆108垂直连接，且所述第三连接杆107与所述第四挡板平行设置，所述第二导轨105与所述第三连接杆107垂直设置，所述第三连接杆107通过一套筒106套接在所述第二导轨105上,所述第二导轨105为一直线导轨。
[0085]所述第四连接板需要移动时，所述第三连接杆107沿着所述第二导轨105向远离或靠近所述第一挡板103的方向移动，所述第四连接杆108在所述第三连接杆107的带动下带动所述第四挡板移动。
[0086]为了方便所述第四挡板的移动，以及面板的固定的稳定性，所述第三连接杆107与所述第四连接杆108之间通过铰接方式连接，可以实现小角度微调。
[0087]为了防止面板背面出现雾化结露现象，本实施例清洗装置还包括鼓风装置，在作为固定不动的所述第三挡板102或第四挡板上设有与所述鼓风装置连接的通孔501，所述通孔501位于所述载物台201与相应的所述第三挡板102上的所述第二凹槽之间，或者所述通孔501位于所述载物台201与相应的所述第四挡板上的所述第三凹槽之间。
[0088]如图6和图7所示，本实施例中，所述通孔501设置于所述第三挡板102，且所述通孔501位于相邻两个所述支撑杆202之间，以保证吹风效果。
[0089]所述鼓风装置的结构形式可以有多种，本实施例中，所述鼓风装置包括:
[0090]鼓风机603 ；
[0091]用于吸收过滤所述鼓风机603吹出的空气的水分和异物的干燥/过滤器601 ；
[0092]用于控制进入所述干燥/过滤器601的气流大小的流量控制阀602，设置于所述鼓风机603与所述干燥/过滤器601之间的；
[0093]吹气管502，所述吹气管502的入口与所述干燥/过滤器601相连，所述吹气管502的出口与所述通孔501相连通。
[0094]所述鼓风机603通过管路相连，管路上安装有流量控制阀602和干燥/过滤器601，控制进入所述通孔501的通风量和保证空气中无水分。
[0095]空气经过鼓风机603加压后，通过流量控制阀602控制气流的大小，干燥/过滤器6011吸收过滤通过的空气中的水分和异物，最后洁净干燥的空气进入鼓风装置吹气管502，进入panel基板下方空间，排出面板与载物台201之间的潮湿空气，减少面板下方空气中的水分，防止雾化。
[0096]进一步的，还包括用于调整所述吹气管502的角度以使得所述吹气管502与所述载物台201平行的调节结构。
[0097]所述吹气管502与所述载物台201平行设置，即与固定后的面板平行，吹气管502吹出的风则与面板平行，防止吹气管502吹出的风直吹面板造成面板损伤或者吹气管502吹出的风的远离面板影响其效果，有效的防止面板背面出现雾化结露的现象。
[0098]本实施例中，所述吹气管502中吹出的风(气流)采用介质为空气，来源方便，成本低,也可采用其他气体,如氮气等。
[0099]为了加快驱除panel基板下方空气水分，可以增加加热装置，使进入的洁净空气为热空气。本实施例中，清洗装置还包括用于使得进入所述吹气管502的气流为热气流的加热装置，所述加热装置设置于所述吹气管502与所述干燥/过滤器601之间。
[0100]本实施例中，如图5所示，所述第一面上设有多个所述废液回收槽104，每个所述废液回收槽104向下延伸形成第一通道401，多个所述第一通道401连接于第二通道402，所述第二通道402与连接于工厂废液回收系统连接的第三通道403连通。
[0101]所述第一通道401、所述第二通道402、所述第三通道403形成所述废液回收通道。
[0102]本实施例中，所述废液回收槽的数量可根据实际待清洗对象的尺寸设定。
[0103]下面举例说明本实用新型清洗装置操作步骤:
[0104]1.根据面板101尺寸选择连接块110的数量，通过连接销109拼接完成第二挡板和第四挡板；
[0105]2.将面板101 —边插入到第三挡板102内嵌的第二凹槽中，移动第三挡板相对的第四挡板，使面板101另一边插入第四挡板凹槽；
[0106]3.向下移动面板101，使面板101底边到达第一挡板103台阶面的废液回收槽104处；
[0107]4.移动上部的第二挡板，使面板101的上边进入第一凹槽；
[0108]5.启动鼓风装置，根据实际需要调节流量控制阀602保证风量合适，排除面板101下部的潮湿空气；
[0109]6.打开清洗液喷头，进行面板清洗作业，清洗液通过废液回收槽104流入工厂废液回收系统回收；
[0110]7.清洗完毕，关闭鼓风机603，取出面板101。
[0111]需要说明的是，以上所涉及的“上”、“下”等描述方位的用语，均以图示为参照，并非对本实用新型保护范围的限制。
[0112]以上所述为本实用新型较佳实施例，需要提出的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。
【权利要求】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括: 与水平面呈预设角度倾斜设置的载物台，包括相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧向下，所述第二侧向上； 设置于所述载物台的第一侧的第一挡板，所述第一挡板设有用于支撑待清洗对象的台阶面，与该台阶面相邻且可与待清洗对象接触的第一面上设有用于回收清洗液的废液回收槽，该废液回收槽与设置于所述第一挡板内的废液回收通道相连通； 设置于所述载物台与所述第一侧相邻、且相对设置的第三侧和第四侧，所述第二侧、所述第三侧、所述第四侧上设有与所述第一挡板配合以固定待清洗对象的固定结构。
2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述固定结构包括: 设置于所述第二侧的第二挡板，所述第二挡板上设有与所述台阶面的延伸方向平行的第一凹槽，所述第一凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度； 设置于所述第三侧的第三挡板，所述第三挡板的第一面上设有用于容纳待清洗对象的第二凹槽，所述第二凹槽与所述载物台平行设置，且所述第二凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度； 设置于所述第四侧的第四挡板，所述第四挡板上设有与所述第二凹槽平行、且位置相对应的第三凹槽，所述第三凹槽的开口的宽度不小于待清洗对象的厚度。
3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述第二挡板和第三挡板均可活动的设置于所述载物台相应的一侧，且所述第二挡板和所述第三挡板均由多个可拆卸连接的连接块连接形成；或者， 所述第二挡板和第四挡板均可活动的设置于所述载物台相应的一侧，且所述第二挡板和所述第四挡板均由多个可拆卸连接的连接块连接形成。
4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述载物台上设有用于支撑所述第二挡板和所述第三挡板或者所述第二挡板和所述第四挡板的支撑杆，所述支撑杆与所述第二挡板和所述第三挡板或者所述第二挡板和所述第四挡板接触的一端为球状结构。
5.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，每个所述连接块包括第一子连接块和第二子连接块，所述第一子连接块与所述第二子连接块部分相叠设置呈Z型结构，第一子连接块远离所述第二子连接块的一面上沿其长度方向设有通槽，或者，所述第二子连接块远离所述第一子连接块的一面上沿其长度方向设有通槽。
6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，相邻两个所述连接块通过连接销连接。
7.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，还包括用于控制所述第二挡板移动的第一控制结构，所述第一控制结构包括: 设置于所述第三侧的第一导轨； 可活动的设置于所述第一导轨上的第一连接杆； 一端与所述第一连接杆连接的第二连接杆，所述第二连接杆的另一端连接于所述第二挡板。
8.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，还包括用于控制所述第三挡板或所述第四挡板移动的第二控制结构，所述第二控制结构包括: 设置于所述第一侧的第二导轨； 可活动的设置于所述第二导轨上的第三连接杆； 一端与所述第三连接杆连接的第四连接杆，所述第四连接杆的另一端连接于所述第三挡板或所述第四挡板。
9.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，还包括鼓风装置，在作为固定不动的所述第三挡板或第四挡板上设有与所述鼓风装置连接的通孔，所述通孔位于所述载物台与相应的所述第三挡板上的所述第二凹槽之间，或者所述通孔位于所述载物台与相应的所述第四挡板上的所述第三凹槽之间。
10.根据权利要求9所述的清洗装置，其特征在于，所述鼓风装置包括: 鼓风机； 用于吸收过滤所述鼓风机吹出的空气的水分和异物的干燥/过滤器； 用于控制进入所述干燥/过滤器的气流大小的流量控制阀，设置于所述鼓风机与所述干燥/过滤器之间； 吹气管，所述吹气管的入口与所述干燥/过滤器相连，所述吹气管的出口与所述通孔相连通。
11.根据权利要求10所述的清洗装置，其特征在于，还包括用于调整所述吹气管的角度以使得所述吹气管与所述载物台平行的调节结构。
12.根据权利要求10所述的清洗装置，其特征在于，还包括用于使得进入所述吹气管的气流为热气流的加热装置，所述加热装置设置于所述吹气管与所述干燥/过滤器之间。
13.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一面上设有多个所述废液回收槽，每个所述废液回收槽向下延伸形成第一通道，多个所述第一通道连接于第二通道，所述第二通道与连接于工厂废液回收系统连接的第三通道连通。
14.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述预设角度为10-20度。
15.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括用于控制所述载物台倾斜角度的调节部件。
16.根据权利要求15所述的清洗装置，其特征在于，所述调节部件包括设置于所述第二侧底部的地脚螺栓。
【文档编号】B08B3/08GK204018287SQ201420342241
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年6月24日 优先权日:2014年6月24日
【发明者】石虎兆, 樊利宽, 孙鹏, 郑英花 申请人:北京京东方显示技术有限公司, 京东方科技集团股份有限公司